P5000SiO2DryEtcherPMSOP.docx
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P5000SiO2DryEtcherPMSOP
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钝化层干法刻蚀设备保养规范说明书
P5000SiO2DryEtcherPMSOP
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CHIPTEAM
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2017-3-8
1.目的:
.•••.2…
2.适用范围:
.•….2…
3.定义:
.……
4.权责:
.……
5.材料、工具和易损配件:
.•...•.:
:
3•…
6.相关文件:
:
:
•…
7.作业安全卫生环保须知:
:
:
…
7.1作业安全…:
4…
7.2卫生环保须知:
:
5“八
8.作业内容:
:
:
.•5…
8.1PM执行频率..5…
8.2操作步骤:
:
5•…
9.记录:
:
19…
10.文件更改记录19…
编制
黄相如
批准
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1.目的(purpose)
为工程师机台保养提供一个保养规范,提咼保养效率;
AstandardofthemaintenanceforMachinemaintenanceengineer,toimprovemaintenanceefficiency;
2.实用范围(Scope)
SiO2PM机台的保养
SiO2machine'sPM
3.定义(Definition)
SOP:
standardoperationprocedure标准操作流程)
PM:
preventingmaintenance预防保养)
TMP:
turbomolecularpump(分子泵)
4.权责(Responsibility)
本类机台归属于芯片工程部,主要用于二氧化硅钝化层的刻蚀,机台管理人为黄相
如
Themachinesbelongtotheetchingofthechipsegment,mainlyusedforetching
SiO2passivation,ownerisXiangruHuang
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5.
材料,工具和易损配件(material,toolsandvulnerableparts)
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6.
清洗机cleaningmachine
清洗备件cleanparts
烘烤机bakeingmachine
烘烤备件bakeparts
盖板cover
盖住静电吸盘,防止灰尘掉在上面
Covertheelectrodestaticchuck,
Incaseparticalfallonit
相关文件(RelatedDocuments)
参照AMATP5000OperationManual
RefertoAMATP5000OperationManual
7.作业安全卫生环保须知(operationsecurity,healthandenvironmentalnotes)
7.1作业安全(operationsecurity)
在做机台保养前需要对机台挂好保养状态,防止外人操作机台对保养人员造成损伤,由于此机台用到的制程气体含有含氟气体,因此设备保养人员在对机台进行保养时需要佩戴防毒面具;
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LinkPMstatusforequipmentbeforedoPMtotools,Incaseotherpersonoperate
toolanddamagePMpersons.BecausethetoolsuseprocessgascontainingCF4,PMpersonmustweargasmaskwhendoingPMtotools.
7.2卫生环保须知(environmentalnotes)
由于机台的尾气中含有CF4因此需要在泵浦的排气端加入湿法静气器;
ExhaustofequipmentcontainsCF4soweneedequipthewetscrubberatthebackendofdrypupm.
8.作业内容(Operationcontent)
8.1PM执行频率(PMimplementationfrequenee)
在机台无异常情况下,每2000片wafer做一次保养,误差为正负150片
Inthenormalstatus,dooncePMevery2000pics.Theerrorofplusorminusis150pics
8.2操作步骤(step)
1.首先确认下机台的状态,确保需要PM的腔体没有Run货,挂好PM工作牌,
把Automatic改成Manual。
FirstensurethatthechamberneedPMisnotrunning,displaythePM
"SwiaSwrIrctiorie]
indicateboard,modifytheequipmentmodefromautomatictomanual.
2•将需要PM的腔体切换成OFFLINE
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TakethePMchambertooffline
LoadChMfeer[db■MMSKSBSD
ItiramiEtchBMe.:
Et
"Ml噸M3DR3KnVA^?
^
■IJJ1I畀•山M』,・■■■
3.对PM的腔体做Cyclepurge(30次)Cyclepurge(30times)tochamberofPM
n
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4.等Cyclepurge完了之后,就可以VentChamber。
Ventchamberaftercompletedcyclepurge.4.1首先将Gatevalve关闭;
FirstclosetheGatevalve
15;3C:
r
4.2然后将Turbooff掉,看到TurboController上显示“LEVITATION”就表示Turbo已经停止转动了,可以做下一步动作了;
Closeturbo,whenturbocontrollershow“LEVITATIONmessage,it
meanstheturbohavecompletedstop.Wecoulddonextaction.
