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(2)物性型传感器利用构成传感器的某些材料本身的物理特性在被测量的作用下发生变化,从而将被测量转换为电信号或其他信号输出。
(3)智能型传感器把传感器与微处理器有机地结合成一个高度集成化的新型传感器。
它与结构型、物性型传感器相比,能瞬时获取大量信息,对所获得的信息还具有信号处理的功能,使信息的质量大大提高,其功能也扩展了。
以网络化智能传感器为例,它以嵌入式微处理器为核心,集成了传感单元、信号处理单元和网络接口单元,使传感器由单一功能、单一检测向多功能和多点检测发展;
从被动检测向主动进行信息处理方向发展;
从孤立元件向系统化、网络化发展;
从就地测量向远距离实时在线测控发展,已成为传感器技术发展的主要方向之一。
而光电传感器作为新型传感器更是得到了广阔应用。
1.2光电传感器后续发展
通过对光电效应和器件原理的研究已发展了多种光电器件(如光敏电阻、光电二极管、光电三极管、场效应光电管、雪崩光电二极管、电荷耦合器件等),适用于不同的场合。
光电式传感器的制造工艺也随薄膜工艺、平面工艺和大规模集成电路技术的发展而达到很高的水平,并使产品的成本大为降低。
被称为新一代摄像器件的聚焦平面集成光敏阵列正在取代传统的扫描摄像系统。
光电式传感器的最新发展方向是采用有机化学汽相沉积、分子束外延、单分子膜生长等新技术和异质结等新工艺。
光电式传感器的应用领域已扩大到纺织、造纸、印刷、医疗、环境保护等领域。
在红外探测、辐射测量、光纤通信,自动控制等传统应用
领域的研究也有新发展。
例如,硅光电二极管自校准技术的提出为光辐射的绝对测量提供了一种很有前途的新方法。
2.物理特性
2.1外光电效应
外光电效应是指在光的照射下,材料中电子逸出表面的现象,也称为光电发射效应。
光电管及光电倍增管均属这一类,它们的光电发射极——光阴极就是用具有这种特性的材料制造的。
2.1.1光子假设
1887年,赫兹发现光电效应,爱因斯坦第一个成功解释光电效应。
爱因斯坦根据普朗克量子假说而进一步提出的光量子,即光子概念,对光电效应研究做出了决定性的贡献。
爱因斯坦光子假说的核心思想是:
表面上看起来连续的光波是量子化的。
单色光由大量不连续的光子组成。
若单色光频率为n,那么每个光子的能量为E=hv,动量为
。
由爱因斯坦光子假说发展成现代光子论(photontheory)的两个基本点是:
(1)光是由一颗一颗的光子组成的光子流。
每个光子的能量为E=hv,动量为
由N个光子组成的光子流,能量为Nhv。
(2)光与物质相互作用,即是每个光子与物质中的微观粒子相互作用。
根据能量守恒定律,约束得最不紧的电子在离开金属面时具有最大的初动能,所以对于电子应有:
2.2内光电效应
当光照射在物体上,使物体的电阻率发生变化,或产生光生电动势的现象称为内光电效应。
内光电效应又分为光电导效应和光生伏特效应。
2.2.1光电导效应
光照变化引起半导体材料电导变化的现象称光电导效应(又称为光电效应、光敏效应),即光电导效应是光照射到某些物体上后,引起其电性能变化的一类光致电改变现象的总称。
当光照射到半导体材料时,材料吸收光子的能量,使非传导态电子变为传导态电子,引起载流子浓度增大,因而导致材料电导率增大。
在光线作用下,对于半导体材料吸收了入射光子能量,若光子能量大于或等于半导体材料的禁带宽度,就激发出电子-空穴对,使载流子浓度增加,半导体的导电性增加,阻值减低,这种现象称为光电导效应。
光敏电阻就是基于这种效应的光电器件。
2.2.2光生伏特效应
