电子枪EBG203UB6S纳入调整手册.docx
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电子枪EBG203UB6S纳入调整手册
電子槍(EBG-203UB6S)納入調整手冊
日本電子DATUM株式會社
産業機器維修部
〈注意事項〉
因使用高電壓,注意[觸電]事項
·在真空槍體内,有大氣時,必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。
·安裝測定器時,必須切斷電子槍電源的電流斷路開關。
·調整電子束時,必須把控制盘安裝在電子槍電源上。
電子槍(EBG-203UB6S)、電子槍電源(JST-3F、10F、16F)納入調整時,请按照下列程序,進行操作。
(1)電子槍的接線
1地線的確認
·確認地線與真空槍體的連接情況。
·地線的接地電阻值爲[10Ω以下(A種)]
2確認端子接線部位線圈導線的連接情況
3
·線圈的線色如圖所示黑、紅…X掃描線
蓝、黃…Y掃描線
4低壓導入端子和電子槍的連接情況
·低壓導入端子的軟管不能阻礙住鎢絲的交換或其它機器的正常作業。
·使用E圈,把低壓導入端子的軟管固定在連接部位封套上。
·切斷低壓導入端子底部的白色、綠色兩根導線。
·低壓導入端子的導線与線圈的導線使其顔色搭配一致。
·不要与其它顔色的導線壓着端子或封套接觸。
·安裝接線部位的封套時,注意不要夾住封套与電子槍本體間的接線。
5高壓導入端子和電子槍的連接
·確保高壓導線(銅線)之間的距離爲3mm以上。
·確保高壓導線(銅線)与高壓密封套間的距離爲10mm以上。
·儘量保持壓着端子、高壓導線(銅線)与電子槍之間的距離。
·連接銅線于高壓導入端子時,使用兩把螺絲鉗使其擰緊。
(參照右圖)
6高壓密封套的確認
·高壓密封套是完全覆蓋住高壓導入端子的。
※關於高壓密封套的形狀,请參照操作說明書(P4-6)
·確認高壓密封套的材質爲非磁性體(SUS、鋁等)
·確認電子槍与密封套之間沒有空隙
※一旦从空隙間混入垃圾掉進高壓部位(高壓導入端子、銅線),是常導致放電的原因,請注意。
·保持高壓部位(高壓導入端子、銅線)与高壓密封套之間有足夠的距離。
(10mm以上)
·安裝高壓密封套時,確認高壓部位与密封套間無接近部分。
(2)電子槍的確認
1gridassembly的確認
·確認(N18)的擰緊狀況(參照下圖)
※为防止由熱帶來的,N18旋轉30度左右最後向反方向回轉。
(N18最後稍微回轉)
·確認Gridassembly固定用的小螺釘(N14)的擰緊情況(參照下圖)
※旋緊扭矩爲50N/cm(注意不要旋得過緊)
·確認不要傾斜安裝gridassembly。
2磁極片的確認
·使用規尺等確認FIL側的磁極片(N61)的平行度。
·使用規尺等確認Hearth側的磁極片(N106)的平行度。
3
磁力的調整
·安裝磁性調整棒(以下列數量爲基準)
ACC6KV時…安裝¢14的磁性調整棒
ACC5KV時…安裝¢11的磁性調整棒
ACC10KV時…安裝¢7.5的磁性調整棒
·磁性調整板維持現狀
4冷卻水的確認
·確認冷卻水口左側爲IN,右側爲OUT。
(參照下圖)
·確認冷卻水的上水道(水溫在30℃以下)、10升/min以上、壓力在0.4Mpa以下。
※實際上,根據冷卻水配管徑,冷卻水在10升/min時,無流水現象。
通常,即使在6升/min時也沒關係,因燈絲等導致內部加熱時,必須規定冷卻水量爲(10升/min)。
(參考:
出力爲1KW時,冷卻水量必須爲1升/min)
因燈絲等導致內部加熱,而冷卻水量不足時,O型密封圈会燒焦而漏出水,请注意。
·真空槍體排气時,務必放出電子槍的冷卻水。
