1、电镀药水化验操作规范电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-1页 共10页工序槽名体积分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式化学沉铜线PTH清洁1线886L2线820LC D-2100.16-0.24N1次/班(1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚红指示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V (2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V (3)补加:CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽微蚀 1线886L 2线900LSPS65-95g/l3次/班(1)
2、取样品2ml加DI水50ml、10% H2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml. (2)用0.1N KMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A. (3)取DI水代替样品,重复上述步骤,滴定毫升数为B. (4)计算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)补加:SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000H2SO42.0-3.0%(1) 取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示剂3-4滴. 用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V. (2)计算H2SO4(%)=1.33NV% (3)补加:H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/10
3、0Cu2+25g/l(1)取样品2ml加入DI水50ml, 加入20ml PH=10的缓冲液, 加PAN指示剂2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黄色即为终点. (2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2微蚀速率30-50U1次/班(1) 取abcm的覆铜基板经酸性除油水洗在120烘干30分钟,冷却称重W1. (2) 经微蚀槽(与流程微蚀槽时间一样)水洗,吹干在120烘干30分钟,冷却称重W2. (3)计算:U=(W1-W2)*106/（2ab*8.92*2.54）电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D
4、1总 页 数：第05-2页 共10页工序槽名体积分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式化学沉铜线PTH化 学 铜 (1线2000L 2线2526L)Cu2+1.8-2.2g/l3次/班(1) 取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，加10%KSCN 20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点，体积为V。 (2)计算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V . (3)补加：EC-251A(L)=(2-测)*26.67NaOH8-10g/l(1) 取试样5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为
5、A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至PH=10.5滴定数为B (2)计算:NaOH(g/l)=8*A*N HCHO(g/l)=6*B*N (3)补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67 EC-251C(L)=(6-测值)*8.33HCHO5-7g/l络合剂0.05N(1) 取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX指示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点(2)计算:络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+ (3)补加:EC-251M(L)=(0.06-测)*2667沉积速率0.4-0.6m1次/班(1) 将ab的无铜基板按化铜正常流程走出后,将试验板
6、放入250ml烧杯中,加20ml PH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示剂用0.05N EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V. (2)沉积厚度(m )=635NV/(2ab*8.92)除 胶 渣 总锰60-70g/l1次/班(1) 取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水，加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3 (2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黄色加1%淀粉指示剂5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数. (3)计算:Mn(g/l)=31.6NV (4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1
7、000水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-3页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式化学沉铜线PTH除 胶 渣 ( 1线1800L 2线2616L)六价锰1.145用量程为1.1-1.2的比重计测,直接读数.速化1线886L2线900LAL-242B0.9-1.3%1次/班(1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色, 加入淀粉指示剂继续滴至无色为终点。(2)计算:AL-242B(%)=1
8、.2NV% (3)补加:AL-242B(L)=(1.2%-测)*V槽PH8.75-9.25用PH计直接测量电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-5页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式脉 冲 电 镀 线铜槽1500LH2SO4210-230g/L1次/3天计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天计算与分析方法同一铜线硫酸铜CL-55-85ppm1次/3天计算与分析方法同一铜线CL-光剂3-5mL/L1次/周计算与分析方法同一铜线
9、光剂哈氏试验1次/周电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定酸洗700LH2SO49-11%1次/3天计算与分析方法同一铜线酸洗脱铜600LHNO3300-500mL/L1次/3天计算与分析方法同一铜线脱铜电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-6页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式填 孔 电 镀 线铜槽H2SO4210-230g/L1次/3天计算与分析方法同一铜线铜槽硫酸CuSO4.5H2O6
10、0-80g/L1次/3天计算与分析方法同一铜线硫酸铜CL-55-85ppm1次/3天计算与分析方法同一铜线CL-光剂2.5-6.5mL/L1次/周计算与分析方法同一铜线光剂润湿剂7-11mL/L1次/周1） 用 8mL/L的润湿液作标准曲线并保存2） 把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据整平剂6-10mL/L1次/周1) 作整平剂曲线并保存2) 用50mL的含LEVER标准液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂(6-光剂测值)/20毫升,润湿剂 (25-润湿测值)/20毫升,按分析即可,记录数据哈氏试验1次/周电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定
