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显示器的种类
显示器的种类
FPD
FPD=FlatPanelDisplay平板显示器
平板显示〔FPD〕已经成为未来电视的主流是大势所趋,但目前在国际上尚没有严格的定义,一般这种显示屏厚度较薄,看上去就像一款平板,平板显示的种类很多,按显示媒质和工作原理分,有液晶显示〔LCD〕、等离子显示〔PDP〕、电致发光显示〔ELD〕、有机电致发光显示〔OLED〕、场发射显示〔FED〕、投影显示等。
FPD的开展趋势
平板显示器与传统的CRT〔阴极射线管〕相比,具有薄、轻、功耗小、辐射低、没有闪烁、有利于人体健康等优点。
目前,在全球销售方面,它已超过CRT。
预计到2022年,二者销售值的比将到达5:
1。
21世纪,平板显示器将成为显示器中的主流产品。
据著名的StanfordResources公司预测,全球平板显示器的市场将从2001年的230亿美元增加到2006年的587亿美元,未来4年的年均增长率将到达20%。
各有千秋的平板显示技术
平板显示器分为主动发光显示器与被动发光显示器。
前者指显示媒质本身发光而提供可见辐射的显示器件,它包括等离子显示器〔PDP〕、真空荧光显示器〔VFD〕、场发射显示器〔FED〕、电致发光显示器〔LED〕和有机发光二极管显示器〔OLED〕等。
后者指本身不发光,而是利用显示媒质被电信号调制后,其光学特性发生变化,对环境光和外加电源〔背光源、投影光源〕发出的光进行调制,在显示屏或银幕上进行显示的器件,它包括液晶显示器〔LCD〕、微机电系统显示器〔DMD〕和电子油墨〔EL〕显示器等。
1.液晶显示器〔LCD〕
液晶显示器包括无源矩阵液晶显示器〔PM-LCD〕与有源矩阵液晶显示器〔AM-LCD〕。
STN与TN液晶显示器均同属于无源矩阵液晶显示器。
90年代,有源矩阵液晶显示器技术获得了飞速开展,特别是薄膜晶体管液晶显示器〔TFT-LCD〕。
它作为STN的换代产品具有响应速度快、不产生闪烁等优点,广泛应用到便携式计算机及工作站、电视、摄录像机和手持式视频游戏机等产品中。
AM-LCD与PM-LCD的差异在于前者每象素加有开关器件,可克服交叉干扰,可得到高比照度和高分辨率显示。
当前AM-LCD采用的是非晶硅〔a-Si〕TFT开关器件和存储电容方案,可得到高灰度级,实现真彩色显示。
然而,高密度摄象机和投影应用对高分辨率和小象素的需求推动了P-Si〔多晶硅〕TFT〔薄膜晶体管〕显示器的开展。
P-Si的迁移率比a-Si的迁移率高8到9倍。
P-SiTFT的尺寸小,不仅适合用于高密度高分辨率显示,且周边电路也可以集成到基板上。
总而言之,LCD适合作薄、轻、功耗小的中小型显示器,广泛应用于笔记本电脑、移动等电子设备中。
30英寸和40英寸的LCD已研制成功,有的已投入应用。
LCD经过规模化生产,本钱在不断降低。
目前,已面市500美元的15英寸LCD监视器。
它的未来开展方向是取代PC的阴极显示器并在液晶电视中应用。
2.等离子体显示器〔PDP〕
等离子体显示是利用气体〔如氛气〕放电原理实现的一种发光型显示技术。
等离子体显示器具有阴极射线管的优点,但制造在很薄的结构上。
目前,主流产品尺寸为4042英寸。
5060英寸的产品正在开发中。
3.真空荧光显示器〔VFD〕
真空荧光显示器是一种广泛用作音/视频产品和家用电器的显示器。
它是将阴极、栅极和阳极封装在真空管壳内的一种三极电子管式的真空显示器件。
它是阴极发射的电子经栅极和阳极所加的正电压而加速,并鼓励涂覆于阳极上的荧光粉而发光的。
其栅极采用的是蜂窝结构。
4.电致发光显示器〔ELD〕
电致发光显示器采用固态薄膜技术制成。
在2个导电板之间放置一个绝缘层,一个薄的电致发光层便沉积而成。
该器件采用宽发射频谱的涂锌板或涂锶板作电致发光部件。
其电致发光层为100微米厚,能到达象有机发光二极管〔OLED〕显示器一样清晰的显示效果。
它的典型驱动电压为10KHz,200V的交流电压,因而需要较昂贵的驱动器集成电路。
