印制线路板蚀刻液循环利用可行性研究报告.docx
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印制线路板蚀刻液循环利用可行性研究报告
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刷
线
路可
板行
蚀性
刻研
液究
循报
环告
利
用
2011年9月8日
一、前言
1.金屬應用歷史
依據史學家的推論,人類文明發展最早期的石器時代,是指公元前50,000年至公元前5,000年之間;據有記載歷史考證,在石器時代末,人們便開始以村落形式存在于希臘和伊比亞利半島。
至於稍後的銅器時代(公元前5,000年至公元前2,000年),是人類開始廣泛使用金屬的時代;金、銀、銅等金屬被塑造成各種形狀,使用于不同領域。
當銅和錫第一次被融化在一起時,新的物質---青銅被人們發現,這一創新可以說是人們的一項意外發現;有人稱之為青銅器時代(公元前2,000年至公元0年)。
青銅較純銅易熔化,青銅的發現成為人類冶金史的里程碑。
另一方面,約在西元前1,400年,人類發現煉鐵之方法,中國文明進入了戰國時代;在鐵器時代的另一特點是農業的興起,這也為人類文明的出現創造了發展條件。
雖然人類使用金屬頗有一段歷史,但是金屬元素的確認,大部分是在過去四百年的成果(表1)。
以往,金屬加工以熔煉、澆模、鎚鍊、磨光等物理作用為主。
至今,金屬表面加工的目的不外是裝飾、保護、增加/減少導電度、磨光/粗化表面、活化/鈍化表面、防蝕、電流通路聯接等作用,而在加工處理過程中,因使用化學藥劑產生許多含金屬的廢溶液。
2.重金屬中毒
至於重金屬的定義,是指金屬元素的原子量在63.546與200.590之間(Kennish,1992),以及比重大於4.0(Connelletal.,1984)。
生物組織需要微量的重金屬,例如鈷、銅、鐵、錳、鉬、釩、鍶與鋅等;過量則會造成傷害。
有些重金屬即使是微量,也會造成危害,例如鎘、鉻、汞、鉛、砷與銻等(Kennish,1992)。
部分重金屬中毒症狀簡述如下:
鎘中毒:
鎘金屬含高毒性,鎘重金屬中毒最著名的痛痛症(Itai-itaidisease);在日本富山縣,河川受到鎘的污染,此河川灌溉所產出的稻米因而也受到污染,稱〝鎘米〞。
當地居民吃了鎘米之後,鎘便在體內累積,而在腎臟濃縮,產生腎小管性蛋白尿、骨軟化及假性骨折等症狀,病人身上十分痛苦,故稱之為痛痛病。
在痛痛病的事件中大量使用維生素,被發現可舒解患者痛苦。
經呼吸道中毒通常會有呼吸系統局部發炎,嚴重者可因水肺致死,長期暴露會造成嗅覺喪失症、牙齦黃斑或漸成黃圈。
經飲食中毒者則以昏眩、下痢為主。
鎘化合物還有致畸胎和致癌的作用。
砷中毒:
存在的兩種形式為3+與5+,而3+砷為砒霜的成份。
由於長期飲用含砷較高的水而引起慢性砷中毒,使得居民腳底皮膚色素沉積,高度角質化,發生龜裂性潰瘍,稱之烏腳病(Blackfootdisease)。
臺灣西南岸的布袋、北門曾出現此一病例。
鉛中毒:
鉛主要是損害骨髓造血系統和神經系統,對男性的生殖腺也有一定的損害。
蓄積在骨骼中的鉛,當遇上過勞、外傷、感染發燒、患傳染病、缺鈣或食入酸鹼性藥物,使血液酸鹼平衡改變時,鉛便可再變為可溶性磷酸氫鉛(PbHPO4)而造成干擾與溶血,引起內源性鉛中毒。