光生伏特效应指在光照射下,物体内部产生一定方向的电动势的现象。
光照射PN结中,若能量达到禁带宽度时,价带中的电子跃迁到导带,便产生电子空穴对。
被光激发的电子在势垒附近电场梯度的作用下向N侧迁移,而空穴则向P侧迁移。
从而使N区带正电,P区带负电,形成光电动势。
还有一种称为“丹倍效应”的也属于光生伏特效应一类。
这是指当光只照射在某种光电导材料的局部时,被照射的部分产生电子空穴对,使照射到和未被照射到的两部分中载流子的浓度不同,从而产生载流子扩散,如果电子的迁移率大于空穴的迁移率,必将使未被照射到的部分获得更多的电子,并带负电;
而被照射到的部分失去电子而带正电,从而出现光生伏特效应。
3.光电式传感器
3.1光电传感器的大致介绍
光电式传感器的工作原理是将被测量的变化转换成光信号的变化,再通过光电器件将光信号的变化转换成电信号。
光电式传感器一般是由辐射源、光学通路和光电器件三部分组成。
被测量通过对辐射源或者光学通路的影响将待测信息调制到光波上,通常使光波的强度、相位、空间分布和频谱分布发生改变,光电器件将光信号的变化变换为电信号。
电信号经后续电路的解调分离出被测量的信息,从而实现对被测量的测量。
光源是光电传感器的一个组成部分,大多数光电传感器都离不开光源。
光电式传感器对光源的选择要考虑很多因素,如波长、谱分布、相干性、体积、造价和功率等。
常用的光源可分为热辐射光源、气体放电光源、激光器和电致发光器件四大类。
3.2工作原理
由光通量对光电元件的作用原理[1]不同所制成的光学测控系统是多种多样的,按光电元件(光学测控系统)输出量性质可分二类,即模拟式光电传感器和脉冲(开关)式光电传感器.模拟式光电传感器是将被测量转换成连续变化的光电流,它与被测量间呈单值关系.模拟式光电传感器按被测量(检测目标物体)方法可分为透射(吸收)式,漫反射式,遮光式(光束阻档)三大类.所谓透射式是指被测物体放在光路中,恒光源发出的光能量穿过被测物,部份被吸收后,透射光投射到光电元件上;
所谓漫反射式是指恒光源发出的光投射到被测物上,再从被测物体表面反射后投射到光电元件上;
所谓遮光式是指当光源发出的光通量经被测物光遮其中一部份,使投射刭光电元件上的光通量改变,改变的程度与被测物体在光路位置有关.
光敏二极管是最常见的光传感器。
光敏二极管的外型与一般二极管一样,只是它的管壳上开有一个嵌着玻璃的窗口,以便于光线射入,为增加受光面积,PN结的面积做得较大,光敏二极管工作在反向偏置的工作状态下,并与负载电阻相串联,当无光照时,它与普通二极管一样,反向电流很小(<&
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A),称为光敏二极管的暗电流;
当有光照时,载流子被激发,产生电子-空穴,称为光电载流子。
在外电场的作用下,光电载流子参于导电,形成比暗电流大得多的反向电流,该反向电流称为光电流。
光电流的大小与光照强度成正比,于是在负载电阻上就能得到随光照强度变化而变化的电信号。
光敏三极管除了具有光敏二极管能将光信号转换成电信号的功能外,还有对电信号放大的功能。
光敏三级管的外型与一般三极管相差不大,一般光敏三极管只引出两个极——发射极和集电极,基极不引出,管壳同样开窗口,以便光线射入。
为增大光照,基区面积做得很大,发射区较小,入射光主要被基区吸收。
工作时集电结反偏,发射结正偏。
在无光照时管子流过的电流为暗电流Iceo=(1+β)Icbo(很小),比一般三极管的穿透电流还小;
