材料分析测试方法复习题及解答.docx

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材料分析测试方法复习题及解答

2012年材料分析测试方法复习题及答案

一、单项选择题（每题3分，共15分）

1．成分和价键分析手段包括【b】

（a）WDS、能谱仪（EDS）和XRD（b）WDS、EDS和XPS

（c）TEM、WDS和XPS（d）XRD、FTIR和Raman

2．分子结构分析手段包括【a】

（a）拉曼光谱（Raman）、核磁共振（NMR）和傅立叶变换红外光谱（FTIR）（b）

NMR、FTIR和WDS

（c）SEM、TEM和STEM（扫描透射电镜）（d）XRD、FTIR和Raman

3．表面形貌分析的手段包括【d】

（a）X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）（b）SEM和透射电镜（TEM）

（c）波谱仪（WDS）和X射线光电子谱仪（XPS）（d）扫描隧道显微镜（STM）和

SEM

4．透射电镜的两种主要功能：

【b】

（a）表面形貌和晶体结构（b）内部组织和晶体结构

（c）表面形貌和成分价键（d）内部组织和成分价键

5．下列谱图所代表的化合物中含有的基团包括：

【c】

（a）–C-H、–OH和–NH2（b）–C-H、

和–NH2,

（c）–C-H、

和-C=C-（d）–C-H、

和CO

二、判断题（正确的打√，错误的打×，每题2分，共10分）

1．透射电镜图像的衬度与样品成分无关。

（×）

2．扫描电镜的二次电子像的分辨率比背散射电子像更高。

（√）

3．透镜的数值孔径与折射率有关。

（√）

4．放大倍数是判断显微镜性能的根本指标。

（×）

5．在样品台转动的工作模式下，X射线衍射仪探头转动的角速度是样品转动角

速度的二倍。

（√）

三、简答题（每题5分，共25分）

1.扫描电镜的分辨率和哪些因素有关？

为什么?

和所用的信号种类和束斑尺寸有关，因为不同信号的扩展效应不同，例如二次电子产生的区域比背散射电子小。

束斑尺寸越小，产生信号的区域也小，分辨率就高。

2．原子力显微镜的利用的是哪两种力，又是如何探测形貌的？

范德华力和毛细力。

以上两种力可以作用在探针上，致使悬臂偏转,当针尖在样品上方扫描时，探测器可实时地检测悬臂的状态，并将其对应的表面形貌像显示纪录下来。

3.在核磁共振谱图中出现多重峰的原因是什么？

多重峰的出现是由于分子中相邻氢核自旋互相偶合造成的。

在外磁场中，氢核有两种取向，

与外磁场同向的起增强外场的作用，与外磁场反向的起减弱外场的作用。

根据自选偶合的

组合不同，核磁共振谱图中出现多重峰的数目也有不同，满足“n+1”规律

4．什么是化学位移，在哪些分析手段中利用了化学位移？

同种原子处于不同化学环境而引起的电子结合能的变化，在谱线上造成的位移称为化学位移。

在XPS、俄歇电子能谱、核磁共振等分析手段中均利用化学位移。

5。

拉曼光谱的峰位是由什么因素决定的,试述拉曼散射的过程。

拉曼光谱的峰位是由分子基态和激发态的能级差决定的。

在拉曼散射中，若光子把一部分能量给样品分子，使一部分处于基态的分子跃迁到激发态，则散射光能量减少，在垂直方向测量到的散射光中，可以检测到频率为（ν0-Δν）的谱线，称为斯托克斯线。

相反，若光子从样品激发态分子中获得能量，样品分子从激发态回到基态，则在大于入射光频率处可测得频率为（ν0+Δν）的散射光线，称为反斯托克斯线

四、问答题（10分）

说明阿贝成像原理及其在透射电镜中的具体应用方式。

答：

阿贝成像原理（5分）：

平行入射波受到有周期性特征物体的散射作用在物镜的后焦面上形成衍射谱，各级衍射波通过干涉重新在像平面上形成反映物的特征的像。

在透射电镜中的具体应用方式（5分）。

利用阿贝成像原理，样品对电子束起散射作用，在物镜的后焦面上可以获得晶体的衍射谱，在物镜的像面上形成反映样品特征的形貌像。

当中间镜的物面取在物镜后焦面时,则将衍射谱放大，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样；当中间镜物面取在物镜的像面上时，则将图像进一步放大,这就是电子显微镜中的成像操作。

