微纳加工工艺流程.docx
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微纳加工工艺流程
高通量微流控器件的设计与加工
罗春雄
掩模的制作
掩模的制备是光刻中的关键步骤之一,其作用是在一个平面上有选择性的阻挡紫外光的通过,从而实现光刻胶的局部曝光。
掩模的图形及尺度由计算机设计完成,常用的设计软件有L-edit(目前最新版本为10.0)和AutoCAD等。
带有图形结构的掩模常用介质有透明膜和玻璃板,图形结构一般由透
明和不透明的区域组成。
掩模有时也被称作原图或光刻版。
当分辨率要求不高时,掩模可用简单的方法来制备。
最常用的方法是使用高分辨率的激光照排机(3000dpi以上)将图形打印在透明胶片上,这种
方法的误差一般为3-7口,视激光照排机的精度而定。
当图形的尺度为10pm量级时,此法制成的掩模可近似视为精确。
使用激光照排机的优点在于设备
易得,一般的出版社就有可以满足要求的机器;并且制作过程很简单,只需要一步打印。
图1采用L-edit设计的模版图。
通过电子束曝光的方法可以得到精度更高的掩模版,精度可达100nm甚至10nm级。
这种掩模版为金属掩模,所以不论是精度、寿命还是使用时的方
便程度,均要优于打印方法制成的模版。
但它的缺点也十分明显:
成本非常高(一块模版通常要上千元人民币),并且制作周期时间长。
还有其他一些方法可以得到掩模版,如准分子激光刻蚀和光学缩小等方法,这样得到的模版精度较高,但对设备的要求都比较高。
光刻胶
光刻胶是由溶解在一种或几种有机溶剂中的光敏聚合物或预聚合物的混合物组成的,它是用光刻技术将掩模上的微结构精确转移到基片的关键媒介。
根据用途不同,有多种黏度、光学性质及物理化学性质不同的品种供选择。
光刻胶有两种基本的类型:
一种是负型光刻胶,它们在曝光时发生交联反应形成较曝光前更难溶的聚合物;另一种是正型光刻胶,它们在曝光时聚合物发生链断裂分解而变得更容易溶解。
根据它们的特性,负型光刻胶显影后曝光部分被固定而非曝光部分被洗掉;正型光刻胶则是曝光的部分在显影后被洗掉,非曝光部分被固定。
下面分别介绍这两种光胶:
a.负光胶
负光胶曝光中发生的光化学反应比正光胶相对简单。
例如Minsk于1954卖给EastmanKodak公司的专利,应用的是聚乙烯醇肉桂酸酯中的肉硅酸部
分的双键对紫外线敏感,双键之一被打开后形成双游离基,这些双游离基不稳定,很快与其他游离基间相互连接,形成新的碳-碳链,并与其他线形分子
交联形成更大的聚合物分子。
与曝光前相比,聚合物变得更不易溶解且抗化学侵蚀性更强,因而未曝光的部分可被显影液溶解而去掉。
此即为KPR(柯达
光刻胶)和其他负胶的基本原理。
我们实验室常用的负光胶是国产的BP系列,特点是光胶薄(1-3丽,附着力极好,分辨率高,但缺点是难去除。
另一种具有代表性的光敏聚合物为SU-8。
它是一种环氧型聚合物材料,因为平均一个单体分子中含有8个环氧基,因此名称中有8,其结构如图2所
示。
SU-8光学透明性、硬质、光敏的独特性质,在微加工材料中独树一帜。
主要特点如下:
高机械强度;高化学惰性;可进行高深宽比、厚膜和多层结构加工。
由于它在近紫外区光透过率高,因而在厚胶上仍有很好的曝光均匀性,即使膜厚达100所得到的图形边缘仍近乎垂直,深宽比可达50:
1。
图2SU-8单体的典型结构。
SU-8是机理和材料完全不同的一类负光刻胶。
该胶可溶于GBL(gamma-butyrolactone)溶液中。
溶剂的量决定了黏度,从而也决定了可能的涂覆厚
度,不同的型号可合适做不同的厚度,最常见的是10E到100小。
弓I发剂三苯基硫盐按SU-8量的10%%比例加入。
SU-8在前烘中有很好的自平整能力。
经
100°C以上固化后,交联的SU-8有较强的抗腐蚀性,热稳定性大于200oG高温下可耐pH值13的碱性溶液的侵蚀。
SU-8的光反应机理:
光刻胶中的光引发剂吸收光子发生光化学反应,生成一种强酸,其作用是在中烘过程中作为酸性催化剂促进发生交联反应。
只有曝光区域的光胶才含有这样形成的强酸,未曝光区域则不含有。
交联反应链式增长,每一个环氧基都能与同一分子或不同分子中的其他环氧基反应。
交联反应形成了致密的交联网络结构不溶于显影液PGME中。
b.正光胶
正光胶的有关技术主要来自含氮染料、印刷和复印工业。
正光胶基于重氮盐和二叠氮化物的两个反应。
在碱性条件下,重氮盐或二叠氮化物很快与酚类偶合剂发生几乎定量的反应,形成各种有色且难溶的染料,其颜色和溶解性取决于二叠氮化物和偶合物的结构。
上述两种成分在偏酸性缓冲液中则不发生反应。
显影液提供的碱性条件则可引发耦合反应。
二叠氮化物经紫外线曝光发生分解反应,释放出氮气,在显影过程中无法再发生耦合反应,而是形成容易被溶解的产物。
很多常用的正光胶含有不同烷基的萘醌二叠氮化物,具有不同的粘性、溶解性和其他特性。
该类叠氮化物在紫外线照射下分解并重排生成乙烯酮,在潮湿气氛下进一步转化成羧基酸茚。
在碱性溶液中显影时,羧基酸茚被溶解,即曝光的光胶部分被溶解,而未被曝光的叠氮化物之间与共存的酚类化合物在碱性显影液中发生耦合反应,形成胶连的难溶物。
通常原理可用图3表示:
图3正光胶的有关化学反应。
我们实验室常用的正光胶有AZ公司的一系列产品,如AZ50、AZ5214、AZ9260等。