采用有源阵列驱动方案的高分辨率微型显示器已研制成功。
5.发光二极管显示器〔LED〕
发光二极管显示器由大量发光二极管构成,可以是单色或多色彩的。
高效率的蓝色发光二极管已面市,使得生产全色大屏幕发光二极管显示器成为可能。
LED显示器具有高亮度、高效率、长寿命的特点,适合作室外用的大屏幕显示屏。
但是,采用这种技术制造不出用于监视器或PDA〔掌上型电脑〕的中等显示器。
但是,发光二极管单片集成电路能用作单色的虚拟显示器。
6.微机电系统显示器〔DMD〕
这是一种采用微机电系统技术制造的微型显示器。
在这种显示器中,微型的机械结构是采用标准的半导体工艺加工半导体和其它材料而制造出来的。
在数字微镜器件中,其结构是一种由铰链支持的微镜。
其铰链由连接到下面的一个存储单元的极板上的电荷所鼓励。
每一微镜的尺寸大约为人头发的直径。
该器件主要用于便携式商用投影机和家庭影院投影机。
7.场发射显示器〔FED〕
场发射显示器的根本原理与阴极射线管相同,即由极板吸引电子并使其碰撞涂覆在阳极上的荧光体而发光。
它的阴极由为数众多的微细电子源依阵列排列而成,即以一个象素一个阴极的阵列形式排列。
就像离子体显示器一样,场发射显示器需要高压才能工作,其电压范围为200V~6000V。
但是至今,由于其制造设备的生产本钱高使之没有成为主流的平板显示器。
8.有机发光二极管显示器
在有机发光二极管显示器〔OLED〕中,电流通过1层或多层塑料,就会产生象无机发光二极管发光的那种现象。
这意味着OLED器件所需的是衬底上的固态膜叠层。
然而,有机材料对水蒸气和氧非常敏感,因此密封是必不可少的。
OLED是主动发光器件,并显示出极好的光特性和低功耗特性。
它们具有在可弯曲的衬底上以一卷接一卷的加工方式进行批量生产的巨大潜力,因此其制造本钱非常低廉。
该技术具有很宽的应用范围,从简单的单色大面积发光到全色视频图形显示器。
9.电子油墨显示器〔E-ink〕
E-ink显示器是在一种双稳态材料上加上电场而进行控制的显示器。
它由大量微型密封的透明球体所构成,每一个球体的直径大约为100微米,并包含黑色液体染色材料以及数千个白色二氧化钛的微粒。
当在双稳态材料上加上电场时,二氧化钛粒子根据其电荷状态将向其中一个电极迁移。
这样导致象素发光或不发光。
由于这种材料是双稳态的,因此它保存信息的时间可达数个月。
由于用电场控制其工作状态,因此用很小的能量就能改变其显示的内容。
薄膜晶体管
ThinFilmTransistor(薄膜场效应晶体管),是指上的每一液晶象素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。
从而可以做到高速度高亮度高比照度显示屏幕信息。
TFT属于有源矩阵液晶显示器。
补充:
TFT〔ThinFilmTransistor〕是指薄膜晶体管,意即每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动,从而可以做到高速度、高亮度、高比照度显示屏幕信息,是目前最好的彩色显示设备之一,其效果接近显示器,是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。
TFT的每个像素点都是由集成在自身上的TFT来控制,是有源像素点。
因此,不但速度可以极大提高,而且比照度和亮度也大大提高了,同时分辨率也到达了很高水平。
TFT(ThinfilmTransistor,薄膜晶体管〕屏幕,它也是目前中高端彩屏中普遍采用的屏幕,分65536色及26万色,1600万色三种,其显示效果非常出色。
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TFT技术解析
TFT(ThinFilmTransistor)LCD即薄膜场效应晶体管LCD,是有源矩阵类型液晶显示器(AM-LCD)中的一种。
和TN技术不同的是,TFT的显示采用“背透式〞照射方式——假想的光源路径不是像TN液晶那样从上至下,而是从下向上。