鉛對神經系統的損害是引起末梢神經炎,出現運動和感覺障礙。
此外鉛隨血流人腦組織,損害小腦和大腦皮質細胞,干擾代謝活動,使營養物質和氧氣供應不足,引起腦內小毛細血管內皮細胞腫脹,進而發展成為瀰漫性的腦損傷。
經常接觸低濃度鉛的人,當血鉛達到每100毫升60-80微克時,就會出現頭痛、頭暈、疲乏、記憶力減退和失眠,常伴有食慾不振、便祕、腹痛等消化系統的症狀。
幼兒大腦對鉛污染比成年人敏感。
大氣中的鉛對兒童的智力發育和行為會有不良影響。
兒童的血鉛超過每100毫升60微克時,會出現智能發育障礙和行為異常。
鉛對兒童骨骼的生長發育也能造成損害,例如能使長幹骨髓端鈣化帶密度增強、寬度加大和骨骼線變窄等。
鉛還能透過母體胎盤,進入胎兒體內和腦組織。
鉻中毒:
工業廢水中的鉻主要是六價化合物,三價鉻與六價鉻對人體健康都有害,但六價鉻毒性更大,比Cr+3毒性大上100-1,000倍。
Cr+6在化性上屬強氧化劑,水溶性及組織穿透性強,並可輕易穿透皮膚,因此可對人體造成極大傷害,Cr+3則穿透性差,吸收也差,因而毒性較弱。
Cr+6進入人體後可輕易穿透細胞膜,之後還原成Cr+3,且與細胞內核酸(DNA)結合一起,還原過程中使其內小分子及酵素氧化產生游離氧基,而進一步引起一連串的細胞破壞與DNA損傷。
因而具有致癌性。
+6價鉻約有10%的吸收率,而+3價鉻只有0.5%吸收率。
硒中毒:
硒的化合物掉在皮膚上會生斑疹,硒中毒會造成頭疼、脫髮、指甲脆、疲勞,引起皮膚病和精神錯亂、浮腫、不育。
腎功能紊亂,及喪失嗅覺。
飲水中硒含量過高會引起齲齒。
汞中毒:
所謂水俁病(Minamatadisease)發生於日本熊本縣(在九州),名「水俁」的一魚村。
由於附近一家工廠排放大量含汞廢水,而這些氧化汞於海底經微生物轉化成甲基汞,然後經食物鏈濃縮於人體內,引起的一種神經系統疾病。
本病初期死亡率高達38%,約150人死亡。
水銀蒸氣中毒常因加熱元素汞後形成蒸氣而造成。
急性期以急性肺炎和發燒為主。
病理變化常見肺泡壞死和肺纖維化,腎臟、肝臟和腦也會有病變,如大腦呈現多發性缺血性壞死、膠質化和血管炎。
慢性水銀蒸氣中毒也可造成精神興奮現象和前述之症狀。
鎳中毒:
可能口服致死量(人類)在50-500mg/kg,對一個體重70公斤(150磅)的人來說,在1茶匙與1盎司之間。
Ni(CO)4為鎳化合物中最具毒性者,大氣中暴露30ppm約20分鐘,能使人類致死。
Ni(CO)4的蒸氣一直被懷疑有致癌性,但此觀點已減弱。
四羰化鎳的味道有時被描述像磚粉味,但有些人無法辨認。
流行病學調查證實,鎳能促使細胞惡變,長期接觸有致癌作用。
尤其肝癌和鼻咽癌高發區病人的發鎳比低發區明顯增高。
銅中毒:
綠牡蠣指牡蠣因受銅離子污染水之影響,體內蓄積高量的銅,日本延岡灣及台灣二仁溪均發生過綠牡蠣案件,牡蠣體內銅含量高達320至680ppm。
印度兒童慢性肝肩質炎病患者,或某些遺傳疾病如威爾森氏病患者體內的銅保留量過多,是由於肝功能損壞導致的,常常會產生致命的後果。
急性銅中毒的症狀表現噁心、嘔吐、腹部和肌肉疼痛。
體內過量的銅可以採用特製的蜇合劑或者服用大劑量的鋅予以排除。
鋅中毒:
從有關的金屬煙霧熱及鋅粉傷害文獻中可知,因口服攝入含鋅化合物微粒而引起的嚴重性鋅暴露,會造成胃炎及嘔吐。
由空氣中吸入1-34mg/立方公尺含氧化鋅的氣體會導致金屬煙霧熱及肺炎.