它们都有不同的特性,如AZ50的黏度比较大,可以用于制作厚胶
模版(10-60g厚);AZ5214则为薄胶(1-3血,分辨率较高,作掩模的耐腐蚀性也很好。
光刻标定高度曲线图(SU-83000系列)
SpirtSp^ed^rpm]
Spinspeedvs.ThicknessforSU-85000resiitifZOC2
光刻标定相关数据(SU-83005)
胶型
环境温度
环境湿度
涂胶转数
前烘时间
后烘时间
光刻机光强
曝光时间
平均高度
65C
95C
65C
95C
SU-83005
23C
39%
10"500rpm
1min
4min
1min
3min
20w/cm2
70sec
9.6(im
30"1000rpm
SU-83005
22C
22%
10"500rpm
1min
4min
1min
2min
20.8w/cm2
65sec
8^m
30"1500rpm
SU-83005
24C
20%
10"500rpm
1min
4min
1min
2min
20.8w/cm2
60sec
6.95(im
30"2000rpm
SU-83005
24C
20%
10"500rpm
1min
3min
1min
2min
20.8w/cm2
55sec
5.6(im
30"2500rpm
SU-83005
22C
30%
10"500rpm
1min
3min
1min
2min
20w/cm2
50sec
5.05(im
30"3000rpm
SU-83005
23C
26%
10"500rpm
1min
3min
1min
2min
20w/cm2
45sec
4.4(im
30"3500rpm
SU-83005
23C
24%
10"500rpm
1min
3min
1min
2min
21.7w/cm2
38sec
3.65(im
30"4000rpm
光刻标定相关数据(SU-83010)
胶型
环境温度
环境湿度
涂胶转数
(两步程序)
前烘时间
后烘时间
光刻机光强
曝光时间
平均高度
65C
95C
65C
95C
SU-83010
21C
20%
10"500rpm
2min
10min
1min
4min
17.3w/cm2
100sec
18.4(im
30"1000rpm
SU-83010
23C
20%
10"500rpm
2min
10min
1min
4min
18w/cm2
95sec
14.3(im
30"1500rpm
SU-83010
24C
20%
10"500rpm
1min
9min
1min
3min
18w/cm2
90sec
12.1(im
30"2000rpm
SU-83010
24C
20%
10"500rpm
1min
4min
1min
2min
18w/cm2
85sec
10.7(im
30"2500rpm
SU-83010
22C
52%
10"500rpm
1min
4min
1min
2min
17.8w/cm2
80sec
9.6(im
30"3000rpm
SU-83010
23C
44%
10"500rpm
1min
4min
1min
2min
18.3w/cm2
75sec
9^m
30"3500rpm
SU-83010
23C
46%
10"500rpm
1min
3min
1min
2min
18.3w/cm2
70sec
8.1(im
30"4000rpm
光刻标定相关数据(SU-83025)
胶型
环境温度
环境湿度
涂胶转数
(两步程序)
前烘时间
后烘时间
光刻机光强
曝光时间
平均高度
65C
95C
65C
95C
SU-83025
23C
30%
10"500rpm
2min
20min
1min
5min
19.1w/cm2
170sec
76.15(im
30"1000rpm
SU-83025
24C
21%
10"500rpm
2min
17min
1min
9min
23.2w/cm2
150sec
49(im
30"1500rpm
SU-83025
22C
60%
10"500rpm
2min
15min
1min
5min
16w/cm2
135sec
42.5(im
30"2000rpm
SU-83025
24C
24%
10"500rpm
2min
8min
1min
5min
20.7w/cm2
115sec
31(im
30"2500rpm
SU-83025
22C
22%
10"500rpm
2min
6min
1min
4min
20.7w/cm2
90sec
25.8(im
30"3000rpm
SU-83025
25C
不详
(不到20%)
10"500rpm
2min
5min
1min
3min
19w/cm2
80sec
22(im
30"3500rpm
SU-83025
22C
不详
(不到20%)
10"500rpm
1min
3min
1min
2min
19w/cm2
65sec
19(im
30"4000rpm
光刻标定相关数据(SU-83050)
胶型
环境温度
环境湿度
涂胶转数
(两步程序)
前烘时间
后烘时间
光刻机光强
曝光时间
平均高度
65C
95
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