薄膜压力和微磁基础传感器项目申请报告50页doc.docx
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薄膜压力和微磁基础传感器项目申请报告
第一章总论
11项目概况
1项目名称薄膜压力和微磁基础传感器项目
2建设单位婺源县传感器科技有限公司
3项目负责人4建设性质新建
5建设规模和主要建设内容
设计生产能力为薄膜压力传感器20万只微磁基础传感器2万只军工隐形材料产品2万件
项目总占地400亩主要建设内容有新建生产车间综合动力站检测中心仓库办公楼职工宿舍等建筑52400平方米土地征用及厂区道路绿化等关键生产检测设备均为自主研发少量约20市场采购
6总投资和资金筹措
项目估算总投资为6268948万元资金来源为申请银行固定资产投资贷款30000万元企业自筹3268948万元
项目投产后再申请流动资金贷款131484万元投资总额达到7583790万元
7建设期限2年
8项目财务效益预测
项目建成后生产期年平均销售收入164900万元年平均利润总额2734151万元年平均税费总额1899831万元其中增值税923667万元年平均净利润1831881万元投资利润率2922投资利税率5953全部投资税后财务内部收益率3296财务净现值85808万元回收期481年贷款偿还期378年盈亏平衡点3233项目经济效益较好贷款偿还能力和抗风险能力较强
9建设单位简况
1婺源县传感器科技有限公司
2注册资本10000万元
3经营范围传感器生产和销售
4企业类型有限责任公司
12项目申请报告编制的依据和范围
com编制依据
1婺源县传感器科技有限公司薄膜压力和微磁基础传感器项目申请报告编制咨询委托书
2项目承办单位提供的其他有关资料
3建设项目经济评价《方法与参数》第二版
com编制范围
本项目申请报告包括项目建设的必要性建设规模与产品方案项目建设场址技术方案及工艺流程设备选型工程方案环境保护项目实施与招标方案投资估算与资金的筹措以及项目财务评价和社会评价风险分析等
13主要技术经济指标
表1-1
序号项目单位指标1项目总占地亩4002新建建筑总面积m2524003建筑密度1834容积率03935产能51薄膜压力传感器万只2052微磁基础传感器万只253军工隐形材料产品万件26项目总投资万元62689487生产年平均销售收入万元164900008生产年平均总成本费用万元127582889生产年平均销售税金及附加万元7389310生产年平均利润总额万元273415111生产年平均所得税万元90227012生产年平均净利润税后利润万元183188113平均投资利润率%292214平均投资利税率%595315建设投资贷款偿还期年37816财务内部收益率%329617财务净现值Ic10%万元8580818投资回收期年48119盈亏平衡点生产能力利用率%3233
14项目申请报告结论
1该项目通过这一产业化项目建设进一步激发创新活力加快联合企业自主技术创新建立起核心竞争力抢占行业和市场的制高点增强联合企业持续盈利和生存发展的能力符合国家产业发展和可持续发展政策符合循环经济发展战略
2项目选址恰当建设规模适宜采用的工艺技术先进市场需求旺盛发展前景广阔水电气供应充足交通运输较便捷原材料供应有保障有可靠的技术和基础保障条件各项经济技术指标良好经济效益好投资回收期短抗风险能力强
3项目建成后有利于带动当地劳动者就业预计可吸收1200余人劳动力就业这对缓解就业压力扩大就业群体增加劳动者收入都有积极的作用
项目具有明显的经济效益和社会效益应尽快投资建设
第二章项目提出的背景与必要性
二是有利于适应和满足传感器市场的需求
第三章市场预测
薄膜压力传感器国内外同类产品比较表
表1
销售价格项目
单位绝缘性
MΩ桥臂电阻KΩ零点温度漂移FS℃长时间稳定性FS年工作温度范围℃量程