五、计算题（10分）

用CuKαX射线（λ=0.15405nm）的作为入射光时，某种氧化铝的样品的XRD图谱如下，谱线上标注的是2θ的角度值，根据谱图和PDF卡片判断该氧化铝的类型，并写出XRD物相分析的一般步骤。

答：

确定氧化铝的类型（5分）

根据布拉格方程2dsinθ=nλ，d=λ/（2sinθ）

对三强峰进行计算：

0.2090nm,0.1604nm,0.2588nm,与卡片10-0173α-Al2O3

符合，进一步比对其他衍射峰的结果可以确定是α-Al2O3。

XRD物相分析的一般步骤。

（5分）

测定衍射线的峰位及相对强度I/I1：

再根据2dsinθ=nλ求出对应的面间距d值。

（1）以试样衍射谱中三强线面间距d值为依据查Hanawalt索引。

（2）按索引给出的卡片号找出几张可能的卡片，并与衍射谱数据对照。

（3）如果试样谱线与卡片完全符合，则定性完成。

六、简答题（每题5分，共15分）

1．透射电镜中如何获得明场像、暗场像和中心暗场像？

答：

如果让透射束进入物镜光阑，而将衍射束挡掉，在成像模式下，就得到明场象。

如果把物镜光阑孔套住一个衍射斑，而把透射束挡掉，就得到暗场像，将入射束倾斜，让某一衍射束与透射电镜的中心轴平行，且通过物镜光阑就得到中心暗场像。

2．简述能谱仪和波谱仪的工作原理。

答：

能量色散谱仪主要由Si（Li）半导体探测器、在电子束照射下，样品发射所含元素的荧光标识X射线，这些X射线被Si（Li）半导体探测器吸收，进入探测器中被吸收的每一个X射线光子都使硅电离成许多电子—空穴对，构成一个电流脉冲，经放大器转换成电压脉冲，脉冲高度与被吸收的光子能量成正比。

最后得到以能量为横坐标、强度为纵坐标的X射线能量色散谱。

在波谱仪中，在电子束照射下，样品发出所含元素的特征x射线。

若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距d的晶体，入射X射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程时，这个特征波长的X射线就会发生强烈衍射。

波谱仪利用晶体衍射把不同波长的X射线分开，即不同波长的X射线将在各自满足布拉格方程的2θ方向上被检测器接收，最后得到以波长为横坐标、强度为纵坐标的X射线能量色散谱。

3．电子束与试样物质作用产生那些信号？

说明其用途。

（1）二次电子。

当入射电子和样品中原子的价电子发生非弹性散射作用时会损失其部分能量（约30～50电子伏特），这部分能量激发核外电子脱离原子，能量大于材料逸出功的价电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。

二次电子对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。

（2）背散射电子。

背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子。

既包括与样品中原子核作用而形成的弹性背散射电子，又包括与样品中核外电子作用而形成的非弹性散射电子。

利用背反射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可以用来显示原子序数衬度，进行定性成分分析。

（3）X射线。

当入射电子和原子中内层电子发生非弹性散射作用时也会损失其部分能量（约几百电子伏特），这部分能量将激发内层电子发生电离，失掉内层电子的原子处于不稳定的较高能量状态，它们将依据一定的选择定则向能量较低的量子态跃迁，跃迁的过程中将可能发射具有特征能量的x射线光子。