11、，哈氏看板三个月一换污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定预浸预浸剂9-11%1次/周1) 用75mL的INTERCEPT标准液作空白2) 加入25mL的预浸槽液按分析即可,记录数据酸洗H2SO49-11%1次/3天计算与分析方法同一铜线酸洗脱铜HNO3300-500mL/L1次/3天计算与分析方法同一铜线脱铜电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-7页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式一 次 电 镀 铜 1# 线电 镀 铜 槽 (12000L)H2SO42
12、00-240g/l1次/3天(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .(2) 计算:H2SO4=49*N*V (3) 补加:H2SO4=(220-测)*7.9CuSO45H2O55-75g/l(1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴定毫升数为V (2) 计算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3)补加: CuSO45H2O(Kg)=(65-测)*5.5Cl-40-80pp
13、m(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实. (4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5哈氏试验1次/周电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换光剂含量1-3mL/L1次/周由CVS仪直接测定污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定脱铜(2800L)HNO3300
14、-500ml/l1次/3天(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000酸洗(1600L)H2SO46-8%同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析养板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-8页 共10页工序槽名(体积)分析
15、项目控制范围分析频率分析方法及计算公式一 次 电 镀 铜 2# 线电 镀 铜 槽 (5500L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .(2) 计算:H2SO4=49*N*V (3) 补加:H2SO4=(220-测)*17.1CuSO45H2O55-75g/l(1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴定毫升数为V (2) 计算: CuSO45H2O
16、(g/l)=250*N*V.(3) 补加: CuSO45H2O(Kg)=(65-测)*12Cl-40-80ppm(1) 取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2) 重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.(3) 用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰, 清晰度与此液比较核实. (4) 计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5) 添加:HCl(mL)=(60-测)*31.5哈氏试验1次/周电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换光
17、剂含量1-3mL/L1次/周由CVS仪直接测定污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定脱铜(2768L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000酸洗(1600L)H2SO46-8%同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析养板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：Q
18、Y-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-9页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式一 次 电 镀 铜 3# 线电 镀 铜 槽 (3700L)H2SO4200-240g/l1次/3天（1） 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .（2）计算:H2SO4=49*N*V （3）补加:H2SO4=(220-测)*7.9CuSO45H2O55-75g/l（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶液呈深蓝色,加50mlDI水加2-
19、3滴PAN指示剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴定毫升数为V (2)计算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3)补加: CuSO45H2O(Kg)=(65-测)*5.5Cl-40-80ppm(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核实. (4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60
20、-测)*14.5哈氏试验1次/周电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换光剂含量1-3mL/L1次/周由CVS仪直接测定污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定脱铜(780L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000酸洗(1200L)H2SO46-8%同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析养板槽(1000L)H2SO40.5-1
21、.0%1次/班同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析电镀药水化验操作规范制作单位：品保部 文件编号：QY-QA3009-05制作日期：2010/01/20版 本 号：D1总 页 数：第05-10页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范围分析频率分析方法及计算公式一 次 电 镀 铜 4# 线电 镀 铜 槽 (3700L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH标准液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .(2)计算:H2SO4=49*N*V (3)补加:H2SO4=(220-测)*7.9CuSO45H2O
22、55-75g/l（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10的缓冲液至溶液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴定毫升数为V (2)计算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3)补加: CuSO45H2O(Kg)=(65-测)*5.5Cl-40-80ppm(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2)重复上述步骤,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度
23、与此液比较核实. (4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5哈氏试验1次/周电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片判定，哈氏看板三个月一换光剂含量1-3mL/L1次/周由CVS仪直接测定污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定脱铜(780L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000酸洗(1200L)H2SO46-8%同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析养板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH线微蚀槽中H2SO4的分析
