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    椭偏仪测折射率和薄膜厚度Word文档格式.docx

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    椭偏仪测折射率和薄膜厚度Word文档格式.docx

    1、 3602.(单选题)黑色反光镜在仪器调整中起什么作用?A.确定起偏器的方位B.确定检偏器的方位C.确定波片的方位3.(单选题)在椭偏仪实验中坐标系是选在待测薄膜的(B)上。A入射面B表面法、迭代法解非线性超越方程,本实验中使用(E)A查图法B查表法5(填空题)调整椭偏仪光路的步骤是,首先使激光 光线与分 光计仪器主轴垂直,并通过载物台中心,然后确定(C)的0亥I度位置,这要利用(A)的布鲁斯特角特性,然后再确定(B) 0刻度位置,最后调整1/4波片,使其快轴与(C)成土 45。选择答案:A黑色反光镜B检偏器C 起偏器 6.(填空题)将起偏器套在平行光管上,使0位 置朝上,从 载物台上取下黑色

    2、反射镜,将检偏器管转 到共轴位置,整体调节起偏器使检流计(A),固定 起偏器螺钉。此时起偏器与检偏器通光方向(C) O 选择答案:A光强最小B光强最大C平行D垂直原始数据一记录 90 )103. 491. 7 (21. 251. 6-45 106. 598. 6薄膜厚度:110.0000折射率:1. 4800MUM实验扌艮告正文成绩: 一、 实验名称二、 实验目的1、 了解椭偏仪测量薄膜参数的原理;2、 初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。三、 实验仪器椭偏仪平台及配件、He-Ne激光器及电源、起偏器、检 偏器、四分之一波片、待测样品、黑色反光镜等。四、 实验原理1.椭圆偏振光:椭圆偏振光可以看成

    3、是由两个互相垂直振动 (x和y分量)具有固定位相差的偏振光迭加而成的。用矢量公式表示 为:即:其中Al、A2为x和y分量的振幅,a 1和a2为 x和y分量的初位相,3为光的频率。利用(2)的两个公式消去时间t就可以得到光矢量运动的轨迹方程式,如图1示。图1两个互相垂直振动的合成轨迹当二0或兀时,合成为线偏振光,当6 =71 /2时,合成为正椭圆偏振光,(A1二A2时为圆偏振 光),当在(-71,+兀)之间时合成为任意方位的 椭圆偏振光,方位角0 (见图示)满足 以下公式:可见当A1二A2,但6不等于Ji /2时方位角0总等 于土兀/4 ,此时椭圆偏振光的长短轴比与并仅与8有 关。此时椭圆偏振光

    4、叫做等幅椭圆偏振光。2.菲涅尔公式:在光传播的过程中如果遇到两种介质界面时 就会 发生反射和折射,反射光和折射光的振幅和位相就会 发生变化,这些变化可以用菲涅尔公式进行计算。3.斯托克斯倒逆关系:利用斯托克斯倒逆关系可以得到反射率和 折射率的简洁关系,所以在这里列出其公式:4.光在双层界面薄膜系统上的反射规律:当一束任意偏振态 的单色光射入薄膜系统,在两个界面上发生多重反射和折 射。利用菲涅尔公式以及斯托克斯倒逆关系可以求得0、1、2、3、4、.各光束的复振 幅如下表所列(设入射 光的复振幅为Ei):A 1 ? I d5.椭偏仪结构图及测量原理6.数据处理方法:绘图法:1) 根据理论公式计算(

    5、n2, d - Pc, Ac)制成等折 射率和等厚度表文件。2) 根据输入的制图条件,绘出等厚度和等折射率曲 线,通过设置作图的坐标实现局部放大和缩小。利用将测量的(巾m, Am)值与图中(Vc, Ac)(理 论曲线与实验值相交或很接近)逐步逼近的方法得到(巾c, A c)所对应的n2 , d 五、实验步骤1、 按调分光计的方法调整好主机。2、 水平度盘的调整。3、 光路调整。4、 检偏器读数头位置的调整与固定。5、 起偏器读数头位置的调整与固定。6、1/4波片零位的调整7、 将样品放在载物台中央,旋转载物台使达到预定的入 射角70。即望远镜转过40 ,并使反射光在白屏上形成一亮点8、 为了尽