鋅在人體代謝過程中是正常及必要的物質,所以如果中毒確實發生,通常是因為暴露在高劑量氧化鋅粉末所致。
銀中毒:
急性症狀在過量吸入銀的熱蒸氣4小時,會損害肺部,造成肺水腫,也可能造成擴散型的肝纖維化。
慢性症狀為:
1.主要慢性危害是因銀粒沈澱而導致眼睛、皮膚及粘膜染成藍灰色。
2.金屬銀粒沈澱通常是造成局部銀中毒,若吸入或食入銀鹽則會造成全身性銀中毒。
據估計,食入1-5g的銀會導致鋅性銀中毒。
3.若銀沈澱於呼吸道,會造成輕微的慢性支氣管炎。
4.銀合金刺青會造成疲倦、頭痛、竇炎、體重減輕。
5.反覆與皮膚接觸可能使某些人產生皮膚炎。
錳中毒:
吸入或攝食過量的錳會造成嚴重的神經系統疾病,行動障礙、心智和情緒的異常。
此種腦的病變雖然可以藥物來減少部份症狀,但卻是永久性的。
此外吸入大量的錳會刺激肺,引起呼吸障礙,增加呼吸道感染,如肺炎。
過量的錳也會造成性無能,而無法生兒育女。
動物實驗發現過量錳會傷害睪丸。
錳中毒在工業先進國家、礦石出產國仍屬重要的職業病,如美國、日本等。
3.重金屬廢水處理現況
(1)印刷電路板業
印刷電路板製造業之廢棄物,主要來自製程之蝕刻廢液、剝錫鉛廢液、刷銅粉塵、廢水處理後之含銅污泥。
表1所示為典型的電路板工廠製程單元含金屬廢棄槽液來源及特性。
各製程單元槽液除隨製程單元功能需求而添加各種有機或無機化學藥品外,歸納其共通特性為高濃度COD或重金屬銅、鉛污染。
就資源回收觀點,由於蝕刻、微蝕、化學銅、剝錫鉛及剝掛架等五股廢棄槽液尚含有極高濃度的銅或鉛,極具資源回收潛力。
表1電路板工廠含金屬廢棄槽液來源及特性
製程
單元
步驟
槽液成份
重金屬濃度(mg/L)
銅(Cu2+)
鉛(Pb2+)
刷磨
酸洗
5%硫酸
501,000
-
內層蝕刻
蝕刻
氯化銅
50,000100,000
-
氯化鐵
40,00090,000
-
黑/棕氧化
脫脂
鹼性脫脂劑
1050
-
微蝕
硫酸/雙氧水
2,00020,000
-
過硫酸鈉
2,00020,000
-
過硫酸銨
2,00020,000
-
氧化
亞氯酸鈉、磷酸三鈉、氫氧化鈉
1050
-
除膠渣
膨鬆
鹼性有機溶劑
-
-
氧化
高錳酸鉀
3050
-
鉻酸
-
-
還原
酸性溶液
1,0002,000
-
PTH鍍通孔
整孔/調整
鹼性清潔劑
1050
-
微蝕
硫酸/雙氧水
2,00020,000
-
過硫酸鈉
2,00020,000
-
過硫酸銨
2,00020,000
-
預活化
氯化亞錫、鹽酸
20100
-
活化
氯化鈀、氯化亞錫
110
-
加速化
硫酸、氟酸類
-
-
化學銅
硫酸銅、甲醛、螯合劑
1,0004,000
-
一次銅
脫脂
酸性清潔劑
5002,500
-
硫酸/雙氧水
2,00020,000
-
微蝕
過硫酸鈉
2,00020,000
-
過硫酸銨
2,00020,000
-
預浸酸液
10%硫酸
5006,000
二次銅/鍍
錫(鉛)
脫脂
酸性清潔劑
5003,500
-
微蝕
硫酸/雙氧水
2,00020,000
-
過硫酸鈉
2,00020,000
-
過硫酸銨
2,00020,000
-
預浸酸液
10%硫酸