由于x射线光子反映样品中元素的组成情况，因此可以用于分析材料的成分。

七、问答题

1．根据光电方程说明X射线光电子能谱（XPS）的工作原理。

（5分）

以MgKα射线（能量为1253.8eV）为激发源，由谱仪（功函数4eV）测某元素电子动能为981.5eV，求此元素的电子结合能。

（5分）

答：

在入射X光子的作用下，核外电子克服原子核和样品的束缚，逸出样品变成光电子。

入射光子的能量hυ被分成了三部分：

（1）电子结合能EB；

（2）逸出功（功函数）ФS和（3）自由电子动能Ek。

hυ=EB+EK+ФS

因此，如果知道了样品的功函数，则可以得到电子的结合能。

X射线光电子能谱的工资原理为，用一束单色的X射线激发样品，得到具有一定动能的光电子。

光电子进入能量分析器，利用分析器的色散作用，可测得起按能量高低的数量分布。

由分析器出来的光电子经倍增器进行信号的放大，在以适当的方式显示、记录，得到XPS谱图，根据以上光电方程，求出电子的结合能，进而判断元素成分和化学环境。

此元素的结合能EB=hυ－EK－ФS＝1253.8-981.5-4=268.3eV

2．面心立方结构的结构因子和消光规律是什么？

（8分）

如果电子束沿面心立方的【100】晶带轴入射，可能的衍射花样是什么，并对每个衍射斑点予以标注？

（7分）

补充简答题：

1.X射线产生的基本条件

答：

产生自由电子；

使电子做定向高速运动；

在电子运动的路径上设置使其突然减速的障碍物。

2.连续X射线产生实质

答：

假设管电流为10mA，则每秒到达阳极靶上的电子数可达6.25x10（16）个，如此之多的电子到达靶上的时间和条件不会相同，并且绝大多数达到靶上的电子要经过多次碰撞，逐步把能量释放到零，同时产生一系列能量为hv（i）的光子序列，这样就形成了连续X射线。

3.特征X射线产生的物理机制

答：

原子系统中的电子遵从刨利不相容原理不连续的分布在K、L、M、N等

不同能级的壳层上，而且按能量最低原理从里到外逐层填充。

当外来的高速度的粒子动能足够大时，可以将壳层中某个电子击出去，于是在原来的位置出现空位，原子系统的能量升高，处于激发态，这时原子系统就要向低能态转化，即向低能级上的空位跃迁，在跃迁时会有一能量产生，这一能量以光子的形式辐射出来，即特征X射线。

4.短波限、吸收限

答：

短波限：

X射线管不同管电压下的连续谱存在的一个最短波长值。

吸收限：

把一特定壳层的电子击出所需要的入射光最长波长。

5.X射线相干散射与非相干散射现象

答：

相干散射：

当X射线与原子中束缚较紧的内层电子相撞时，电子振动时向四周发射电磁波的散射过程。

非相干散射：

当X射线光子与束缚不大的外层电子或价电子或金属晶体中的自由电子相撞时的散射过程。

6.光电子、荧光X射线以及俄歇电子的含义

答：

光电子：

光电效应中由光子激发所产生的电子（或入射光量子与物质原子中电子相互碰撞时被激发的电子）。

荧光X射线：

由X射线激发所产生的特征X射线。

俄歇电子：

原子外层电子跃迁填补内层空位后释放能量并产生新的空位，这些能量被包括空位层在内的临近原子或较外层电子吸收，受激发逸出原子的电子叫做俄歇电子。

7.X射线吸收规律、线吸收系数

答：

X射线吸收规律：

强度为I的特征X射线在均匀物质内部通过时，强度的衰减与在物质内通过的距离x成比例，即-dI/I=μdx。

线吸收系数：

即为上式中的μ，指在X射线传播方向上，单位长度上的X射线强弱衰减程度。

8.晶面及晶面间距

答:

晶面：

在空间点阵中可以作出相互平行且间距相等的一组平面，使所有的节点均位于这组平面上，各平面的节点分布情况完全相同，这样的节点平面成为晶面。

晶面间距：

两个相邻的平行晶面的垂直距离。

9.反射级数与干涉指数

答：

布拉格方程

表示面间距为d’的（hkl）晶面上产生了n级衍射，n就是反射级数

干涉指数：

当把布拉格方程写成：

时，这是面间距为1/n的实际上存在或不存在的假想晶面的一级反射，若把这个晶面叫作干涉面，其间的指数就叫作干涉指数

10.衍射矢量与倒易矢量

答：

衍射矢量：

当束X射线被晶面P反射时，假定N为晶面P的法线方向，入射线方向用单位矢量S0表示，衍射线方向用单位矢量S表示，则S-S0为衍射矢量。

倒易矢量：

从倒易点阵原点向任一倒易阵点所连接的矢量叫倒易矢量，表示为：

r*=Ha*+Kb*+Lc*

11.结构因子的定义

答：

定量表征原子排布以及原子种类对衍射强度影响规律的参数，即晶体结构对衍射强度的影响因子

12.原子散射因子随衍射角的变化规律

答：

随sinθ/λ值减小，f增大，sinθ＝0时，f=Z

论述题：

一、推导劳埃方程和布拉格方程

解：

1。

推导劳埃方程：

假定①满足干涉条件②X-ray单色且平行

如图：

以α0为入射角，α为衍射角，相邻原子波程差为a（cosα-cosα0）,产生相长干涉的条件是波程差为波长的整数倍，即：

a（cosα-cosα0）=hλ

式中：

h为整数，λ为波长。

一般地说，晶体中原子是在三维空间上排列的，所以为了产生衍射，必须同时满足：

a（cosα-cosα0）=hλ

b（cosβ-cosβ0）=kλ

c（cosγ-cosγ0）=lλ此三式即为劳埃方程。

2．推导布拉格方程式：

假定①X-ray单色且平行②晶体无限大且平整（无缺陷）

如右图：

光程差为2dsinθ,要出现衍射条纹，则有：

2dsinθ=nλ（n=1,2…）

此式即为布拉格方程。

二、以体心立方（001）衍射为例，利用心阵点存在规律推导体心和面心晶体的衍射消光规律

三、证明厄瓦尔德球图解法等价于布拉格方程

证明：

根据倒易矢量的定义O*G=g，于是我们得到k＇-k=g

上式与布拉格定律完全等价。

由O向O*G作垂线，垂足为D，因为g平行于（hkl）晶面的法向Nhkl，

所以OD就是正空间中（hkl）晶面的方位，若它与入射束方向的夹角为θ，则有

=

sinθ

即g/2=ksinθ

由于g=1/dk=1/λ

故有2dsinθ=

同时，由图可知，k＇与k的夹角（即衍射束与透射束的夹角）等于是2θ，这与布拉格定律的结果也是一致的。

四、阐明消光现象的物理本质，并利用结构因子推导出体心和面心晶体的衍射消光规律

解：

参考P36-P42由系统消光的定义<把因原子在晶体中位置不同或原子种类不同而引起的某些方向上的衍射消失的现象>知，消光的物理本质是原子的种类及其在晶胞中的位置。

由|Fhkl=0|<=>消光可推出如下消汇丰银行规律

①体心晶体存在2个原子,坐标分别为（0,0,0）,（1/2,1/2,1/2）

则Fhkl=f+feπi（h+k+l）要消光，则有h+k+l=2n+1（n=0,1,2…）.

②面心晶体存在4个原子，坐标分别为（0,0,0）,（1/2,1/2,0）（1/2,0,1/2）,（0,1/2,1/2）

则Fhkl=f+feπi（h+k）+feπi（h+l）+feπi（k+l）要消光则必使Fhkl=0,故消光规律为:

h,k,l不能同时为奇或h,k,l不能同时为偶

五、如何利用X射线衍射方法研究晶体的有序—无序转变（举例说明）

解：

本题答案谨供参考！

本题是利用X射线衍射时，衍射线的出现与消失来研究晶体的有序—无序转变

对于TiAl，高温时为无序的体心立方晶体，低温时为有序的体心立方晶体。

无序时：

Ti或Al占据A或B点的几率各为50%，f平均=0.5fNi+0.5fAl；注：

A为顶点，B为体心点

有序时:

Ti100%占据A位，Al100%占据B位,则Fhkl=fNi±fAl

则：

Fhkl=fNi-fAl≠0,由本该消光的地方，重新出现衍射条纹，可判断无序向有序的转变，反之亦然。

六、如何使用角因子中洛仑兹因子研究晶体的尺寸

解：

利用布拉格公式2dsinθ=λ和晶面间距d与晶格常数之间的关系（如：

立方晶系d=a/（h2+k2+l2）1/2）可以建立衍射束方向与晶胞尺寸的关系式。

对于立系为sin2θ=λ（h2+k2+l2）/4a2,测写了衍射束的方向，便可推知晶胞尺寸。

洛仑兹因子便是一个只与衍射束方向（即布拉格角θ）有关的式子：

1/（4sin2θcosθ）以布拉格角θ为中介，通过洛仑兹因子便函要以研究晶体尺寸。

七、阐述多晶体X射线衍射强度影响因素及其应用

解：

参考P42-P50影响X射线衍射强度的因素有如下5项：

①结构因子②角因子包括极化因子和洛仑兹因子③多重性因子④吸收因子⑤温度因子。

应用：

利用各影响因子对衍射强度的影响，可判断出晶胞内原子的种类，原子个数，原子位置。

结构因子：

①消光规律的判断；②金属间化合物的有序度的判断。

角因子：

利用谢乐公式研究晶粒尺寸大小；

多重性因子：

等同晶面对衍射强度的影响

吸收规律：

试样形状和衍射方向的不同，衍射线在试样中穿行的路径便不同，引起吸收效果的不一样。

温度因子：

研究晶体的热运动，测定热膨胀系数等。

8、以立方晶系为例，分析利用XRD测量点阵常数时为何采用高角度线条而不采用各个线条测量结果的平均值：

答：

对于立方晶系2dsinθ=λ，

θ的误差主要来源于

ΔθΔ（sinθ）

2dsinθ=λdsinθ=λ/2Δdsinθ+dcosθ

Δθ=0

Δa/a=Δd/d=-cosθ

Δθ当θ=

时Δa/a=0

故θ尽可能高而对于外推法取θ=

9、给出物相定性分析与定量分析的原理及一般步骤。

答：

定性分析：

原理：

目前所知结晶物质，之所以表现出种类的差别，是由于不同的物质个具有自己特定的原子种原子排列方式和点阵常数，进而呈现出特定的衍射花样；多相物质的衍射花样互不干扰、相互独立，只是机械的叠加；衍射花样可以表明物相中元素的化学结合态。

这样只要把晶体全部进行衍射或照相再将衍射花样存档，试验时，只要把试样的衍射花样和标准衍射花样相对比，从中选出相同者就可以确定了。

步骤：

先求出晶面间距d和相对强度I/I1后有以下三个程序：

（1）根据待测相得衍射数据，得出三强面的晶面间距值d1、d2、d3.

（2）根据d1值，在数值索引中检索适当d组，找出与d1、d2、d3值复合较好的一些卡片。

（3）把待测相的三强线的d值和I/I1值与这些卡片上各物质的三强线d值和I//I1值相比较，淘汰不相符的卡片，最后获得与试验数据一一吻合的卡片，卡片上所示物质即为待测相。

（4）若待测试样为复相混合物时，需反复测试

定量分析：

原理87页

10、十、讨论内应力对X-Ray衍射线条的影响规律，并说明如何测定平面宏观残余应力

11、宏观应力：

使衍射峰左右移动

微观应力：

使衍射峰变宽

超微观应力：

使衍射峰的强度变弱

平面宏观残余应力的测定：

：

样品表面法线与所测晶面法线的夹角课本98页图6.3

因为

所以

第二部分

1、分析电磁透镜对波的聚焦原理，说明电磁透镜的结构对聚焦能力的影响。

解：

聚焦原理：

通电线圈产生一种轴对称不均匀分布的磁场，磁力线围绕导线呈环状。

磁力线上任一点的磁感应强度B可以分解成平行于透镜主轴的分量Bz和垂直于透镜主轴的分量Br。

速度为V的平行电子束进入透镜磁场时在A点处受到Br分量的作用，由右手法则，电子所受的切向力Ft的方向如下图（b）；Ft使电子获得一个切向速度Vt，Vt与Bz分量叉乘，形成了另一个向透镜主轴靠近的径向力Fr，使电子向主轴偏转。

