氢氟酸(单晶)规格说明书.docx
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氢氟酸(单晶)产品规格说明书
一、目的和用途:
加强对氢氟酸(单晶)供方管理和质量管理
二、适用范围:
适用于材料清单所规定的各种规格氢氟酸(单晶)
三、各项指标:
1、包装方式:
密封包装,4L、2L、200L聚乙烯桶(或瓶)包装。
2、生产日期:
标明生产日期和有效期。
3、指标:
指标
项目
方法
工具
单位
值
备注
外观
SF/03-JY-057
无色液体
含量(HF)
%
37.0±1.0
颗粒
≥0.5μm
个/ml
≤100
≥1.0μm
个/ml
≤10
色度(Hazen),max
10
灼烧残渣,(ppb)max
3000
游离氯(Cl2),(ppb)max
500
铵盐(NH4),(ppb)max
2000
磷酸盐(PO4),(ppb)max
50
硫酸盐(SO4),(ppb)max
500
亚硫酸盐(SO3),(ppb)max
1000
铝(Al),max(ppb)
50
锑(Sb),max(ppb)
20
砷(As),max(ppb)
10
钡(Ba),max(ppb)
50
铋(Bi),max(ppb)
20
硼(B),(ppb)max
50
镉(Cd),max(ppb)
50
钙(Ca),max(ppb)
100
铬(Cr),(ppb)max
20
钴(Co),max(ppb)
20
铜(Cu),(ppb)max
20
镓(Ga),max(ppb)
20
金(Au),max(ppb)
50
铁(Fe),max(ppb)
100
铅(Pb),max(ppb)
20
锂(Li),max(ppb)
10
镁(Mg),max(ppb)
50
锰(Mn),(ppb)max
20
钼(Mo),max(ppb)
50
镍(Ni),max(ppb)
20
银(Ag),max(ppb)
20
钾(K),max(ppb)
50
钛(Ti),(ppb)max
50
锌(Zn),max(ppb)
50
锡(Sn),max(ppb)
50
钠(Na),max(ppb)
100
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