5001,000
-
外層蝕刻
蝕刻
氨水、氨化鈉
100,000150,000
-
剝錫鉛
剝錫鉛
氟水銨、硝酸、雙氧水
1,0001,500
10,00015,000
鍍鎳金
前處理
鹼性清潔劑
-
-
活化酸液
-
-
噴錫
酸洗
5%硫酸
15,00020,000
-
助焊劑塗佈
鹵化有機物
50,000100,000
-
剝掛架
硝酸
15,00025,000
2,00020,000
資料來源:
http:
//www.nccp.org.tw/rcp/rcp19/rcp19_5.htm
污泥的處理也常造成業者很大的困擾,尤其大多採取傳統化學混凝沈澱法處理,產生大量的污泥(1噸廢水約產生75公斤濕污泥),屬於有害事業廢棄物。
除銅以外,其他較微量的金屬有鋅、鐵、錳、鉻、鉛、鎳。
所產出的含銅重金屬污泥一般含水率約75%,含銅量約5~10%。
目前主要是以委託甲級廢棄物清除處理機構清理及境外輸出為主,而處理方式為資源回收及固化掩埋,輸出國以美國、加拿大為主,產品有銅箔、硫酸銅。
雖然日本為鄰,且該國視含銅重金屬污泥非屬有害事業廢棄物,但我國認定其為有害事業廢棄物,輸出須得許可文件,然而,日本方面無意提供證明,輸日處理途徑受阻。
市場上的清理價格,隨污泥金屬種類與濃度、含水率、清運量、運送距離而異,每公斤約在NT$7-12元。
另外,電路板製造業所產出的含銅酸性蝕刻廢液,則由甲級廢棄物清除處理機構進行資源回收為主,產品有銅箔、硫酸銅、氧化鐵、多氯化鋁。
依據2001年出版之台灣電路板協會「電路板業廢棄物清理現況調查報告」,由樣本分析所得的單位產品廢棄物產生量推估,得到的廢水污泥量,在89年是32,099噸-749,146噸之間;平均值為186,587噸,處理成本約新台幣20億元。
若是考量其中銅原料的購買成本,其損失的價值約值新台幣15億元。
(2)電子業
半導體業者的含重金屬廢棄物,主要來源為蝕刻與清洗銅製程廢水處理所產生之污泥,污泥含銅及少量之鐵、鋁、錳、鎂等金屬,表2列出化學機械研磨法與廢水中的部分化學物質。
表2化學機械研磨法與廢水中的無機與有機化學物質
類別
成份
元件間連線
銅Cu2+、錯合物Cu2+、Cu2O、CuO、Cu(OH)2、氧化鎢WO3、氧化鋁Al2O3、Al(OH)3、Fe2+/Fe3+等
線層/阻障層
鉭Ta及鈦Ti氧化物與氧氮化物等
研磨料
氧化矽SiO2、Al2O3、氧化錳MnO2、氧化鈰CeO2等
氧化劑
羥胺hydroxylamine、KMnO4、KIO4、H2O2、NO3-等
強酸與弱緩衝酸
HF、HNO3、H2SO4、HCl、H3BO3、NH4+等
強鹼
NH3、OH-、四甲基銨氫氧化物TMAH、膽鹼cholinebase等
分散劑/表面活化劑
聚丙烯酸、四級銨鹽、烷基硫酸鹽等
腐蝕抑制劑
苯併三唑、烷基胺鹽等
金屬螯合劑
乙二胺四乙酸EDTA、醇胺、草酸與檸檬酸等
酸
聚丙烯酸、草酸、檸檬酸、醋酸、過氧醋酸等
資料來源:
半導體業所申報產出的重金屬污泥約1,100噸,電子零件製造業所產出的重金屬污泥約1,400噸,其他視聽電子產品製造業產出的重金屬污泥約1,500噸、含重金屬廢酸蝕刻液約2,000噸、含重金屬廢鹼蝕刻液約1,200噸,電腦組件製造業產出的重金屬污泥約1,000噸、含重金屬廢酸蝕刻液約1,000噸。