    6、量减小系统误差,采用四点测量。9、 将相关数据输入“椭偏仪数据处理程序”,经过范 围确定后,可以利用逐次逼近法,求出与之对应的 d与n;由于仪器本 身的精度的限制,可将d的误 差控制在1埃左右,n的误差控制在0.01左右。六、实验内容1.熟悉并掌握椭偏仪的调整2.调整光路,并使入射到样品的光为等幅椭圆偏振光3.测量样品的折射率和厚度:(1)选择测试样品最佳入 射角(2)测量角度。4.计算样品的折射率和厚度的数据处理方法七、数据处理103.498.6-45 0 (1.4800八、误差分析实验测得的折射率比理论值偏大,厚度比理论值偏小, 其可能原因有:1、 待测介质薄膜表面有手印等杂质,影响了其折

    7、射率。2、 在开始的光路调整时,没有使二者严格共轴,造成 激光与偏振片、1/4波片之间不就是严格的正入射,导致测量的折射率与理论值存在偏差。3、 消光点并非完全消光,所以消光位置只能由人眼估 测,所以可能引入误差。4、 由于实验中需多次转动及调节、安装仪器,会破坏仪 器的共轴特性。虽经多次调节,但还就是会产生误 差。5、 实验中肉眼观察导致误差,在系统拟合中出现误差。 九、注意事项1、 在实验之前,先检查各元器件是否齐全完好,并且 区分望远镜、平行光管、起偏器和检偏器;2、 在分光计的调节过程中,在望远系统的调节前注意 在内侧 装上会聚透镜;3、 在测量之前应保证起偏器的内外盘读数头均处于零

    8、度,检偏器的外盘读数头处于90。在读数头的 调节中应轻轻转动整个读数头而保持盘上的读数不 变,注意1/4波片的放置及调整;4、 刚开始测量时检流计应打到最大档,在测量过程中 根据实际情况从大到小调节量程。衰减旋钮顺时针 旋转至不可再旋时检流计上的示数为标准电流;5、 分别使检偏器外盘读数大于和小于90 ,在此基础 上分别转动起偏器的外盘到检流计示数最小。十、思考题1.检偏器,起偏器透光方向的零刻度是如何定位的? 答:检偏器的零刻度定位:将检偏器(检偏器的透光为 0方向)套在望远镜筒上,90读数朝上,将黑色反 光镜置于载物台中央,使激光束按照布儒斯特角入射到 黑色反光镜的表面。根据 布儒斯特定律

    9、,当入射角是布 儒斯特角时,反射光将是垂直于入射面的完全线偏光, 反射至望远镜筒内到达观察窗口白屏上 成为- 一个亮 点,转动整个检偏器,调整与望远镜的相对位置,使观 察窗口白屏上的光点达到最暗后固定检偏器,此位置即 为检偏器的零刻度;起偏器的零刻度定位:将起偏器 套在平行光管镜筒上,0读数朝上。取下黑色反光 镜,将望远镜系统转回原 来位置,使起偏器,检偏器共 轴,并使激光束通过中心,调整起 偏器与镜筒的相对 位置,找出最暗位置即为起偏器的零刻度位 置。2.入/4波片的作用是什么?答:1/4波片使得入射的线偏振光出射后为等幅的椭圆 偏振光,从而出射光的P分量与s分量比值为一,进 而使超越方程变得简单。3.等幅椭圆偏振光是如何获得的,简述其原因。激 光先经过竖直向上的偏振片,产生偏振方向为竖直方向 的线偏振光,然后经1/4波片作用,射出时变为等幅椭 圆偏振光。


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