当有光照时,激发大量的电子-空穴对,使得基极产生的电流Ib增大,此刻流过管子的电流称为光电流,集电极电流Ic=(1+β)Ib,可见光电三极管要比光电二极管具有更高的灵敏度。
3.3光电传感器分类
光电元件有光敏电阻、光电二极管、光电三极管、发光二极管(LED)、光电倍增管、光电池、光电耦合器件等。
由光通量对光电元件的作用原理不同所制成的光学测控系统是多种多样的,按光电元件(光学测控系统)输出量性质,光电式传感器可分二类,即模拟式光电传感器和脉冲(开关)式光电传感器;
模拟式光电传感器按被测量(检测目标物体)方法又可分为透射(吸收)式、漫反射式、遮光式(光束阻挡)三大类。
(1)槽开光电开关把一个光发射器和一个接收器面对面地装在一个槽的两侧的是槽形光电。
发光器能发出红外光或可见光,在无阻情况下光接收器能收到光。
但当被检测物体从槽中通过时,光被遮挡,光电开关便动作。
输出一个开关控制信号,切断或接通负载电流,从而完成一次控制动作。
槽形开关的检测距离因为受整体结构的限制一般只有几厘米。
(2)对射式光电开光若把发光器和收光器分离开,就可使检测距离加大。
由一个发光器和一个收光器组成的光电开关就称为以射分离式光电开光,简称对射式光电开关。
它的检测距离可达几米乃至几十米。
使用时把发光器和收光器分别装在检测物通过路径的两侧,检测物通过时阻挡光路,收光器就动作输出一个开关控制信号。
(3)反光板反射式光电开关把发光器和收光器装入同一个装置内,在它的前方装一块反光板,利用反射原理完成光电控制作用的称为反光板反射式(或反射镜反射式)光电开关。
正常情况下,发光器发出的光被反光板反射回来被收光器收到;
一旦光路被检测物挡住,收光器收不到光时,光电开关就动作,输出一个开关控制信号。
(4)扩散反射式光电开关它的检测头里也装有一个发光器和一个收光器,但前方没有反光板。
正常情况下发光器发出的光收光器是收不到的;
当检测物通过时挡住了光,并把光部分反射回来,收光器就收到光信号,输出一个开关控制信号。
(5)光纤式光电开关把发光器发出的光用光纤引导到检测点,再把检测到的光信号用光纤引导到光接收器就组成光纤式光电开关。
按动作方式的不同,光纤式光电开关也可分成对射式、反光板反射式、扩散反射式等多种类型。
3.4光电传感器作用
新技术革命的到来,世界开始进入信息时代。
在利用信息的过程中,首先要解决的就是要获取准确可靠的信息,而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。
如今,传感器早已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其之泛的领域。
可以毫不夸张地说,从茫茫的太空,到浩瀚的海洋,以至各种复杂的工程系统,几乎每一个现代化项目,都离不开各种各样的传感器。
4.光电传感器的应用
4.1光电传感器优点
光电传感器是采用光电元件作为检测元件,首先把被测量的变化转变为信号的变化,然后借助光电元件进一步将光信号转换成电信号。
光电传感器一般由光源、光学通路和光电元件3部分组成。
光电检测方法具有精度高、反应快、非接触等优点,而且可测参数多,传感器的结构简单,形式灵活多样,体积小。
近年来,随着光电技术的发展,光电传感器已成为系列产品,其品种及产量日益增加,用户可根据需要选用各种规格产品,在各种轻工自动机上获得广泛的应用。
4.2光电式带材跑偏检测器
带材跑偏检测器用来检测带型材料在加工中偏离正确位置的大小及方向,从而为纠偏控制电路提供纠偏信号,主要用于印染、送纸、胶片、磁带生产过程中。
光电式带材跑偏检测器原理如下图1所示。
光源发出的光线经过透镜1会聚为平行光束,投向透镜2,随后被会聚到光敏电阻上。
