C波段高功率速调管的测试方法毕业设计.docx
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C波段高功率速调管的测试方法毕业设计
摘要
本文主要介绍的是C波段高功率速调管的测试方法,首先是速调管的发明、技术现状以及发展趋势。
其次是高功率速调管原理、分类及指标,说明了速调管的基本工作原理、速调管的分类以及主要特性和副特性。
再次是C波段高功率速调管测试系统,简单的介绍了速调管的测试系统、调制器的种类和高压直流电源,并且简要说明了速调管的冷却系统和冷却系统的清洁方法。
最后是C波段高功率速调管的测试方法及步骤,具体的介绍了速调管的直流特性测试和速调管的高频特性测试。
关键词:
速调管;电子注;直流特性;高频特性
第一章绪论1
1.1速调管的发明与技术现状1
1.2速调管的发展趋势2
第二章C波段高功率速调管原理及指标5
2.1基本工作原理5
2.2速调管的分类7
2.2.1电子注数目和截面形状7
2.2.2电子注的聚焦形式8
2.2.3带宽、调谐方式和高频互作用电路的形式8
2.2.4电子注工作和调制方式8
2.2.5速调管的结构形式8
2.3速调管的性能指标8
2.3.1速调管的主要特性9
2.3.2速调管的副特性10
第三章C波段高功率速调管测试系统12
3.1测试系统简介12
3.2电源和调制器14
3.2.1线性调制器14
3.2.2钢管脉冲调制器15
3.2.3高压直流电源16
3.3冷却系统16
3.3.1冷却液和水净化系统16
3.3.2冷却表面和冷却回路的腐蚀和污垢17
第四章高功率速调管测试方法与步骤18
4.1速调管直流特性的测试18
4.1.1低压发射特性的测量18
4.1.2冷高压老练19
4.1.3热高压老练和直流特性的测试20
4.2速调管高频特性的测试21
4.2.1输出功率、效率和增益特性的测试21
4.2.2相位噪声的测量23
4.2.3相位灵敏度的测试23
4.3样管测试23
结论25
致谢26
参考文献27
第一章绪论
1.1速调管的发明与技术现状
速调管的发明是多人研究的结果。
1932年俄罗斯列宁格勒工学院的物理学教授D.A.Rozhansky提出了产生密度变化电子注的方法。
与D.A.Rozhansky教授一起工作的年轻物理学家Agnessa.Arsenjewa和她的丈夫,德国的Oskar-Heil,在1935年提出了电子的速度调制和群聚的原理,发明了Heil振荡器。
Heil振荡器是一种采用同轴谐振腔的漂移管振荡器。
同期,美国斯坦福大学物理学教授W.W.Hansen在研究用于X射线谱仪的高压电子注的过程中发明了微波谐振腔,并发展了将谐振腔等效为电路元件的理论,推导出各种形状的谐振腔本征值的分析表示式。
谐振腔的发明对于Varian兄弟发明速调管有重要影响。
1937年美国的RussellVarian和SigurdVarian兄弟制成了双腔速调管并申请了专利,成为公
认的速调管的发明人。
下面按照速调管的应用情况,介绍两类速调管的技术水平和研究进展。
速调管的发展是与高能物理研究用的粒子加速器的发展紧密联系在一起的,美国斯坦福加速器中心(SLAC)在发展粒子加速器用高峰值功率速调管和连续波速调管方面一直处于国际前沿。
在20世纪50年代,SLAC研制成功了S波段24MW永磁聚焦速调管,并应用于正负电子对撞机。
从80年代起,随着加速器能量的提升,速调管的峰值功率不断提高,目前在S波段达到了200MW。
在X波段达到了75MW。
作为探测空间目标(飞机、导弹、火箭)的各种雷达系统是大功率速调管的一个重要应用领域。
自20世纪50年代起,相关微波管公司在军用和民用雷达系统的推动下,发展了多种类型的窄带和宽带速调管。
天气雷达、导航雷达和测控雷达用的速调管,其峰值功率几百千瓦至兆瓦级,工作时要求的瞬时带宽较小,可采用机械调谐来扩展工作频率范围。