·因燈絲等導致內部加熱時,即使槍體内存有大氣时,也放出電子枪的冷卻水。
5擋板位置的確認
·確認擋板的高度比hearth的上面高70mm以上。
·確認擋板的材質(非磁性體)
6維護保養空間的確認
·由於鎢絲的交換,確認从電子槍側面的鎢絲交換口有80mm以上的空間。
·確認磁性調整棒有交換的空間。
7電子槍周邊的確認
·確認電子槍周邊無磁石、鐵等磁性體。
·確認在反射電子的情況下,沒有容易溶解的物質。
8hearth位置的確認
·確認hearth位置的正常性。
·Hearth回转軸每回轉一次,確認hearth移動一个位置。
9放入試用材料到hearth時,確認槍體内的真空。
(3)電子槍電源的點檢
1停止固定電子槍電源本體。
2拆卸電子槍電源的控制板。
3加強固定電子枪電源内各組件。
·在EB電源左側P部件内,加強扭緊部品(繼電器、電容、二極管等)。
·在EB電源左側P部件内,確認安裝部品(二極管、電阻、變壓器等)的支架。
·在EB電源内,加強扭緊電力回路部品(繼電器、調節阀、SCR部件等)。
·在EB電源下部,加強扭緊高壓回路部品(變壓器、調節阀、電容等)。
·在EB電源下部,確認烘焙板上安裝電阻(10W、1/2W)的支架。
·在EB電源下部,加強扭緊天板上固定着的螺絲釘。
·在EB電源下部,加強扭緊二極管固定在天板上的螺絲釘。
·在EB電源下部,確認二極管与空心電阻器的連接的銅線的安裝情況。
·在EB電源的ST-AS10F内,加強扭緊氖气電纜的連接部分。
(4)電子槍電源的連接
1連接入力電源
·把入力電源連接于電子槍電源的端子盤[R][S][T]。
·確認入力電源(3相200V)的配電盤上安裝的電流斷路開關的容量。
JST-3F…40A以上
JST-10F…60A以上
JST-16F…100A以上
2EB電源与EB操作盤間的連接情況
·連接導線[W1]与導線[W2]。
·連接操作盤用的地線(5.5sq綠色)。
3EB電源与真空槍體間的連接情況
·把COIL電纜連接到低壓導入端子。
·連接EMSN回路線(22sq紅色)。
·把高壓電纜(W4)連接於高壓導入端子。
※不要把高壓電纜与其它信號的電纜束在一起。
※不要忘記安裝高壓導入端子的白色密封圈。
4連接EB操作盤与真空槍體的控制盤。
·連接聯鎖裝置的電纜。
(參照下圖)
·連接GUNON電纜。
(參照下圖)
※有關聯鎖裝置、GUNON電纜的連接情況,请參照操作說明書(P4-32)。
·連接外部信號接線柱(EXTⅠ、EXTⅡ、EMISSON)。
※有關外部信號接線柱的連接情況,請參照操作說明書(P4-32、33)。
5確認地線的連接情況
·確認地線与真空槍體的連接情況。
(接地電阻10Ω以下)。
·確認EB電源与真空槍體間EMSN導線(22sq紅色)的連接情況。
·確認EB電源与EB操作盤間地線(5.5sq綠色)的連接情況。
※有關地線的連接情況,请參照下頁接線圖与操作說明書(P4-12)。
6
全部安裝EB電源的控制板。
(5)確認低壓的接線
1拆卸電子槍電源背面的[COIL]接線柱。
2測量線圈的電阻值
·拆下EB電源背面的[COIL]接線柱,使用万用表測量接線柱間的電阻值。
·接線柱的插頭編號[C]~[D]…大約1Ω
·接線柱的插頭編號[E]~[F]…大約1Ω
·接線柱的插頭編號[C]~[A][B][E][F]…無限大
·接線柱的插頭編號[E]~[A][B][C][D]…無限大
※電阻值異常的狀況下,请檢查下列情況
a.檢查線圈的接線部位是否有与其它顔色導線的壓着端子接觸。
a.檢查線圈的導線是否有傷痕或被損傷的情況。
3測量線圈与地線間的電阻值情況
·拆下EB電源背面的[COIL]的插座,使用万用表檢測接線柱插頭与地線間的電阻值。
接線柱的插頭編號[C]~地線