这样的作法是在液晶的背部设置特殊光管,光源照射时通过下偏光板向上透出。
由于上下夹层的电极改成FET电极和共通电极,在FET电极导通时,液晶分子的表现也会发生改变,可以通过遮光和透光来到达显示的目的,响应时间大大提高到80ms左右。
因其具有比TN-LCD更高的比照度和更丰富的色彩,荧屏更新频率也更快,故TFT俗称“真彩〞。
相对于DSTN而言,TFT-LCD的主要特点是为每个像素配置一个半导体开关器件。
由于每个像素都可以通过点脉冲直接控制。
因而每个节点都相对独立,并可以进行连续控制。
这样的设计方法不仅提高了显示屏的反响速度,同时也可以精确控制显示灰度,这就是TFT色彩较DSTN更为逼真的原因。
目前,绝大局部笔记本电脑厂商的产品都采用TFT-LCD。
早期的TFT-LCD主要用于笔记本电脑的制造。
尽管在当时TFT相对于DSTN具有极大的优势,但是由于技术上的原因,TFT-LCD在响应时间、亮度及可视角度上与传统的CRT显示器还有很大的差距。
加上极低的成品率导致其高昂的价格,使得桌面型的TFT-LCD成为遥不可及的尤物。
不过,随着技术的不断开展,良品率不断提高,加上一些新技术的出现,使得TFT-LCD在响应时间、比照度、亮度、可视角度方面有了很大的进步,拉近了与传统CRT显示器的差距。
如今,大多数主流LCD显示器的响应时间都提高到50ms以下,这些都为LCD走向主流铺平了道路。
LCD的应用市场应该说是潜力巨大。
但就液晶面板生产能力而言,全世界的LCD主要集中在中国台湾、韩国和日本三个主要生产基地。
亚洲是LCD面板研发及生产制造的中心,而台、日、韩三大产地的开展情况各有不同。
目前主流的TFT面板有a-Si(非晶硅薄膜晶体管)
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TFT和LTPSTFT技术
在a-Si方面,三个生产基地的技术各有千秋。
厂商曾经研制出分辨率高达2560×2048的LCD产品。
因此,有些人认为,a-SiTFT技术完全可满足高分辨率的产品需要,但是,由于技术的不成熟,它还不能满足高速视频影像或动画等的需要。
LTPSTFT相对可以节约本钱,这对于TFTLCD的推广有着重要意义。
目前,日本厂商已经有量产12.1英寸LTPS
TFTLCD的能力。
而中国台湾已开发完成LTPS组件制造技术与LTPSSXGA面板技术。
在这方面缺少专门的设计人员和研发专家,但像三星等主要企业已经推出了LTPS产品,显示出韩国厂商的实力。
不过,目前LTPS技术尚不成熟,产品集中在小屏幕,而且良品率低,本钱优势尚无从谈起。
与LTPS相比,a-Si无疑是目前TFTLCD的主流。
日本公司的a-SiTFT投资策略上几乎都以第三代LCD产品为主,通过制造技术及良品率的改善来提高产量,降低本钱。
日本一直走高端路线,其技术无疑是最先进的。
由于研发力量有限,台湾的a-SiTFT技术主要来自日本厂商的转让,但由于台湾企业一般属于劳动密集型,技术含量价低,以生产低端产品为主。
韩国在a-Si方面有着强大的研发实力,比方三星公司就量产了全球第一台24寸a-SiTFTLCD—240T,它的响应时间小于25ms,可以满足一般应用需要;而可视角度到达了160度,使得LCD在传统弱项上不输给CRT。
三星240T标志着大屏幕TFTLCD技术走向成熟,也向世人展示了韩国厂商的实力不容置疑。
除了以上两种TFT技术之间的竞争,SED将会成为TFTLCD的强大敌人。
然而,SED目前仍属于概念型产品,短时间内难以进入主流市场。
虽然目前LCD已经大幅降价,但是相对于CRT仍然价格较高。
因此本钱问题是大家关注的焦点。
实际上,TFT的生产本钱与CRT不相上下,但良品率极低造成了TFT面板本钱居高不下的情况。
TFT面板是由一块较大的基板切割而成。
而LCD产品还要有大量的晶体管阵列来控制三原色,现在的制造技术很难保证在一大块基板上数千万甚至上亿的晶体管不出一个问题。