近年来,法国、日本和美国等国开始研制用于加速器的多注速调管,其中法国的Thales电子器件公司(TED)、美国的CPI-MED公司和日本的东芝公司等为欧洲正负电子对撞机研制成功了峰值功率为10MW,平均功率为150MW的L波段高功率多注速调管。
1.2速调管的发展趋势
速调管虽然是一种发展较为成熟的微波真空电子器件,但在新的应用需求和
新技术、新工艺的推动下,原有品种的性能不断得到改善和提高,新的品种不断得到开发和应用,其主要发展趋势有以下几个方面:
(1)发展高功率和高频率的速调管。
发展用于各类加速器和微波武器的S、C、和X波段的百兆瓦级的单注、多注和柱状高峰值功率计速调管;发展用于超大功率干扰机和超远程精密测量雷达的百千瓦级的高平均功率速调管,以及用于微波能束武器的相对论速调管;发展用于可控热核聚变装置散裂中子源和洁净核能系统的高连续波和长脉冲速调管;发展毫米波波段和THz波段的速调管;研究在高频率下获得高功率输出的方法和技术途径。
(2)进一步展宽速调管的频带。
重点发展滤波器加载重叠模双间隙耦合腔的分布作用速调管,使其瞬时工作带宽达12%~15%,并研究新型结构的宽带群聚段,探索采用如三模重叠双间隙耦合腔等新型输出段结构来展宽频带的可能性。
(3)进一步提高效率、可靠性和寿命。
发展工业微波加热及未来空间波能输电系统的高效率速调管。
利用低导流系数、二次谐波腔、长漂移管结构和双间隙耦合腔等方法,将速调管的效率提高到70%~80%;发展各种类型的覆膜和合金型浸渍阴极,提高发射电流密度、降低蒸散、增加使用寿命;发展具有高峰值功率和高平均功率容量的高频输出窗。
(4)发展适合于高频率速调管的制造技术。
主要发展适合高频段速调管的微加工技术,以及相应的材料、结构、装配和焊接工艺技术。
(5)发展精确模拟速调管的计算和模拟技术。
发展能够精确模拟速调管中电子注的产生和形成、注—波互作用等物理过程的三维计算软件,特别要模拟二次电子、反射电子对速调管互作用和稳定性的影响;模拟具有复杂高频结构的宽带速调管、多注速调管和带状速调管中的物理过程;模拟高次谐波、震荡和杂谱等产生的物理机制;模拟相位噪声、相位非线性等速调管的副特性;模拟速调管的力学和热学特性和相关参数。
第二章C波段高功率速调管原理及指标
2.1基本工作原理
大功率速调管是基于速度和密度调制原理将电子注动能转换成微波能量的微波真空电子器件,图2-1为速调管的外形图。
图2-1速调管的外形图
速调管由电子枪、高频互作用段、高频输入和输出系统、聚焦系统、收集极等部分组成。
在速调管中,主要的物理过程包括:
1)电子注的产生、形成和聚焦
电子枪是有阴极和热子、电子注形成和控制电极(聚焦极或控制极)及相应的支撑结构和引出结构、阳极和高压绝缘瓷等部分组成。
由热阴极产生的电子在高压的作用下获得动能,并形成一定形状的电子注(一般为圆柱形电子注),将电源的能量转换为电子注动能。
电子注在聚焦磁场的作用下,通过高频互作用空间,保持电子注不发散。
2)电子注与高频互作用系统的相互作用
速调管的高频互作用系统由输入谐振腔、多个中间谐振腔和漂移段、输出腔等部分组成。
电子注通过输入谐振腔的间隙时,在高频电场的作用下产生速度调制,即在高频周期的正半周通过谐振腔间隙的电子受到加速,负半周通过谐振腔间隙的电子受到减速。
速度调制的电子注通过一定长度的漂移段后产生密度调制,即快电子逐步赶上慢电子,使电子注中电子分布疏密不均,电子发生了群聚。
密度调制电子注中包含有输入高频电场的基波和谐波分量,当它通过第二个谐振腔间隙时,将在谐振腔内激励起高频感应电流,并在谐振腔间隙上建立起比输入谐振腔更高的高频电场。
该高频电场反过来对电子注产生更大的速度调制。
从而在第二个漂移管内产生更强的密度调制。