在平行光束到达透镜2的途中,有部分光线受到被测带材的遮挡,使传到光敏电阻的光通量减少。
图1
下图2为测量电路简图。
R1、R2是同型号的光敏电阻。
R1作为测量元件装在带材下方,R2用遮光罩罩住,起温度补偿作用。
当带材处于正确位置(中间位)时,由R1、R2、R3、R4组成的电桥平衡,使放大器输出电压U0为0。
当带材左偏时,遮光面积减少,光敏电阻R1阻值减少,电桥失去平衡。
差动放大器将这一不平衡电压加以放大,输出电压为负值,它反映了带材跑偏的方向及大小。
反之,当带材右偏时,U0为正值。
输出信号U0一方面由显示器显示出来,另一方面被送到执行机构,为纠偏控制系统提供纠偏信号。
图2
4.3烟尘浊度监测仪
防止工业烟尘污染是环保的重要任务之一。
为了消除工业烟尘污染,首先要知道烟尘排放量,因此必须对烟尘源进行监测、自动显示和超标报警。
烟道里的烟尘浊度是用通过光在烟道里传输过程中的变化大小来检测的。
如果烟道浊度增加,光源发出的光被烟尘颗粒的吸收和折射增加,到达光检测器的光减少,因而光检测器输出信号的强弱便可反映烟道浊度的变化。
4.4包装充填物高度检测
用容积法计量包装的成品,除了对重量有一定误差范围要求外,一般还对充填高度有一定的要求,以保证商品的外观质量,不符合充填高度的成品将不许出厂。
下图3所示为借助光电检测技术控制充填高度的原理。
当充填高度h偏差太大时,光电接头没有电信号,即由执行机构将包装物品推出进行处理。
图3
4.5光电色质检测
下图4为包装物料的光电色质检测原理。
若包装物品规定底色为白色,因质量不佳,有的出现泛黄,在产品包装前先由光电检测色质,物品泛黄时就有比较电压差输出,接通电磁阀,由压缩空气将泛黄物品吹出。
图4
4.6其他方面的应用
利用光电开关还可以进行产品流水线上的产量统计、对装配件是否到位及装配质量进行检测,例如灌装时瓶盖是否压上、商标是否漏贴,以及送料机构是否断料等。
此外,利用反射式光电传感器可以检测布料的有无和宽度。
利用遮挡式光电传感器检测布料的下垂度,其结果可用于调整布料在传送中的张力,利用安装在框架上的反射式光电传感器可以发现漏装产品的空箱,并利用油缸将空箱推出。
5.新型的光电传感器
5.1CCD传感器
光固态图象传感器由光敏元件阵列和电荷转移器件集合而成。
它的核心是电荷转移器件CTD(ChargeTransferDevice),最常用的是电荷耦合器件CCD(ChargeCoupledDevice)。
CCD自1970年问世以后,由于它的低噪声等特点,CCD图象传感器广泛的被应用在微光电视摄像、信息存储和信息处理等方面,尤其适用以上领域中的图像识别技术。
5.2CCD传感器的应用
(1)工件尺寸检测
CCD图像传感器在许多领域内获得了广泛的应用。
电荷耦合器件(CCD)是构成CCD固态图像传感器的主要光敏器件,取代了摄像装置中的光学扫描系统或电子束扫描系统。
CCD图像传感器具有高分辨率和高灵敏度,具有较宽的动态范围,这些特点决定了它可以广泛应用于自动控制和自动测量,尤其适用于图像识别技术。
CCD图像传感器在检测物体的位置、工件尺寸的精确测量及工件缺陷的检测方面有独到之处。
(2)CCD传感器在公共交通上的应用
目前,在公共交通中方面大量采用CCD传感器,对马路进行监测,对违章车辆进行拍照处理。
一般车辆在被拍照后会传至指挥中心。
指挥中心收到图片,会将车牌号信息与车管所信息相比对,从而调出车辆的综合信息,如车主、车型、颜色等,然后由信息处理人员录入北京市公安交通管理局网站,以使违章车主能够进行查询。