MPa精度等级
FS电阻应变敏感元件制造技术合格率1850美元美国欧美茄公司500
45V23±006<±02-541770-140±025±017高能量
溅射分子结合301500美元美国PCB公司255≤±2≤±01-401250-40±05±01特殊的沉积技术原子结合35法国Fagor
公司1001±001-551500-33±05015溅射技术分子结合2500元本项目
产品≥1000100V210≤±0005<±01-401800-100±01±005共溅射纳米薄膜原子结合70注1以上资料来源于各生产单位的产品宣传资料或企业网站
国内外微磁基础传感器性能比较
表2
北京国浩研究所产品美国产品主要产品非晶丝微磁基础传感器巨磁阻磁传感器磁通门磁强计响应速度1MHZ100KHZ10HZ功耗≤10mW10mW1W分辨力01nT10nT1nT
第四章建设规模与产品方案
41建设目标
本项目首期将投资627亿元人民币建设两条具有国际先进水平的薄膜压力传感器微磁基础传感器军工隐形材料产品生产线本项目建成后可实现年平均销售收入1649亿元提供就业岗位1200余个
42生产规模及产品方案
本项目产品为薄膜压力传感器微磁基础传感器军工急需的隐形材料产品等多个产品形成年生产薄膜压力传感器20万只微磁基础传感器2万只军工隐形材料产品2万件
43产品技术及来源
高性能应变式薄膜压力传感器简称薄膜压力传感器是在国家科技计划项目成果基础上自主研发产生的微磁基础传感器是北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所采用纳米薄膜制备技术自主研发多个军用和民用产品江西婺源智能传感器有限公司与北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所合作本项目的技术来源可靠完全能够做到短时间低成本建成投产
44产品执行标准
因本项目产品国家和行业尚未颁布标准企业标准指标如下
1薄膜压力传感器主要技术参数
测量范围0-100Mpa精度≤01FS含非线性重复性迟滞误差
温度范围-40℃-180℃零点时漂<01FS年
零点温漂0005FS℃长期稳定性≥10年
桥臂电阻2-5KΩ绝缘电阻≥1000MΩ100VDC
2微磁基础传感器主要技术参数
非线性±01FS迟滞±01FS
重复性±01FS分辨力01nT
灵敏度1200mVGs温度范围-50℃125℃
温度漂移<±002FS℃
第五章 项目厂址及建设条件
51项目厂址
场址选择应遵循以下原则
1应符合婺源区的总体规划
2节约用地少占耕地
3减少拆迁移民尽可能不穿越人口密集的居民区
4有利于保护环境和生态有利于保护风景区和文物古迹
项目选址于婺源县工业园区距县城约3公里经实地踏看项目区位于婺源县西面才士大道以南景白公路以北公园东路以西太子桥高新区以东区内有大片疏林地和小部分耕地没有发现文物古迹地面设施较少不存在拆迁问题地势北高南低地面坡度较缓适宜开发建设
52自然条件
1地理位置
婺源县地处东径117°22ˊ-118°12ˊ北纬29°01ˊ-29°34ˊ53建设条件
1城市规划及社会条件
符合城市总体规划和工业园区规划的要求当地广大人民群众对加速工业园区及生产企业的建设具有很高的热情积极参与
2交通运输条件
项目位于工业园区交通便利
3公用设施条件
施工的水电供应均可由接出供应有保障
4施工条件
施工所需的各种材料诸如水泥砂碎石等当地均能采购运距较近
第六章关键技术及设备
61基本原理及关键技术
com薄膜压力传感器基本原理和关键技术内容
1基本原理和关键技术内容