如果有一个晶体管出现问题,那么那个晶体管对应的点的对应色彩就会出问题〔只能显示某种固定色彩〕,那么这个点就是通常称的“坏点〞。
坏点出现的几率于位置是不固定的,所以一块基板很有可能会被浪费很多。
目前一般LCD要求坏点在5个以下,而一些大厂把这个标准缩小到了3个,甚至为0,这就会使良品率降低。
而一些小厂那么将坏点数扩大,这样一来,本钱自然大幅下降,而产品品质随之下降,这也是某些厂商为何可以大幅降低LCD售价的原因之一。
虽然目前有能力生产液晶显示器的厂家不少,但真正有制造TFT面板能力的厂家屈指可数。
ACER作为IT业内知名企业,实力相当雄厚,虽没有自己生产TFT面板的能力,但与台湾达基关系密切,在技术配合上有一定优势。
不过,限于台湾企业的技术实力,ACERLCD产品主要集中在中低端。
PHILIPS作为世界知名的显示设备制造厂,其显示器销量在国内一直名列前茅,而且于韩国LG达成同盟,共同研发、制造TFT面板。
同样由于技术原因,以及市场定位问题,PHILIPS目前的产品主要集中在中端,而且在零售市场PHILIPS动作一直不很明显。
三星作为另一实力强劲的显示设备研发、制造厂商,在LCD方面投入了较大精力,致力于不断丰富产品线,目前三星产品涵盖了高中低端市场。
LCD技术仍处在不断开展、完善的阶段,三大产地的开展方向各有不同,它们之间既存在竞争,又有着合作。
正是这些因素促使了LCD向前开展。
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TFT-LCD技术
一、前言
进入新千年,作为信息产业的重要构成局部—显示器件正在加速推进其平板化的进程。
目前,世界已进入“信息革命〞时代,显示技术及显示器件在信息技术的开展过程中占据了十分重要的地位,电视、电脑、移动、BP机、PDA等可携式设备以及各类仪器仪表上的显示屏为人们的日常生活和工作提供着大量的信息。
没有显示器,就不会有当今迅猛开展的信息技术。
显示器集电子、通信和信息处理技术于一体,被认为是电子工业在20世纪微电子、计算机之后的又一重大开展时机。
科学技术的开展日新月异,显示技术也在发生一场革命,特别是自90年代以来,随着技术的突破及市场需求的急剧增长,使得以液晶显示〔LCD〕为代表的平板显示〔FPD〕技术迅速崛起。
据Stanford公司预测,FPD市场规模正在以年增长率16.2%的速度开展着,到2000年FPD和CRT的产业都到达300亿美元,CRT平均年增长率缺乏6.3%,远低于FED的平均增长率,且FPD增长率仍在继续提高,CRT在继续下降,替代趋势十清楚朗,可以说平板显示将成为21世纪显示技术的主流,其产业和市场在不断扩增之中。
经过二十多年的研究、竞争、开展,平板显示器已进入角色,成为新世纪显示器的主流产品,目前竞争最剧烈的平板显示器有四个品种:
1、场致发射平板显示器〔FED〕;
2、等离子体平板显示器〔PDP〕;
3、有机薄膜电致发光器〔OEL〕;
4、薄膜晶体管液晶平板显示器〔TFT-LCD〕。
场发射平板显示器原理类似于CRT,CRT只有一支到三支电子枪,最多六支,而场发射显示器是采用电子枪阵列〔电子发射微尖阵列,如金刚石膜尖锥〕,分辨率为VGA〔640×480×3〕的显示器需要92.16万个性能均匀一致的电子发射微尖,材料工艺都需要突破。
目前美国和法国有小批量的小尺寸的显示屏生产,用于国防军工,离工业化、商业化还很远。
等离子体发光显示是通过微小的真空放电腔内的等离子放电激发腔内的发光材料形成的,发光效应低和功耗大是它的缺点〔仅1.2lm/W,而灯用发光效率达80lm/W以上,6瓦/每平方英寸显示面积〕,但在102~152cm对角线的大屏幕显示领域有很强的竞争优势。
业内专家分析认为,CRT、LCD和数字微镜(DMD)3种投影显示器可以与PDP竞争,从目前大屏幕电视机市场来看,CRT投影电视价格比PDP廉价,是PDP最有力的竞争对手,但亮度和清晰度不如PDP,LCD和DMD投影的象素和价格目前还缺乏竞争优势。