电子注通过多个中间谐振腔和漂移段时,重复上述速度调制和密度调制过程,到达输出腔入口时,形成高度群聚的电子注。
进入输出腔的群聚电子注中包含有很高的基波电流分量,当其通过输出腔间隙时,建立起很高的高频电场,并将其部分动能转换成高频能量,实现高频信号的放大。
3)电子注能量的耗散和冷却
经过高频互作用的电子注在收集极区发散,打到收集极内表面,将剩余动能转换成热能,通过冷却系统由冷却媒质带走。
2.2速调管的分类
对应于不同的应用领域和不同的工作方式,已研制成功多种类型的速调管。
已研制成功多种类型的速调管。
通常根据电子注的截面形状和数目、电子注的聚焦形式、带宽互作用电路的形式、电子注调谐方式等对速调管进行分类,表2-1为速调管分类一览表。
表2-1
分类依据
速调管名称
电子注数目
1.单注速调管2.多注速调管
电子注截面形状
1.实心注速调管2.空心注速调管3.带状注速调管
电子注聚焦形式
1.电磁聚焦速调管2.永磁聚焦速调管3.周期永磁聚焦速调管4.周期反转永磁聚焦速调管5.静电聚焦速调管
电子注工作方式
1.脉冲速调管2.连续波速调管
电子注调协方式
1.阴极调制速调管2.阳极调制速调管3.栅极控制速调管4.控制极控制速调管
带宽
1.窄带速调管2.宽带速调管
调谐方式
1.机械调谐速调管2.固定调谐速调管
高频互作用电路
1.普通速调管2.分布作用速调管3.行波速调管
速调管结构
1.内腔式速调管2.外腔式速调管
2.2.1电子注数目和截面形状
按照电子注数目,速调管可分为单注速调管和多注速调管。
多注速调管采用多个电子注提高电子注导流系数,降低电子注电压,可以在较低的功率电平下实现宽频带。
如无特别说明,通常速调管均指单注速调管。
按照电子注截面形状,速调管可分为电子柱截面为圆形的实心注速调管、电子注截面为环形的空心注速调管,以及电子注截面为矩形的带状注速调管。
带状电子注通过增加电子注的总截面提高电子注导流系数,可以在高频率实现高功率。
如无特别说明,通常速调管均指电子注截面为圆形的实心注速调管。
由于空心电子注的稳定性差,目前较少采用。
2.2.2电子注的聚焦形式
按照电子注的聚焦形式,可分成电磁聚焦速调管、永磁聚焦速调管、周期永磁聚焦速调管、周期反转永磁聚焦速调管和静电聚焦速调管。
采用电磁聚焦和永磁聚焦的速调管,其高频互作用区的磁场是均匀分布的。
2.2.3带宽、调谐方式和高频互作用电路的形式
按照带宽,可分为窄带速调管和宽带速调管,宽带速调管的瞬时带宽较宽。
按谐振腔的调谐方式,可以分为机械调谐速调管和固定调谐速调管,机械调谐速调管采用可调谐谐振腔,具有较宽的工作带宽,但瞬时带宽较窄。
根据高频互作用电路的形式,可分为普通速调管、分布作用速调管和行波速调管等类型。
对于多注速调管,根据其工作模式,可分为基模多注速调管和高次模多注速调管。
2.2.4电子注工作和调制方式
按照电子注调制方式,可分为脉冲速调管和连续波速调管。
对于脉冲速调管,根据调制方式可分为阴极调制速调管、栅极控制速调管、控制极控制速调管和阳极调制速调管。
阴极调制速调管是脉冲速调管最普通采用的调制方式,阴极调制速调管的可靠性高且寿命长。
在一些连续波速调管中,也有采用阳极调制方式的,它可以调节电子注导流系数和电子注电流,同时可抑制离子对阴极的回轰。
2.2.5速调管的结构形式
在一般速调管中,谐振腔与管体不分离,且处于真空部分,通常称为内腔式速调管。
而工作在低频段的电视广播用速调管,其谐振腔部分与速调管真空部分分离,称为外腔式速调管。
对于外腔式速调管,速调管发生故障后,只需更换速
调管的真空部分,而无需更换谐振腔部件,从而降低了速调管制管和整机运行成本。
对于不同速调管的名称,它反映该速调管的某一个或几个特点,但不能包括其全部特点。
2.3速调管的性能指标
2.3.1速调管的主要特性
工作频率范围和带宽、输出功率、效率、增益、寿命等主要特性是各种类型速调管必须满足的性能。