纳米nm是长度单位1纳米等于1米的十亿分之一近代人们在研究超大规模集成电路微结构尺寸极限时发现了结构尺寸小于100纳米的材料具有异乎寻常的性能表现在不仅材料本身的特性发生变化而且它的电特性光特性磁特性也发生很大变化例如纳米结构的电子器件在该器件中电流不是以电子粒子数量表征而是以电子波动性来表征这样欧姆定律就不再适用了
所谓纳米技术是一门纳米空间01100nm内研究原子和分子的运动规律及特性通过操作单个原子以制造具有特定功能的材料或微器件微结构为最终目的的崭新技术包括纳米量级的微结构装置器件传感器机电产品等和纳米材料研究应用两个领域由于纳米材料的新特征现象和引发的新技术不仅涉及到当前科学技术的前沿领域而且其应用也上头到国民经济的各个部门其重要性称为纳米技术是引导下次工业革命的技术受到包括中国在内的世界各国政府的高度重视1991年后美国正式把纳米技术列入国家关键技术和2005年的战略技术它指出微米和纳米制造涉及显微量级微米和原子量级纳米的材料及器件的制造和使用对先进的纳米技术的研究可能导致纳米装置和传感器的产生纳米技术发展可能使许多领域产生突破性进展这段话指出了纳米技术给传感器的发展带来了新的机遇
本项目产品的薄膜是采用复合纳米膜包括有感知信息的纳米功能膜和起隔离钝化作用的纳米结构膜它们都是纳米尺寸的粒子1100nm在衬底上有序沉积生长的薄膜
本项目是利用纳米粒子的特大表面积活性和纳米粒子的界面增韧抗裂特性提升薄膜压力传感器的性能高性能薄膜压力传感器的基本原理是传感器的弹性体采用处理的金属圆形平膜片在平膜片上制作固体薄膜的隔离层然后在其上再淀积纳米量级的薄膜功能材料通过微机械加工技术进行微细加工而构成惠斯登电桥当被测压力作用于膜片上时膜片立即产生弹性形变引起膜片的应变电阻值发生变化使电桥失去平衡从而产生与被测压力成正比的电压信号以实现对被测压力的准确测量
薄膜工艺是薄膜压力传感器的重要技术基础国外早期用真空蒸发电子束蒸发阴极溅射近代用直流和高频磁控溅射技术国内许多单位也采用类似国外发展的技术路线我们采用的是与国内外不相同的低能加速器轰击靶材通过动能转换搬迁靶材上的原子制造应变式薄膜压力传感器的技术路线该技术与磁控溅射技术的区别是被加工的材料是放在高真空接地的电位上而不是像磁控溅射放在等离子区的一个电极上处在该电极的电位上该工艺的主要优点是
1双离子束共轰击低能加速器的工作参数与加工工艺参数能分别独立调整而磁控溅射的加工参数是等离子体放电产生赋予的所以改变等离子体放电参数也改变了工艺参数该工艺参数的独立调整可以根据膜质要求选择最佳工艺参数且多元成份控制准确
2磁控溅射加工时工件处在等离子体中工件遭到等离子体内其它成份带来污染辐射和发热温度过高而低能加速器轰击加工基片在远离等离子体的真空中无上述影响所以膜质好
3低能加速器的轰击角度可以调整而磁控溅射只有一个垂直的轰击角度另外低能加速器搬迁原子速率较慢对于淀积致密连续性好的薄膜有利
2项目的创新点
本项目是采用纳米量级的Ni-Cr功能薄膜纳米量级的SiO2钝化层薄膜纳米量级的Ta2O5过渡层薄膜以及起隔离作用的SiC纳米粒子固体薄膜等纳米材料制成的新型传感器由于利用纳米粒子的表面积巨大的活性效应和纳米膜界面的增韧抗裂纹效应传感器的性能得到了全面的提高使其同时具有高精度高稳定性高工作温度和耐恶劣环境的优良性能这主要是因为微米和纳米两种尺寸的粒子形成的薄膜其性能差异很大薄膜形成的机理是薄膜淀积过程中先在衬底上生长彼此隔离的岛状晶核称不连续薄膜薄膜增厚时晶核之间的网状结构彼此沟通称为半连续膜薄膜连续增厚时岛状晶核互相沟通连接形成连续薄膜显然初期成膜的晶核粒子大小和分布以及致密度决定了膜的质量晶粒大分布疏松致使膜的针孔多附着力差内应力大这样导致膜的电特性机械特性温度特性均大大降低直接影响了传感器的性能