这样的麻烦事增加了管理人员的工作量。
采用先进的CCD传感器对拍到的图片进行智能处理,通过某种算法,使CCD传感器能够智能的识别车牌号码,这样将大大减少管理人员的工作量。
这里一种方法是直接利用传感器后续处理的算法,建立一个数字、字符的像素字符库,把拍摄到的图像与该字符库中的图片进行对比,通过某种算法来确定具体的车牌号。
另一种方法则是更改硬件的方法,对车牌号的数字进行特殊处理,比如不同数字运用不同颜色,这样CCD拍摄到的图像信息的灰度的值将会有一定的差异,通过这个差异来确定具体的号码。
还有就是利用其他设备辅助CCD,在不同数字符号上加入特殊的化学元素,利用红外来感应这些元素,以确定车牌号码。
6.光纤传感器
6.1光纤传感器的原理和组成
光纤传感器主要由光源、光纤与探测器3部分组成,光源发出的光耦合进光纤,经光纤进入调制区,在调治区内,外界被测参数作用于进入调区内的光信号,是其光学性质如光的强度、相位、偏振态、波长等发生变化成为被调制的信号光,再经过光纤送入光探测器而获得被测参数,光纤传感器中的光纤通常由纤芯、包层、树脂涂层和塑料护套组成,纤芯和包层具有不同的折射率,树脂涂层对光纤
起保护作用。
光纤主要分为两类,一是渐变光纤,一是跃阶光纤。
前者的折射率是渐变的﹐而后者的折射率是突变的。
另外还分为单模光纤及多模光纤,近年来,又有新的光子晶体光纤问世。
依材质:
石英玻璃、多组份玻璃、氟化物、塑料、液芯。
依转输方式分:
单模、多模级射、多模斜射。
依折射率分:
阶跃型、渐变型光纤。
依工作波长分:
短波长光纤、长波长光纤、超长波长光纤。
光纤是基于光的全反射原理而工作的。
当入射角在此范围内时,光在界面产生全反射,并在光纤内部一同样的角度反复逐次反射,知道传播到光纤的另一端面。
如果工作需要光纤微弯曲,只要仍满足全反射定律,则光仍然可以继续前进。
如果入射角超出上述范围,则进入光纤的光线便会在截面上发生折射,并透入包层。
6.2光纤传感器的应用领域
(1)在航天器及船舶中的应用
先进的复合材料抗疲劳、抗腐蚀性能较好,而且可以减轻船体或航天器的重量,对于快速航运或飞行具有重要意义,因此复合材料越来越多地被用于制造航空航海工具(如飞机的机翼)。
为全面衡量船体的状况,需要了解其不同部位的变形力矩、剪切压力、甲板所受的抨击力,对于普通船体大约需要100个传感器,因此波长复用能力极强的光纤光栅传感器最适合于船体检测。
(2)在民用工程结构中的应用
民用工程的结构监测是光纤光栅传感器最活跃的领域。
光纤光栅传感器可以贴在结构的表面或预先埋入结构中,对结构同时进行冲击检测、形状控制和振动阻尼检测等,以监视结构的缺陷情况。
另外,多个光纤光栅传感器可以串接成一个传感网络,对结构进行准分布式检测,可以用计算机对传感信号进行远程控制。
(3)光纤传感器在温度测试中的应用
它是利用光在光纤中传输能够产生后向散射,在光纤中注入一定能量和宽度的激光脉冲,那么它在光纤中传输的同时不断产生后向散射光波,这些后向散射光波的状态受到所在光纤散射点的温度影响而有所改变,将散射回来的光波经波分复用、检测解调后,送入信号处理系统便可将温度信号实时显示出来,并且由光纤中光波的传输速度和背向光回波的时间对这些信息定位
(4)光纤传感器在裂缝监测中的应用
当地下深部发生变形时,必将挤压砂浆体产生相应形变,导致裂缝或滑移(错动)的产生,进而引起埋入光纤的微弯,该处的微弯将破坏光波导的全反射条件,使光损耗增加,产生衰减,利用光纤监测地下深部变形,就是基于微弯衰减的传感机制。
埋入洞内的光纤,全部是传感部分,受深部变形作用,光纤产生微弯或挠曲,致使光损耗增大;