1.工作频率和带宽
速调管工作在特定的频率范围内,通过定义中心频率为f0,低频端的频率为fL,高频端的频率为fH,其绝对带宽为
=
其相对带宽为
B=
通常带宽的定义为,其输出功率不低于某一额定值的频率范围。
如带内输出功率不低于最大输出功率以下1dB,成为1dB带宽;带内输出功率不低于最大输出功率以下3dB,成为3dB带宽。
在工作时,对应输入功率不变的带宽为等激励带宽。
根据速调管的工作状态,带宽可分为瞬时带宽和调谐带宽。
对于机械调谐速调管,其工作带宽宽,而瞬时工作带宽窄。
对于固定调谐速调管,其工作带宽等于瞬时带宽。
2.输出功率
对于脉冲速调管,可定义峰值输出功率为
和平均输出功率为
其相互关系为
=
×
式中,
为脉冲重复频率;
为高频脉冲宽度;其乘积D=
为工作比。
3.效率
通常,定义速调管的效率为输出微波功率与电子注功率之比,由下式确定,即
式中,
分别为电子注电压和电流。
式中的输出功率
指速调管向负载传输的功率。
在速调管的设计中,还引入电子效率
回路效率
。
电子效率对应电子注能量转换成微波能量的效率,而回路效率对应输出电路的功率耗散。
因此,速调管的效率为电子效率和回路效率的乘积,即
4.增益
速调管的增益为输出功率
与输入功率
之比,通常用分贝(dB)表示,
即
速调管的增益随输入功率变化而变化,当工作在线性部分时,其增益不变,该增益称为小信号增益。
而工作在非线性部分时,其增益随输出功率增加而减小,对应饱和点的增益称为饱和增益。
5.寿命
通常速调管寿命是指其输出功率下降至额定功率的80%的工作时间。
但是,除了功率下降外,速调管的失效还与热子故障、真空漏气、电子枪和输出窗击穿等其他速调管故障,以及速调管的工作状态相关联。
通常,衡量速调管寿命有以下几种标准:
1)工作寿命
(1)加热子功率的总小时数;
(2)加高压(高频输出)的总小时数。
一般定义热子功率的总小时数为速调管的工作寿命。
2)贮存寿命
速调管交付使用后允许存放而不失效的小时数。
2.3.2速调管的副特性
速调管输出功率的稳定性和相对的稳定性和非线性,高次谐波输出,带内和带外杂谱和噪声输出等性能对雷达、通信系统的性能有重要影响,本节将对这些性能作简要介绍:
1.功率稳定性
速调管的输出功率与电子注电压和电流、工作磁场等工作参数,以及工作环境密切相关,在工作期间,输出功率变化表现在以下几个方面:
1)幅度调制灵敏度
表示电子注电压变化1%时,引起的输出功率变化的百分率,以%/%表示。
如果速调管的效率随电压变化较小,则输出功率的变化由下式表示,即
上式表示,功率的变化率为电压变化率的2.5倍。
2)幅—频特性
在固定的工作条件下,输出功率随频率的变化。
通常指频率变化为1MHz,功率变化的分贝数,用dB/MHz表示。
该特性表示输出功率随频率变化的平坦性。
3)幅度波动
表示聚焦磁场电流变化1%时,引起的输出功率变化的百分率,以%/%表示。
2.相位稳定性和非线性
速调管的相位特性是指输出信号与输入信号之间的相位差随工作参数和工作频率变化的关系。
由于大功率速调管特别是带宽速调管的输入腔和输出腔间的电长度为几个至十几个工作波长,其输出信号与输入信号之间的绝对相移大,通常达
,任何影响电子注速度的因素都会影响绝对相移。
1)相位灵敏度
指电子注电压变化1%引起的输入—输出相移变化,用(
)/%表示。
相位灵敏度可由下式求得,即
速调管的相位灵敏度约为
。
除了电压变化引起相移变化外,聚焦磁场电流、热子电流和工作温度都会引起相移变化。
2)调幅—调相转换
指输入信号幅度变化引起的输入—输出相移变化,用(
)/dB表示。
3)相位非线性和群延迟
相位非线性表示输入—输出相移频率的变化,它可以用群延迟来表示,即
3.交调分量
两个或两个以上不同频率的激励信号同时溃入速调管,在输出端会产生新的频率分量,称为交调分量。