当电子穿过线圈到达B点位置时，Br的方向改变了180°，Ft随之反向，但是只是减小而不改变方向，因此，穿过线圈的电子任然趋向于主轴方向靠近。

结果电子作圆锥螺旋曲线近轴运动。

当一束平行与主轴的入射电子束通过投射电镜时将会聚焦在轴线上一点，这就是电磁透镜电子波的聚焦对原理。

（教材135页的图9.1a,b图）

电磁透镜包括螺旋线圈，磁轭和极靴，使有效磁场能集中到沿轴几毫米的范围内，显著提高了其聚焦能力。

12、2、电磁透镜的像差是怎样产生的，如何来消除或减小像差？

解：

电磁透镜的像差可以分为两类：

几何像差和色差。

几何像差是因为投射磁场几何形状上的缺陷造成的，色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。

几何像差主要指球差和像散。

球差是由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不符合预定的规律造成的，像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的。

消除或减小的方法：

球差：

减小孔径半角或缩小焦距均可减小球差，尤其小孔径半角可使球差明显减小。

像散：

引入一个强度和方向都可以调节的矫正磁场即消像散器予以补偿。

色差：

采用稳定加速电压的方法有效地较小色差。

3、说明影响光学显微镜和电磁透镜分辨率的关键因素是什么？

如何提高电磁透镜的分辨率？

解：

光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长。

电磁透镜的分辨率由衍射效应和球面像差来决定，球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素。

若只考虑衍射效应，在照明光源和介质一定的条件下，孔径角α越大，透镜的分辨本领越高。

若同时考虑衍射和球差对分辨率的影响，关键在确定电磁透镜的最佳孔径半角，使衍射效应斑和球差散焦斑的尺寸大小相等。

4、电子波有何特征？

与可见光有何异同？

解：

电子波的波长较短，轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。

其波长取决于电子运动的速度和质量，电子波的波长要比可见光小5个数量级。

5、电磁透镜景深和焦长主要受哪些因素影响？

说明电磁透镜的景深长、焦长长，是什么因素影响的结果？

答：

电磁透镜景深与分辨本领

、孔径半角

之间关系：

表明孔径半角越小、景深越大。

透镜集长

与分辨本领

，像点所张孔径半角

的关系：

，

，

，M为透镜放大倍数。

当电磁透镜放大倍数和分辨本领一定时，透镜焦长随孔径半角减小而增大。

6、透射电镜主要由几大系统构成？

各系统之间关系如何？

解：

透射电镜由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。

电子光学系统通常称镜筒，是透射电子显微镜的核心，它的光路原理与透射光学显微镜十分相似。

它分为三部分，即照明系统、成像系统和观察记录系统。

7、照明系统的作用是什么？

它应满足什么要求？

解：

照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。

其作用是提供一束高亮度、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。

为满足明场像和暗场像需要，照明束可在2

~3

范围内倾斜。

8、成像系统的主要构成及其特点是什么？

解：

成像系统组要是由物镜、中间镜和投影镜组成。

物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微镜图像或电子衍射花样。

1）．物镜是采用强激磁、短焦距的透镜（f=1~3mm），它的放大倍数较高，一般为100~300倍。

2）．中间镜是一个弱激磁的长焦距变倍透镜，可在0~20倍范围调节。

当放大倍数大于1时，用来进一步放大物像；当放大倍数小于1时，用来缩小物镜像。

3）．投影镜的作用是把中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强激磁透镜。

投影镜的激磁电流是固定的，因为成像电子束进入投影镜时孔径角很小，因此它的景深和焦长都非常大。

9、分别说明成像操作和衍射操作时各级透镜（像平面和物平面）之间的相对位置关系，并画出光路图。

解：

如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这是成像操作。

如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这是电子衍射操作。

图在课本P144

10、透射电镜中有哪些主要光阑，在什么位置？

其作用如何？

解：

在透射电镜中主要有三种光阑：

聚光镜光阑、物镜光阑、选区光阑。

聚光镜光阑装在第二聚光镜的下方，其作用是限制照明孔径角。

物镜光阑安放在物镜的后焦面上，其作用是使物镜孔径角减小，能减小像差，得到质量较高的显微图像；在后焦面