)
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4.3将Forelinevalve和N关闭;
CloseForelinevalveandN2
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4.5将腔体Ventvalve打开;Opentheventvalveofchamber.
4.6待Chambervent到ATM后,就可以开腔了OpenthechamberafterchamberventtoATM.
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5•作业人员佩戴好防毒面具,开始PM作业。
ThepersonofPMneedwearmaskanddoPM.
6.关闭Gas手动阀,卸下ChamberLID的螺丝,打开ChamberLID,并拿下ChamberLID.拿下后要去关闭腔体Ventvalve。
Closethegasmanualvalve,takedownthescrewofchamberlid,open
chamberlidandtakedownthechamberlidandclosethechamberventvalve.
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*U「L・.二
1
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7.用一字螺丝刀拧开Innerquartzwindow上的12个螺丝帽(要当心这个是很脆弱的,容易坏),拿走之后就能看见下面的螺丝了,拆下螺丝并拿走Inner
quartzwindow.
Useflatheadscrewdrivertotakedown12screwsoftheinnerquartzwindow(youmustcarefullybecauseoffragile),youwillseetheunderscrewsandtakedownthemandquartzwindow.
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8.取出Quartzexternalring,小心放在塑料膜上(易碎)
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Takeoutthequartzexternalringandcarefullyputitonplasticfilm
(fragile).
9.取下Quartzclampringcover,小心放在塑料膜上(易碎)。
Takedownquartzclampringcoverandcarefullyputitonplasticfilm(fragile)
10.
11.取下Quartzpipering和ESCClampO-ring,小心放在塑料膜上。
Takedownthequartzo-ringandESCclampO-ring,carefullyputthemonplasticfilm.
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12.清洗腔体以及LoadLock,先用吸尘器吸走肉眼看得见的粉尘颗粒,再用沾
了IPA的无尘布去擦拭腔体内壁以及ESC
Cleanchamberandloadlock,firstusecleanercleanvisibleparticle.thenusecleanroomwipercleanchamberinnerwallandESC.
13.清洗Parts,用IPA清洗刚刚从Chamber内拆除下来的Parts。
CleanthepartsuninstallfromthechamberusingIPA
14.安装Parts,先装Quartzpipering;接着安装ESCClampO-ring;然后安装Quartzclampringcover;再装Quartzclampringcover;然后安装Quartzexternalring;装上Innerquartzwindow;最后装上ChamberLID
InstallQuartzpipering,ESCClampO-ring,Quartzclampringcover,thaninstallQuartzclampringcover,Quartzexternalring,atlast,installthechamberLid.
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15.Pumpdown:
先打开腔体的粗抽阀Roughvalve,将腔体的压力抽到200mT以下,打开Forelinevalve,点击Turbo的“ON”;等Turbo完全开起来之后,打开Gatevalve和N2.
Pumpdownchamber:
firstopentheroughvalve,pumpingthechamberpressureunder200mT,openForelinevalve,thenturnonturbo,afterturbopumpfullstart,openthegatevalveandN2valve.
16.完成PM现场的6S;
Finishedthe6SofPMscole
17.Leakratetest,等腔体压力抽下去之后,就可去设置Leakratetest,让腔体
Purge30分钟之后再做Leaktest(LeakRate<5mT/min)。
Leakratetest,setleakratetestandpurge30minutestochamberand
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thendoleaktestafterpumpdownchamber.(LeakRate<5mT/min)
18.等LeakcheckOK后,拿测试片去做测试,测试没问题了通知作业员。
AfterleakOK,usetestwafertodotest,iftestoktheninform
operator.
9.记录(Record)
附件
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Code
Edition
附件1
No1
二氧化硅刻蚀机保养记录
SIO2etcherPMrecord
3E-WH-CM-PM-0023-1
A
附件2
No2
SIO2etcherPMCheckList
3E-WH-CM-PM-0023-2
A
10.文件更改记录
DocumentChangeHistory
Rev.
EffectiveDate
Author
ChangeDescription
A
2011-10-14
黄相如
Xiangru
机台保养规范的撰写
Machinemaintenancespecificationwriting
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