總計電子業產出的重金屬污泥約5,000噸、含重金屬廢酸蝕刻液約4,500噸、含重金屬廢鹼蝕刻液約1,200噸。
然而,由統計方式所推估的半導體業產出重金屬污泥約6,000噸,電子零件製造業所產出的重金屬污泥約1,400噸,其他視聽電子產品製造業產出的重金屬污泥約1,500噸、含重金屬廢酸蝕刻液約2,000噸、含重金屬廢鹼蝕刻液約1,200噸,電腦組件製造業產出的重金屬污泥約4,200噸、含重金屬廢酸蝕刻液約4,800噸。
估計電子業產出的重金屬污泥約13,100噸、含重金屬廢酸蝕刻液約6,800噸、廢鹼蝕刻液約1,200噸。
由於半導體業及電子產業廠址多半設廠於工業區內,減廢與環境管理工作推行多年,而且各項廢棄物法定申報作業較能配合要求,紀錄與推估量差異較少。
另外,目前TFT-LCD面板中的彩色濾光片所使用的黑色矩陣來源,不外乎是在玻璃基板上形成如鉻、鎳、鋁的金屬薄膜層,其形成的方法則有濺鍍及真空蒸鍍;而所謂ITO導電玻璃(IndiumTinOxide)即為氧化銦錫,氧化銦錫導電玻璃是液晶顯示器(LCD)或模組的關鍵材料。
由於製程上使用的金屬量較少,而且廠家數不多,約9家,所以金屬廢棄物數量相對微量。
所以,總結上述的各項紀錄、調查、統計與推估結果,電子業每年所產出的含金屬酸性蝕刻廢液約7,000噸、廢水含金屬污泥(80%含水率)約13,000噸,其處理成本約新台幣4億元。
若是考量廢棄的重金屬與貴金屬的購買成本,其損失的價值約值新台幣10億元。
(3)金屬表面處理業
金屬表面處理業之廢棄物,主要來自金屬表面酸洗廢液、清洗廢水、電鍍廢液、廢水處理後之污泥,因不同表面處理製程,所產生的污泥含金、銀、鉻、鎳、銅、鋅、錫、砷、鉛、鐵、錳、鋁等金屬成份。
至於電鍍業,由於鍍件種類複雜,材質、用途及功能需求各異,以致作業程序差異頗大。
但電鍍之基本製程大致相同,即脫脂、酸洗、電鍍、後處理等程序。
電鍍製程之廢水來源主要是槽體定期排放之廢液及各單元之製程清洗廢水,污染物則包括油脂、雜質、懸浮物、酸鹼、鉻酸鹽、氰化物及重金屬物質等。
各類型電鍍製程特性、廢液來源及重金屬污染物彙整如表3所示。
表3各類型電鍍製程特性、廢液來源及重金屬污染物彙整
電鍍類型
製程特性
製程廢液來源
重金屬污染物
裝飾電鍍
以鎳或銅鍍底後再鍍上金、銀等金屬
脫脂、電解脫脂、酸洗
銅、鎳、金、銀
工業電鍍
於鐵材或銅材鍍上耐蝕性強且硬度大的鎳及鉻金屬
脫脂、電解脫脂、鍍鉻
鋅、鉻
電子電鍍
在電機、電子材料接點上鍍錫鉛或貴金屬,使材料獲得良好的焊錫性或導電性
脫脂、電解脫脂、浸酸、鍍錫(鉛)、中和
鉻、鎳、鉛、錫、金
塑膠電鍍
將非導電性之塑膠製品表面予以導體化,沉積上一層金屬鍍層後,再進行一般的鍍銅、鎳及鉻等電鍍程序
脫脂、粗化、敏化、化學鎳、鍍鉻
鉻、鎳、銅
電鍍污泥方面,依據環保署「事業廢棄物管制中心」統計各清理流向申報量資料,顯示在90年度委託或共同處理19,255噸、廠內自行處理15噸、再利用6,551噸、境外處理7,345噸、廠內暫存1,126噸,總計34,291噸。