接線柱的插頭編號[D]~地線全部都是無限大
接線柱的插頭編號[E]~地線
接線柱的插頭編號[F]~地線
※電阻值異常的狀況下,請檢查下列情況
a.檢查線圈接線部位的壓着端子是否有与密封套接觸
b.檢查密封套是否有夾住与電子槍本體間的接線。
c.檢查線圈的導線是否有傷痕或被損傷的情況。
電子槍電源(前面)
(6)通電測試
1電流斷路開關調爲ON。
·配電盤的電流斷路開關調向ON。
·電子槍電源前面的NFB調向ON。
·NFB爲ON後,確認下列項目
b.確認電子槍電源前面的白色指示燈的點燈情況
c.確認電子槍電源前面的紅色指示燈的點燈情況
d.確認電子槍電源的A部件的[OFF]的指示燈的點燈情況
e.確認電子槍電源的FAN的整個回轉情況
※電子槍電源前面的紅色指示燈不點燈時,由於入力電源
的相弄錯,交換入力電源的[R]相与[T]相。
2A部件[POWERON]
·電子槍電源A部件的[POWERON]的開關調向ON。
·開關調向ON後,確認[POWERON]指示燈的點燈情況。
·開關調向ON後,確認EB操作盤的[OFF]的指示燈的點燈情況。
3確認聯鎖裝置的動作情況
·確認EB操作盤的[PS]指示燈的點燈情況。
[PS]指示燈滅燈時,確認電子槍電源A部件的[FUSE(P)][FUSE(MG)][DOOR]的點燈情況。
·確認EB操作盤的[V]指示燈的點燈情況。
[V]灭燈時,確認槍體内真空的聯鎖裝置情況。
·確認EB操作盤的[W]指示燈的點燈情況。
[W]指示燈滅燈時,確認電子槍冷卻水的聯鎖裝置的情況。
·確認EB操作盤的[AUX]指示燈的點燈情況。
[AUX]指示燈滅燈時,確認槍體的控制板等的聯鎖裝置的情況。
4設定FIL切換開關
A部件的FIL選擇[¢0.8](上側)的開關(紅色)。
⑺光束的調整
1槍體的確認
·確診槍體的真空度(2×10-2Pa以下)。
·確認電子槍、hearth的冷卻水的流量。
2EB操作盤的確認
·EB操作盤的ACCADJ-VRA(VR-15)完全向左旋轉。
·EB操作盤的EMI-VR旋轉到最小值(0)。
·EB操作盤的X、Y位置旋轉到中央的位置。
·EB操作盤的X、Y掃描完全向左旋轉。
·EB操作盤的EXT/INTL切換開關調爲[INTL]側。
3FIL動作測試
·EMI電流表的RANGE切換開關選擇爲[Ⅱ]。
·EB操作盤[FIL]旋扭旋轉爲ON。
·慢慢旋轉EMⅠ-VR,EB操作盤EMⅠ電流表設定爲150mA,3-5分鐘鎢絲退火如果,放出grid部的氣體。
·慢慢旋轉EMⅠ-VR到MAX,確認EB操作盤EMⅠ電流表的指示大約在270mA。
※EMⅠ電流表指示在0~約180mA時,A部件的FIL的切換開關變爲¢0.55側(下側)。
那時,A部件的FIL切換開關切換爲¢0.8側(上側)。
·FIL動作確認後,必須把EMⅠ-VR由最小值(0)調爲[OFF]。
4FIL動作的確認
·EMⅠ-VR旋轉到0~MAX時,確認FIL警報器無點燈。
※FIL警報器點燈時,需考慮爲FIL回路斷線,檢查銅線(壓着端子)、gridassembly(钨鎢絲安裝部位)的鬆弛程度。
·EMI電流表的指示值爲200mA以上時,確認實質上鎢絲點燈的明暗度。
※EMⅠ表振動而實質上鎢絲的明亮度不够時,需考慮爲EIL回路的短路,檢查銅線、gridassembly的安裝情況以及鎢絲的變形狀況。
5ACC動作檢測
·負責人確認使用的是加速電壓(ACC)。
金屬系列物質的情況下使用-10KW,而氧化物的情況下使用-6KW比較多。
·再次確認槍體的真空度(2×10-2Pa以下)。
·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[ACC]。
·EB操作盤[ACC]調爲ON。