本项目产品采用纳米粒子形成薄膜它分布致密因为一克纳米粒子其表面积可达几万平方米附着力大大提高多层膜的界面实现了原子键合这样提高了传感器的疲劳性能使蠕变和滞后几乎不存在改善了传感器的静态特性同时膜的散热性好改善了传感器的温度性能膜针孔少均匀度好提高了膜的绝缘性能降低了电阻缺陷引入的电噪声较薄的连续膜带来更多的好处传感器的灵敏度提高了桥臂电阻增大了功耗降低了发热减少了零点输出不稳定性减弱了工作温度范围扩大了因此薄膜压力传感器是目前世界上真正做到零点漂移极小温度影响极小的高稳定性高可靠性高精确度以及耐高温高压力的新一代压力传感器薄膜压力传感器的研发成功标志着我国压力传感器的技术性能将得到全面提高为我国压力传感器市场提供了更新换代的高品质产品
本项目产品的关键工艺采用自主创新性的先进技术和先进工艺其主要特点是
1利用自主研发的关键设备真空原子薄膜生长系统的二个低能离子加速器的共轰击作用通过动能转换原位搬迁靶材原子淀积薄膜技术原位反应淀积单层和多层薄膜技术制备包括合金薄膜化合物薄膜介质薄膜和单质金属薄膜等这些薄膜都是由纳米粒子材料逐原子层堆积而成这是目前国内外首次采用的创新技术
2采用辅助离子束轰击实现对靶材和衬底基片进行原位轰击剥离清洗以获得原子级的清洁度提高膜质纯度和实现不同材料的膜层之间的原子键合提高膜的附着力和疲劳强度
3采用辅助离子束轰击正在淀积的薄膜的离子束辅助淀积技术边淀积边轰击的工艺可以实现对薄膜的机械特性电特性晶体特性光学和磁学特性等在相当宽的范围内控制以获得最佳膜质
3通过控制轰击能量和束流大小准确控制薄膜成份的组分比
4采用离子束干法蚀刻技术获得对微结构尺寸的准确控制
薄膜压力传感器及变送器的研制成功为下一步开发纳米膜温敏气敏湿敏磁敏以及多功能复合纳米膜传感器等新产品打下了坚实的基础
3本项目国内外发展现状
目前国内外压力传感器有以下几种情况
第一种是采用有机胶将应变片箔或丝状粘贴在压力腔的弹性体上它的主要缺点是弹性体上的胶层结构在传力时产生层间的滑动造成传感器的滞后和蠕变当胶层老化后会引起内应力而造成传感器的零点输出不稳定严重时使传感器失效国外为此研究了近一个世纪但至今未能完全解决在98年时国家技术质量监督局曾对我国应变式压力传感器进行了第一次国家监督抽查结果发现同样存在上述严重问题此次抽查涉及到生产该产品的厂家有70产量80以上由此可见我国压力传感器产品普遍质量差亟待更新换代
第二种是采用丝网印刷方式将应变材料的浆料印刷到压力腔的弹性体上经烧结而成尽管它与粘贴应变片式压力传感器相比改进了稳定性可靠性但由于它的功能材料的组分配比颗粒粒度等对电阻应变灵敏系数以及温度系数都有明显的影响特别是电阻膜中的导电颗粒接触形成位垒电阻随应用中压力的变化而缓慢变化所以传感器的精度不高同时也不能适用高温工作环境
第三种是薄膜压力传感器采用真空蒸发CVD溅射技术等将材料淀积在压力传感器的弹性体上一般是微米级厚度的微米粒子薄膜由于基本上消除了中间过渡层滑动影响传感器蠕变和滞后很小稳定性大大提高工作温度范围也大大拓宽但是由于传感器性能强烈依赖薄膜性能仍不同程度地存在零点漂移温度漂移等缺陷产品生产的重复性差成品率很低
本项目产品采用低能加速器轰击动能转换搬迁原子淀积生成薄膜它具有膜杂质污染小与基体粘附好膜致密针孔少内应力小机械强度好电特性好晶格取向和排列等等优点大大改善了电介质隔离膜和功能材料电阻膜的性能介质隔离膜致密杂质少针孔小使得传感器的绝缘性能大幅度提高功能电阻膜缺陷少提高了传感器零点输出的长期稳定性膜附着牢致密性好提高了传感器的疲劳特性同时膜致密可带来较高的电阻率获得高阻抗的桥臂电阻以减少功耗和发热另外薄膜材料金属衬底粘附好致密使传感器散热好温度特性得到改善最后薄膜均匀性好且用离子束干法蚀刻加工可以使桥臂电阻误差小简化补零和温度特性处理等工艺
com础传感器项目的基本原理和关键技术内容
1项目的基本原理和关键技术内容