尽管彩色PDP在像质、显示面积和容量等方面有了明显提高,但其发光效率、发光亮度、比照度还达不到直观式彩色电视机的要求,最重要的是其价格还不能被广阔家用消费者所接受,这在一定程度上制约了彩色PDP市场拓展。
目前主要在公众媒体展示场合应用开始普遍起来。
半导体发光二极管〔LED〕的显示方案由于GaN蓝色发光二极管的研制成功,从而一举获得了超大屏幕视频显示器市场的绝对控制权,但是这种显示器只适合做户外大型显示,在中小屏幕的视频显示器也没有它的市场。
显示器产业的专家一直期望有机薄膜电致发光材料能提供真正的象纸一样薄的显示器。
有机薄膜电致发光真正的又轻又薄,低功耗广视角,高响应速度〔亚微妙〕的固体平板显示器。
大规模工业生产的本钱很低,使用寿命目前只有几千小时。
OLED在可以预见的将来将首先应用作为TFT-LCD的主要竞争对手,但目前还处于研究试制阶段。
液晶平板显示器,特别TFT-LCD,是目前唯一在亮度、比照度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上全面赶上和超过CRT的显示器件,它的性能优良、大规模生产特性好,自动化程度高,原材料本钱低廉,开展空间广阔,将迅速成为新世纪的主流产品,是21世纪全球经济增长的一个亮点。
二、TFT-LCD
在众多的平板显示器剧烈竞争中,何以TFT-LCD能够脱颖而出,成为新一代的主流显示器决不是偶然的,是人类科技开展和思维模式开展的必然。
液晶先后避开了困难的发光问题,利用液晶作为光阀的优良特性把发光显示器件分解成两局部,即光源和对光源的控制。
作为光源,无论从发光效率、全彩色,还是寿命,都已取得了辉煌的成果,而且还在不断深化之中。
LCD创造以来,背光源在不断地进步,由单色到彩色,由厚到薄,由侧置荧光灯式到平板荧光灯式。
在发光光源方面取得的成果都会为LCD提供新的背光源。
随着光源科技的进步,会有更新的更好的光源出现并为LCD所应用。
余下的就是对光源的控制,把半导体大规模集成电路的技术和工艺移植过来,研制成功了薄膜晶体管〔TFT〕生产工艺,实现了对液晶光阀的矩阵寻址控制,解决了液晶显示器的光阀和控制器的配合,从而使液晶显示的优势得以实现。
1、TFT工作原理
〔1〕TFT是如何工作的TFT就是“ThinFilmTransistor〞的简称,一般代指薄膜液晶显示器,而实际上指的是薄膜晶体管〔矩阵〕——可以“主动的〞对屏幕上的各个独立的象素进行控制,这也就是所谓的主动矩阵TFT〔activematrixTFT〕的来历。
那么图象究竟是怎么产生的呢?
根本原理很简单:
显示屏由许多可以发出任意颜色的光线的象素组成,只要控制各个象素显示相应的颜色就能到达目的了。
在TFTLCD中一般采用背光技术,为了能精确地控制每一个象素的颜色和亮度就需要在每一个象素之后安装一个类似百叶窗的开关,当“百叶窗〞翻开时光线可以透过来,而“百叶窗〞关上后光线就无法透过来。
当然,在技术上实际上实现起来就不像刚刚说的那么简单。
LCD〔LiquidCrystalDisplay〕就是利用了液晶的特性〔当加热时为液态,冷却时就结晶为固态〕,一般液晶有三种形态:
类似粘土的层列〔Smectic〕液晶
类似细火柴棒的丝状〔Nematic〕液晶
类似胆固醇状的〔Cholestic〕液晶
液晶显示器使用的是丝状,当外界环境变化它的分子结构也会变化,从而具有不同的物理特性——就能够到达让光线通过或者阻挡光线的目的——也就是刚刚比方的百叶窗。
大家知道三原色,所以构成显示屏上的每个象素需上面介绍的三个类似的根本组件来构成,分别控制红、绿、蓝三种颜色。
目前使用的最普遍的是扭曲向列TFT液晶显示器〔TwistedNematicTFTLCD〕,下列图就是解释的此类TFT显示器的工作原理。
现存的技术差异很大,我们将会在本文的第二局部中详细介绍。
在上、下两层上都有沟槽,其中上层的沟槽是纵向排列,而下层是横向排列的。
而下层是横向排列的。
当不加电压液晶处于自然状态,从发光图2a扭曲向列TFT显示器工作原理图示意图层发散过来的光线通过夹层之后,会发生90度的扭曲,从而能在下层顺利透过。