環保署為解決污泥的問題,89年度透過水污染申報系統,掌握到23.7%的污泥產生量(2,526噸/月),稽查後提升至45.6%;如以全國每年應產生之最大污泥量157,160噸來比較,透過水污染申報系統掌握到的也只有25,889噸(16.5%)。
廢液方面,氰系廢液提升至68公升(88年12月60公升),鉻系廢液提升為9,650公升(88年12月8,050公升)。
這些現象充分顯示現實的差異,由於電鍍業的小型或未登記的工廠數頗多,申報量與實際產生量應有相當的差距。
依據環保署89年之樣本分析所得的單位產品廢棄物產生量,推估89年相關產業之廢棄物中重金屬污泥161,520噸,銅製品製造業所產生的重金屬污泥約62,480噸;估計處理成本約新台幣24億元。
若是考量廢棄物中重金屬與貴金屬的購買成本,其損失的價值約值新台幣12億元。
4.重金屬污染現況
重金屬自古即為工藝商品之重要原料,隨著工業之發展,從工業廢水中流失之重金屬愈來愈多,由於這些未經處理之廢水進入灌溉水路系統後,將造成農地之劣化問題。
污染途徑調查研究顯示,百分之八十的污染是由廢水造成的;而重金屬有可能藉由農作物之途徑為人體消化及吸收。
调查结果表明,东北地区重工业和油田开发区地下水污染严重,其中哈尔滨、长春、佳木斯、大连等城市污染较重;华北地区地下水污染普遍呈加重趋势,其中北京、太原、呼和浩特等城市污染较重;西北地区地下污染较轻,兰州、西安等城市污染较重;南方地区地下水局部污染严重,武汉、襄樊、昆明、桂林等污染较重。
118个大中城市地下水监测统计结果表明,较重污染的城市占64%,也就是说,大致有75个大中城市地下水属于较重污染区。
在我国中东部城市和老工业基地,地下水主要污染组分为“五毒”(挥发酚、氰化物、砷、汞、六价铬)和其它重金属元素等。
二、回收再利用方法分析
過去十幾年,很多金屬表面處理廠已裝置廢水處理系統以符合排放標準。
不久,廠方人員就發現處理費用很貴,而且處理後產生污泥的處置更是沉重的負擔。
因此近年來,許多工廠開始改變廢水處理的方式,以減少污泥量來降低委外處理費用;改善措施包括:
廢水預處理、改變化學性質、使用高壓壓濾以及污泥乾燥。
這雖然有效降低委外處理費用,但是加在產業界的成本壓力日漸增加。
金屬表面處理業者都認為最重要的製程物料是「水」;許多回收再利用技術應用失敗,是因為忽略了原水的水質。
在應用批式製程時,水中的雜質逐漸累積,終致影響品質無法接受。
不論是將該溶液廢棄或補充處理,均造成昂貴藥劑的消耗。
為確保原水水質,離子交換與逆滲透是最常用的技術。
如果原水中的溶質濃度超過500毫克/公升,最好是採用逆滲透法處理,然後視需要應用離子交換處理。
◎廢水減量
廢水減量最有效的方式為:
改變平行清洗法為逆向清洗法。
逆向清洗法的用水量是與階段數成反比,逆洗方式包括自然順流、噴流或注射空氣對流。
為了獲得最經濟有效的回收效果,務必要減少製程用水的帶出量,有下列措施:
▲製程使用的化學藥劑不要超量。
▲製程維持最高容許溫度。
▲於電鍍槽與潤洗槽之間安置承滴板。
▲每一階段電鍍之前先充分清洗,以避免交叉污染。