北京国浩研究所发明的新一代高灵敏度快速响应温度稳定性好耐腐蚀抗冲击的非晶丝磁敏感材料主要成分为钴铁硅硼CoFeSiB根据应用不同添加不同的稀土金属和过渡族金属产生不同的性能当高频振荡电流或脉冲振荡电流通过非晶丝时丝的阻抗ZRXj随轴向外加磁场的变化而发生巨大的变化称为GMI效应依据这一原理可以利用GMI效应对微磁进行检测
北京国浩研究所发明的非晶丝外形为微米级圆柱形因此可以实现任何方向磁场的轴向采集国浩研究所在国内唯一掌握直径小于10μm的非晶丝生产技术非晶丝的灵敏度达到900mVGs整体性能已经达到了国际领先水平并完成了中试
另外北京国浩研究所自主研发了非晶丝制造测量和检测专用设备对制造工艺和方法进行了深入的研究见图23生产出了各种不同材料不同配比和不同性能的工业级非晶丝材料满足了微磁基础传感器研究各方面需求
2项目的创新点
国浩研究所利用非晶丝材料发明了军民两用快速响应微磁传感器智能微磁传感器地磁定位导航微磁基础传感器等并研制了GS系列精密加工微细加工设备和专用检测设备获得多项国家发明专利掌握了微磁基础传感器芯片的设计技术芯片加工工艺和封装技术成功实现了微磁基础传感器的芯片化和阵列化在关键技术上形成了自主知识产权在芯片设计方面突破了磁设计结构设计热设计和工艺设计的许多技术难点利用有限元计算机仿真技术对磁场力场和热场的耦合场进行了综合分析进一步验证和完善了理论分析结果在电路方面探索多种实现方案通过上百次试验实现了高灵敏度高速度低噪声低功耗微磁基础传感器电路设计并研制成功了专用集成电路
3本项目国内外发展现状
美国在非晶丝材料和微磁基础传感器方面投入巨资进行了长时期的研究其研究成果逐步应用到国防军工领域包括地磁匹配制导机载导航舰船磁定位导航等系统非晶丝材料和微磁基础传感器技术对国外严格封锁
我国有关单位对非晶材料进行了初步研究但未能获得实质性进展其研究的非晶丝材料一致性重复性和综合性能差无法满足工业生产的要求北京国浩研究所非晶丝材料和微磁基础传感器研究取得突破性进展目前非晶丝材料和微磁基础传感器的综合性能均达到世界先进水平
com术参数
1薄膜压力传感器主要技术参数
测量范围0-100Mpa精度≤01FS含非线性重复性迟滞误差
温度范围-40℃-180℃零点时漂<01FS年
零点温漂0005FS℃长期稳定性≥10年
桥臂电阻2-5KΩ绝缘电阻≥1000MΩ100VDC
2微磁基础传感器主要技术参数
非线性±01FS迟滞±01FS
重复性±01FS分辨力01nT
灵敏度1200mVGs温度范围-50℃125℃
温度漂移<±002FS℃
62主要设备选择
本项目的关键生产检测设备均为自主研发这些设备具有专用和唯一性北京国浩研究所与中国浩华科技实业有限公司合作生产这些设备这些专用设备主要包括真空原子薄膜生长系统精密激光薄膜修阻机压力传感器交变老化设备非晶丝切割专用设备磁悬浮熔炼炉微装配专用设备楔形超声波压焊机荫罩光刻版专用设备导电银胶印刷设备旋转水中纺丝法制备非晶丝系统玻璃包覆法制备非晶丝设备非晶丝冷拉拔装置非晶磁场应力退火系统非晶丝磁电性能测量仪非晶丝巨磁阻抗特性检测系统传感器自动补偿系统传感器自动标定系统等其它约占20的专用设备为集成电路和微机械加工企业的通用设备国内外均有生产
63原材料来源
产品主要原材料为特种钢材以及钴铁硅等材料国内有充足货源
第七章总图运输与公用辅助工程
71总图运输
com厂址区域概况
本项目拟建厂址位于江西省婺源县工业园内婺源县工业园是经省政府批准的省级工业园位于婺源县县城西北部距县城中心城区2公里景婺常景婺黄两条高速公路在园区的西侧交汇高速公路连接线横贯园区区位优越交通便利
com总平面布置
1设计原则
根据布置的多方案比较结合建设场地特征严格执行国家现行规范有关规定在满足国家和地方有关政策法规标准规范的前提下合理进行功能分区和人货流组织节约用地布置紧凑统筹规划充分考虑环保主导风向建筑朝向施工安装检修等因素结合工程及水文地质特征做好竖向排水节约投资方便管理