当两层之间加上电压之后,就会生成一个电场,这时液晶都会垂直排列,所以光线不会发生扭转——结果就是光线无法通过下层。
〔2〕TF
T象素架构如图4示,彩色滤光镜依据颜色分为红、绿、蓝三种,依次排列在玻璃基板上组成一组〔dotpitch〕对应一个象素每一个单色滤光镜称之为子象素〔sub-pixel〕。
也就是说,如果一个TFT显示器最大支持1280×1024分辨率的话,那么至少需要1280×3×1024个子象素和晶体管。
对于一个15英寸的TFT显示器〔1024×768〕那么一个象素大约是0.0188英寸〔相当于0.30mm〕,对于18.1英寸的TFT显示器而言〔1280×1024〕,就是0.011英寸〔相当于0.28mm〕
大家知道,象素对于显示器是有决定意义的,每个象素越小显示器可能到达的最大分辨率就会越大。
不过由于晶体管物理特性的限制,目前TFT每个象素的大小根本就是0.0117英寸〔0.297mm〕,所以对于15英寸的显示器来说,分辨率最大只有1280×1024。
2、TFT的技术特点
TFT技术是二十世纪九十年代开展起来的,采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术,是液晶〔LC〕、无机和有机薄膜电致发光〔EL和OEL〕平板显示器的根底。
TFT是在玻璃或塑料基板等非单晶片上〔当然也可以在晶片上〕通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜,通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路〔LSIC〕。
采用非单晶基板可以大幅度地降低本钱,是传统大规模集成电路向大面积、多功能、低本钱方向的延伸。
在大面积玻璃或塑料基板上制造控制像元〔LC或OLED〕开关性能的TFT比在硅片上制造大规模IC的技术难度更大。
对生产环境的要求〔净化度为100级〕,对原材料纯度的要求〔电子特气的纯度为99.999985%〕,对生产设备和生产技术的要求都超过半导体大规模集成,是现代大生产的顶尖技术。
其主要特点有:
〔1〕大面积:
九十年代初第一代大面积玻璃基板〔300mm×400mm〕TFT-LCD生产线投产,到2000年上半年玻璃基板的面积已经扩大到了680mm×880mm〕,最近950mm×1200mm的玻璃基板也将投入运行。
原那么上讲没有面积的限制。
〔2〕高集成度:
用于液晶投影的1.3英寸TFT芯片的分辨率为XGA含有百万个象素。
分辨率为SXGA〔1280×1024〕的16.1英寸的TFT阵列非晶体硅的膜厚只有50nm,以及TABONGLASS和SYSTEMONGLASS技术,其IC的集成度,对设备和供给技术的要求,技术难度都超过传统的LSI。
〔3〕功能强大:
TFT最早作为矩阵选址电路改善了液晶的光阀特性。
对于高分辨率显示器,通过0-6V范围的电压调节〔其典型值0.2到4V〕,实现了对象元的精确控制,从而使LCD实现高质量的高分辨率显示成为可能。
TFT-LCD是人类历史上第一种在显示质量上超过CRT的平板显示器。
现在人们开始把驱动IC集成到玻璃基板上,整个TFT的功能将更强大,这是传统的大规模半导体集成电路所无法比较的。
〔4〕低本钱:
玻璃基板和塑料基板从根本上解决了大规模半导体集成电路的本钱问题,为大规模半导体集成电路的应用开拓了广阔的应用空间。
〔5〕工艺灵活:
除了采用溅射、CVD〔化学气相沉积〕MCVD〔分子化学气相沉积〕等传统工艺成膜以外,激光退火技术也开始应用,既可以制作非晶膜、多晶膜,也可以制造单晶膜。
不仅可以制作硅膜,也可以制作其他的Ⅱ-Ⅵ族和Ⅲ-Ⅴ族半导体薄膜。
〔6〕应用领域广泛,以TFT技术为根底的液晶平板显示器是信息社会的支柱产业,也技术可应用到正在迅速
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