·把電流表調爲任意值(如:
10KW),調整EB操作盤ACCADJ-VR。
·EB操作盤調爲ON後,確認ACC警報器無點燈加速電壓正常。
(EMⅠ電流表無偏轉)
※ACC警報器點燈的情況下,檢查高壓部分(銅線、gridassembly)的狀況。
6ST-AS10F部件的檢測
·EB操作盤[ACC調爲ON。
·確認ST-AS10F部件的[POWER]指示燈(綠色)的點燈情況。
·確認ST-AS10F部件的[E-REV]指示燈(紅色)無點燈。
7預熱電流的調整
·確認EB操作盤的EMⅠ-VR調爲最小值(0)。
·選擇EB操作盤的EMI電流表RANGE切換開關爲[I]。
·EB操作盤[ACC][FIL]調爲ON。
·EB操作盤的EMⅠ-VR爲0時,調整EB操作盤的VR-16,使光束稍微偏移。
※出貨時ACC=10KV,調整預熱電流爲1mA。
注意事項:
因爲,在ACC=6~8KV時,VR-16在調整前預熱電流電流量大。
[特別是低功率的材料(MgF2等)
(8)光束位置的調整
1EB操作盤的X、Y位置旋扭旋轉到中央。
·EB操作盤的X、Y掃描旋扭旋轉到最左邊(最小)。
·EB操作盤ACC、FIL調爲ON,光束稍微偏出,確認光束的位置。
2光束位置比hearth中心偏向內側時
·加強磁性…選擇細的磁性調整棒
擴大磁性調整板与本體間的空隙
3光束位置比hearth中心偏向FIL侧時
·减弱磁性…選擇粗的磁性調整棒
縮小磁性調整棒与本體間的空隙
※光束位置調整要領
首先,變更磁性調整棒,使光束位置与hearth中心附近保持一致,
<X位置動作幅度>
然後,調整磁性調整棒,使光速与hearth中心保持一致。
(9)位置的調整
1X位置的動作確認
·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[XP]。
·EB操作盤的X位置的旋扭向右旋轉,光束向FIL側(前面)移動。
那時,確認電流表上指示值由0~右(+)側偏移。
·EB操作盤的X位置的旋扭向左旋轉,光束向向內側移動。
那時,確認電流表上指示值由0~左(-)側偏移。
2X位置動作幅度的調整
·EB操作盤的X位置旋扭向左右完全旋轉時,光束从hearth中心向hearth端(前後方向)運動時,調整EB操作盤VR-11(XP-GAIN)。
·調整後,EB操作盤的X位置的旋扭回復到中央位置。
3Y位置的動作確認
·選擇EB操作盤MODE-SELECT的開關[YP]。
·EB操作盤的Y位置的旋扭向右旋轉時,光束向右側移動。
那時,確認電流表的指示向右(+)側移動。
·EB操作盤的Y位置的旋扭向左旋轉時,光束向左側移動。
那時,確認電流表的指示向左(-)側移動。
4Y位置動作幅度的調整
·EB操作盤的Y位置的旋扭向左右完全旋轉時,光束从hearth中心向hearth端(左右方向)運動時,調整EB操作盤VR-13(YP-GAIN)。
·調整後,EB操作盤的Y位置的旋扭回復到中央位置。
(10)掃描振幅的調整
1X掃描動作的確認
X掃描的旋扭
·選擇EB操作盤MODE-SELECT開關[XS]。
·EB操作盤的X掃描旋扭由0~向右完全旋轉。
那時,確認電流表的指示由0~右側偏轉。
2X掃描振幅的調整
·由於光束向X方向(前後方向)擴展,如擴展到hearth端,
最左邊(最小)最右邊(最大)
調整EB操作盤VR-12(XS-GAIN)。
·調整後,EB操作盤的X掃描旋扭回復到最左邊(最小)。
3Y掃描動作的確認
·EB操作盤MODE-SELECT選擇開關[YS]。
·EB操作盤的Y掃描旋扭由0~右完全旋轉。
<Y掃描動作幅度>
那時,確認電流表的指示由0~右側偏移。
4Y掃描振幅的調整