▲調整鍍件以加速排流。
▲改善設計以加速排流。
▲藉潤濕劑以改善清洗效率。
▲減緩鍍件自鍍槽中提起速度,滾鍍時要轉動滾筒。
◎回收技術
目前已經有許多有效的方式可供應用;若是能夠適度的組合使用,是有可能達到廢水零排放的目標,而且僅產生少量的濃縮廢液與固體廢棄物。
回收的基本原則包括:
1.回收製程溶液並直接加料使用。
2.去除製程溶液中污染雜質,以延長溶液使用壽命。
3.回收金屬以便再加入使用,或送供應商與回收商加工使用。
有關製程中帶出物質的回收措施,各種利弊得失必須預先考量。
依據溶液的使用狀況,帶出物質的回收率可達60%,而此時回收物質的純度,會顯著影響金屬沉積與表面處理的品質;如果回收造成雜質的累積,會使得製程的狀況逐漸惡化。
至於電路板的製造,由於大量生產講求經濟效益,作業以連續且自動化以應付繁複的製程,產生的廢水與廢液須經分析瞭解,才能據以評估回收/處理的技術方案。
下列回收技術已經證明有效:
◎金屬置換法
這是利用金屬元素相對的活性,以補集特定金屬離子的方法。
例如:
銀離子接觸鐵原子時,因為鐵活性較強,則釋出電子給銀離子,於是鐵溶出銀沉積。
2Ag++Fe=2Ag+Fe+2
理論上,1公克鐵可以回收3.86公克銀(通常只能回收0.1-0.5公克銀)。
雖然鋁、銅、鎂、鋅的活性均比銀活性為強,但是鐵的成本較廉,且毒性較弱。
表4金屬表面處理相關廢水重金屬減量方案
減量方案
建議方法
應用情形
應用限制
一般減廢措施
◎改善操作程序
◎減少帶出量
◎減少清洗水用量
◎減少空氣污染逸散
※所有傳統電鍍作業均適用
※應納入標準作業程序
※所需要的設備成本極低
○舊式設施可能因限於既定製程與有限空間,無法進行改變。
更新製程
熱噴塗裝
◎火燒
◎電弧
◎電漿
真空蒸鍍法
◎離子披覆
◎離子佈植
◎濺鍍
◎雷射表面重熔
化學氣相磊晶法
※主要用於修復作業,但逐漸應用於配合作業。
※主要用於高價的高科技產品。
※能改善產品品質與耐用性。
○作業技術仍持續發展,商業應用限於特殊需求。
○限於不計成本的零件加入,例如航太、軍品、電子產品等。
○需要更好的程序控制、員工訓練、自動設備等。
替代製程
產品改變
原料改用無毒種類
◎氰化物
◎鎘
◎鉻
※所有傳統電鍍作業均適用
※專屬的作業線可探討產品改變
○代工廠較無原料改用控制權
○產品改變要先評估客戶接受度
○產品規格迫使放棄製程改變
製程溶液維護
傳統維護方式
革新維護方式
◎微過濾
◎離子交換
◎酸吸附
◎離子轉移
◎薄膜電解
◎製程監控
※傳統維護方式所有傳統電鍍作業均適用
○革新維護方式需求大幅更改製程設計、操作方
式與化學成份。
○有些方式對於一些情況不適用,例如微過濾不適宜銅與鋁的製程。
化學藥劑回收技術
◎蒸發
◎離子交換
◎電解沉積
◎電透析
◎逆滲透
※需要相當瞭解工程、規劃、製程化學特性。
○成本變化大,難以精確估計
委外金屬回收
◎過濾
◎離子交換
◎電解沉積
◎電透析
◎逆滲透
※廢水處理含金屬污泥
※廢液
○廢棄物特性須符合回收商的要求
表5電路板各製程
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