OTDR检测到全过程的散射光强分布。
(OTDR是一种用于光纤通信故障定位的技术,现在普遍运用于分布式光纤传感器系统中)
(5)光纤传感器在光纤光缆中的应用
光缆通信在我国已有20多年的使用历史,这段历史也就是光通信技术的发展史和光纤光缆的发展史。
光纤光缆在我国的发展可以分为这样几个阶段:
对光缆可用性的探讨;
取代市内局间中继线的市话电缆和PCM电缆;
取代有线通信干线上的高频对称电缆和同轴电缆。
这两个取代应该说是完成了;
现正在取代接入网的主干线和配线的市话主干电缆和配线电缆,并正在进入局域网和室内综合布线系统。
目前,光纤光缆已经进入了有线通信的各个领域,包括邮电通信、广播通信、电力通信和军用通信等领域。
(6)光纤传感器在智能大桥中的应用
它是将传感元件、驱动元件以及信息处理控制系统集成于主体材料中,使制成的构件不仅具有承受载荷、传递运动的能力,而且具有检测多种参数(如应力、应变、损伤、温度、压力等)、分析、处理及控制等多种功能。
它出现时间不长,但已成为目前国内外研究的热点。
具有智能材料结构特点的智能桥梁能对智能材料结构的动作流程图桥梁的施工质量、运营中的应力状态以及其它多种参数进行长期实时在线监测,并根据对大量传感信息的实时综合分析采取适当、及时的控制措施,因而可以极大地提高工程结构的安全性和可靠性,避免灾难性事故的发生。
7.其他的光电传感器
7.1高速光电二极管
(1)PIN结光电二极管
PIN管是光电二极管中的一种。
它的结构特点是,在P型半导体和N型半导体之间夹着一层(相对)很厚的本征半导体。
这样,PN结的内电场就基本上全集中于I层中,从而使PN结双电层的间距加宽,结电容变小。
由式τ=CjRL与f=1/2πτ知,Cj小,τ则小,频带将变宽。
内电场较大,电子加速运动,响应时间快。
最大特点:
频带宽,可达10GHz。
另一个特点是,因为I层很厚,在反偏压下运用可承受较高的反向电压,线性输出范围宽。
由耗尽层宽度与外加电压的关系可知,增加反向偏压会使耗尽层宽度增加,从而结电容要进一步减小,使频带宽度变宽。
不足:
I层电阻很大,管子的输出电流小,一般多为零点几微安至数微安。
目前有将PIN管与前置运算放大器集成在同一硅片上并封装于一个管壳内的商品出售。
(2)雪崩光电二极管(APD)
雪崩光电二极管是利用PN结在高反向电压下产生的雪崩效应来工作的一种二极管。
P区外侧增加高浓度P+层。
这种管子工作电压很高,约100~200V,接近于反向击穿电压。
结区内电场极强,光生电子在这种强电场中可得到极大的加速,同时与晶格碰撞而产生电离雪崩反应。
因此,这种管子有很高的内增益,可达到几百。
当电压等于反向击穿电压时,电流增益可达106,即产生所谓的雪崩。
这种管子响应速度特别快,带
宽可达100GHz,是目前响应速度最快的一种光电二极管。
缺点:
噪声大。
由于雪崩反应是随机的,所以它的噪声较大,特别是工作电压接近或等于反向击穿电压时,噪声可增大到放大器的噪声水平,以至无法使用。
但由于APD的响应时间极短,灵敏度很高,它在光通信中应用前景广阔。
7.2色敏光电传感器
色敏光电传感器实际上是光电传感器的一种特殊类型。
它是两只结深不同的的光电二极管组合体,双结光电二极管的P+-N结为浅结,N-P结为深结。
当光照射时,P+,N,P三个区域及其间的势垒区均有光子吸收,但是吸收的效率不同。
紫外光部分吸收系数大,经过很短距离就被吸收完毕;
因此,浅结对紫外光有较高灵敏度。
而红外光
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