·由於光束向Y方向(左右方向)擴展,如向hearth端擴展,
調整EB操作盤VR-14(YS-GAIN)。
·調整後,EB操作盤的Y掃描旋扭回復到最左側(最小)。
(11)功率的測試
1槍體内狀況的確認
·確認擋板的有無、打開与閉合的狀況
·確認铝製环圈等覆蓋在光學控制器、擋板轴、防護封套、傳感器、燈絲等的無污染情況。
※因加大EMI電流,蒸鍍材料溶解,而槍體内就变髒。
※加大EMI電流時,務必由負責人確認
2功率的測試
·旋轉EB操作盤EMI-VR時,確認EMI電流表的指示值向上,試用材料被加熱。
EMI-VR
EMI電流(3F)
EMI電流(10F)
EMI電流(16F)
0.0
0mA
0mA
0mA
1.0
80mA
100mA
160mA
5.0
400mA
500mA
800mA
10.0
800mA
1000mA
1600mA
·功率測試EMI電流值,由試用材料的材質、形狀等決定
ZrO2SiO2(顆粒)等…100~200mA
Ta2O5TiO2等…200~300mA
MgF2等…10~15mA
※在不清楚是如種蒸鍍材料的情況下,由負責人確認EMI電流的大小位置。
(12)外部信號操作的測試
1外部信號操作狀況的確認
·EB操作盤的EXT/INTL切換開關切換爲[EXT]側。
a.在開關外部信號操作的情況下,EB操作盤的SW外部切換開關(白色)調向上側。
b.在EMI電流外部信號操作的情況下,EB操作盤的EMI外部切換開關(藍色)調向上側。
c.在掃描、位置外部信號操作的情況下,EB操作盤的SP外部切換開關(紅色)調向上側。
※有關外部信號的接線柱,請參照操作說明書(P4-32、33)
2EMI電流外部信號操作測試
·在EMI電流外部信號操作的情況下,按下列操作
a.EB操作盤的EXT/INTL切換開關調爲[EXT]側。
b.EB操作盤的EMI外部切換開關(藍色)調爲上側。
c.EB操作盤的[ACC][FIL調爲ON。
d.把信號插入EB操作盤背面的[EMISSION]的接線柱。
[EMISSION]接線柱④號接線插頭…0~10V
[EMISSION]⑤號接線插頭…GND
e.改變EB操作盤背面的[EMISSION]接線柱的信號連接,確認EMI電流如下列變化。
外部信号設定信号
EMI電流(3F)
EMI電流(10F)
EMI電流(16F)
0.0V
0mA
0mA
0mA
-1.0V
80mA
100mA
160mA
-2.5V
200mA
250mA
400mA
-5.0V
400mA
500mA
800mA
-7.5V
600mA
750mA
1200mA
-10.0V
800mA
1000mA
1600mA
③EMI-FINE回路測試
·使用EMI電流外部信號操作[FINE]的情況下,如下列操作
f.拔出EB操作盤内活動插頭[J24]。
g.把[FINE]信號插入EB操作盤背面的[EXTI]的接線柱。
※有關[FINE]信號的接線情況,請參照操作說明書(P4-32)
h.EMI電流外部信號操作的情況,同上。
i.
調整EB操作盤的VR-9的任意值(一般調整爲1/5狀態)
④外部信號操作的測試
·根據外部信號的操作,確認其正常動作。
※在客戶處,根據外部信號的情況,確認操作動作的全部項目。
確認作業內容,促進与客戶負責人的協商。
(13)附屬品的確認
①確認附屬品
鎢絲(PB438124△4)1盒
操作說明書1本
附屬工具1套
保險絲1套
外部信號用插座3個(未使用時)
遠程BOX加長電纜線1根(未使用時)
磁性調整棒(3根)1套
※同時使用或切換使用的情況下,鎢絲、插座、電纜線、磁性調整棒爲双倍使用。
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