1根据有关设计规范资料以及现有生产厂成熟的工艺技术和管理水平确定
2满足工艺流程要求厂区内总体布置以确保生产线工艺流畅为主要原则各主体车间与辅助生产车间相对位置交通运输等都应同生产工艺相吻合以保证生产的连续性总图布置要保证主要生产线短捷尽量避免管道来往交叉迂回并将公用工程消耗量大的装置集中布置尽量靠近供应来源
3力求总体布置合理紧凑注意节约用地尽量减少工厂占地面积和土石方工程量节省投资和降低生产成本有利于方便生产和环境保护尽量做到人流和货流分开避免交叉使总图布置规范化合理化
4布置各建筑物时考虑消防采光通风等条件执行防火防爆安全及卫生有关现行规范和标准
2总平面布置设计方案
根据各部门工作性质内容将场地分成厂前区管理区生活区和生产区根据场地情况自然条件主导风向及功能区性质对场地进行平面布置
功能区内各车间或部门位置由活动区间综合相互密切关系程度确定根据物流分析所得出的结论将综合相互密切关系程度高的活动区车间或部门尽量靠近同时注意各功能区之间的联系
厂前区管理区位置设在场地西南部生活区位置在场地东南部
厂前区内设办公楼1幢6层另设半地下停车库食堂同时在厂前区大面积集中布置绿地停车场等绿化设施以美化厂前区环境
生活区内设宿舍2幢
经物流分析根据生产类型工艺流程物流路线生产区又分为生产加工区和仓储辅助区
生产区布置4幢综合厂房
生产区东北角和西北部为仓储辅助区
场地中部设变配电间站房靠近负荷中心为全厂电力和动力供应中心
com总图主要技术经济指标
总平面布置主要技术指标一期
序号项目单位数据备注1征地面积m2266800合400亩一期用地200亩预留发展用地200亩2建筑物占地面积m2244003总建筑面积m2524004容积率03935绿化面积m242000绿地率315
本项目用地严格遵循《工业项目建设用地控制指标试行》规定工业项目的建筑系数应不得低于30未在项目用地范围内建造成套住宅专家楼宾馆招待所和培训中心等非生产性配套设施项目建设采用先进的生产工艺生产设备缩短工艺流程且严格控制厂区绿化率节约使用土地
com工厂运输
1厂区内道路
厂区内设有宽度为612米的环形混凝土道路能满足厂内运输要求
2运输方式
厂外原料以及成品等运输依据不同地点采用铁路火车飞机公路汽车的方式
4运输装备
本项目所需材料运入和产品运出的运输设备考虑到减少一次性投资主要依靠外协运输来解决
72土建工程
com建筑方案
1设计依据
《民用建筑设计通则》
《建筑设计防火规范》GBJ16-872001版
《工程建设标准强制性条文》2002年版房屋部分
《洁净厂房设计规范》GBJ50073-2001
《建筑地面设计规范》GB50037-96
《工业企业设计卫生标准》GBZ1-2002
《工业建筑防腐蚀设计规范》GB50046-95
2项目组成概况
本项目新建建筑有厂房仓库和原材料等生产设施变配电间等公用设施办公楼食堂及传达室等管理生活设施
3建筑设计指导思想
1生产厂房的建筑设计首先保证满足生产工艺要求方便工艺生产方便生产管理
2根据生产工艺要求合理配置生产辅助用房和生产管理用房
3生活设施和管理用房的设计力求方便生活和管理
4建筑设计
1生产厂房
平面尺寸为125×100m建筑面积25000㎡占地面积12500㎡一层层高为58m二层局部层高为45m设有8部疏散楼梯及货梯
平面布置一层生产线二层为生产办公配电机房及材料库房
2综合动力站
平面尺寸为50×20m建筑面积2000㎡占地面积1000㎡柱一层层高为55m二层层高为45m
一层为废水处理站水泵房空压站变电站等二层为水池等
3办公楼
为半月形南北朝向宽16m中线长45m6层局部4层另设半地下停车库总建筑面积4000m2办公楼是一
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