推荐芯硕激光直接成像系统 精品.docx
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推荐芯硕激光直接成像系统精品
Mercury2000P系列无掩膜光刻机
支持:
》第二代无掩膜光刻技术
》全局对准功能
》手动对准功能
》预对准功能
》对准补偿设定
》高精度图形套刻匹配
》全自动聚焦功能
》灰度补偿功能
》支持GDSII,CIF,DXF多种格式处理
产品介绍:
芯硕Mercury系列无掩膜直写光刻设备基于先进的第二代光刻直写技术,通过空间光调制器扫描技术实现直写光刻。
该系列产品主要应用于大规模集成电路150nm工艺节点以上掩膜版制作,亦可用于微纳加工、MEMS、LED、生物芯片等领域的直写光刻,在应用中省去了繁琐的掩膜加工步骤,相比单束直写具有效率高、技术先进、应用灵活等特点。
该系列产品采用芯硕专利技术的大功率LD(波长405nm)光源,可达0.65um解析度和0.25um的套刻精度。
指标 :
SEM效果图:
Neptune280封装基板激光直接成像系统
支持:
》涨缩模式选择:
1.无涨缩
2.固定涨缩
3.自动涨缩
4.固定分区间涨缩
5.分区域对位与设定涨缩
涨缩:
指PCB板的形变。
PCB尺寸涨缩的原因:
(1)经纬方向差异造成几班尺寸变化;由于裁剪时未注意纤维方向,造成剪切应力残留在基板内,一旦释放,直接影响基板尺寸的收缩。
(2)基板中树脂未完全固化,导致尺寸变化
(3)多层板在层压前,存放的条件差,使薄基板或半固化片吸湿,造成尺寸稳定性差
(4)多层板经压合时,过度流胶造成玻璃布形变所致
》两面配合度自动对准
》自动记录生产讯息与参数设定;用于查询统计与追溯
》自动报错
》可指定添加标记与批号
》板子全面微形变时,图形因应调整功能
》系统自动定期校正
》联网远程问题点协助排除
》可联线成自动线
产品介绍:
芯硕LDI(LaserDirectImaging)Neptune280系统,基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术,通过空间光调制器扫描技术,实现多束激光直接成像,免除传统的底片制造,直接成像,在图像转移质量、生产周期和成本上,优于传统的工业,适用于先进封装基板黄光制程的激光直写成像系统,满足封装基板制造工艺中对精细化线宽和高精对准的要求。
指标:
SEM效果:
10/10um线路SEM效果
LDI(LaserDirectImaging)Tyche80系统
支持:
》涨缩模式选择:
1.无涨缩
2.固定涨缩
3.自动涨缩
4.固定分区间涨缩
》两面配合度自动对准
》自动记录生产讯息与参数设定;用于查询统计与追溯
》自动报错
》系统自动定期校正
》联网远程问题点协助排除
》可联线成自动线
产品介绍:
芯硕LDI(LaserDirectImaging)Tyche80系统,基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术,通过空间光调制器扫描技术,实现多束激光直接成像。
免除传统的底片制造,直接成像,在图像转移质量、生产周期和成本上,优于传统的工业。
产品适用于:
1)高精密、ANYLAYER的HDI;
2)少量多样、高稼动率的Sample、QTA;
3)用于量产的Tyche80HS,全自动化激光直接成像解决方案,给用户带来更大的收益;
4)适用于PCB全制程图像的转移。
指标:
SEM效果
30/30um线路SEM效果
LDI(LaserDirectImaging)Saturn90系统
支持:
》涨缩模式选择:
1.无涨缩
2.固定涨缩
3.自动涨缩
4.固定分区间涨缩
5.分区域对位与设定涨缩
》两面配合度自动对准
》自动记录生产讯息与参数设定;用于查询统计与追溯
》自动报错
》可指定添加标记与批号
》板子全面微形变时,图形因应调整功能
》系统自动定期校正
》联网远程问题点协助排除
》可联线成自动线
产品介绍:
芯硕LDI(LaserDirectImaging)Saturn90系统,基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术,通过空间光调制器扫描技术,实现多束激光直接成像。
免除传统的底片制造,直接成像,在图像转移质量、生产周期和成本上,优于传统的工业。
产品适用于:
1)高精密、ANYLAYER的HDI;
2)少量多样、高稼动率的Sample、QTA;
3)用于量产的Saturn90HS,全自动化激光直接成像解决方案,给用户带来更大的收益;
4)适用于PCB全制程图像的转移。
指标:
SEM效果:
25/25um横、竖、斜线SEM效果
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
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