交调分量的产生来源于速调管的非线性特性,偶次交调分量远离工作频带,对系统干扰较小而奇次交调分量落在工作频带内或靠近工
作频带,对系统干扰较大。
其中3次和5次交调分量的影响最大。
交调分量用低于输出功率电平的dB数(dBc)表示。
4.谐波输出
谐波输出电平用低于输出功率的dB数(dBc)表示。
通常,速调管的二次谐波电平小于-25dBc,三次谐波电平小于-30dB。
对于一些通信应用,对四次谐波也有要求。
在一些宽带速调管中,如果谐振腔的高次模式的谐振频率为工作频率的2倍,会导致二次谐波电平的提高。
5.寄生输出和噪声
寄生输出和噪声电平用低于输出功率电平的dB数(dBc)表示。
一般速调管的寄生输出和噪声电平小于-60dBc。
对于采用双间隙谐振腔的宽带速调管,特别是多注速调管,在高频状态下,由于收集极区存在虚阴极或电子截获引起的二次电子,造成电子返流,引发高次模的寄生输出,其功率电平会高于-60dBc。
第三章C波段高功率速调管测试系统
3.1测试系统简介
速调管测试也称为热测,主要指测量速调管存在在电子注状态下的直流特性和高频特性。
直流特性是指在无高频激励状态下,在规定的工作条件(热子功率、电子注电压、脉冲宽度和重复频率)下,电子注电流、导流系数、电子注通过率等特性参数,直流特性也称为静态特性。
此外,直流特性还包括保证速调管正常工作的磁场参数、冷却参数、真空度等其他参数。
高频特性是指在一定的直流状态下,速调管的输出功率随输入高频功率和工作频率变化的特性,高频特性也称为动态特性。
此外,高频特性还包括输出频谱、谐波和噪声电平,以及输入—输出相移等参数。
速调管的测试系统与雷达发射机相似,由直流特性测试系统和高频特性测试系统两部分组成,图3-1为速调管热测系统方框图。
图3-1速调管热测系统方框图
直流特性测试系统主要包括:
电源和调制器、控制和保护系统、磁场和钛泵电源、冷却系统和防护装置等部分。
电源和调制器为速调管正常工作提供要求的各级电压和电流;磁场电源为速调管聚焦线包提供要求的电流;钛泵电源维持和测量速调管内的真空度;冷却系统为速调管收集极、管体和电子枪等发热部位提供冷却;控制和保护系统保证速调管在出现打火等故障条件下切断高压或高频输入激励,防止速调管的非正常损坏。
高频特性测试系统由高频输入和输出系统两部分组成,测量在外加高频激励条件下速调管的输出功率、效率和增益等参数随工作频率变化的特性,同时测量速调管的输出频谱、谐波和噪声电平等参数。
输入高频系统由信号源、前级功率放大器以及定向耦合器、隔离器(或环流器)、传输线、微波小功率计等隔离元件和测量仪器组成。
输出高频系统由大功率水负载和微波大功率计、定向耦合腔、小功率计等大功率负载和功率测量仪器和设备组成。
3.2电源和调制器
3.2.1线性调制器
当速调管工作在阴极调制方式时,需要在速调管的阴极和阳极间加一个负高压脉冲,通常可由线性调制器产生。
线性调制器由高压电源、充电电路(包括充电电感、充电隔离元件)、脉冲成形网络、放电开关等部分组成。
高压电源通过充电电感、隔离元件向人工线充电,在充电结束时,人工线上的电压达到电源电压的2倍;在外加触发脉冲的激励下放电开关管导通,人工线的贮能通过放电回路传给负载,在匹配的情况下,放电结束时,人工线上的能量将全部传给负载,在负载上获得脉冲幅值近似于电源电压的脉冲波形。
由于速调管工作电压高,为了降低高压电源的电压,通常采用脉冲变压器来提升脉冲电压的幅值。
线性脉冲调制器通常采用闸流管作开关器件,采用人工线作脉冲成形电路。
在线性调制器中,人工线的特性阻抗
必须与速调管反映在脉冲变压器初级的负载阻抗
匹配。
当人工线的特性阻抗与负载阻抗不匹配时,会影响调制器的脉冲波形和正常工作。
(1)
>
,即负载阻抗大于人工线特性阻抗,称为正失配。
在正失配状态下,放电开关的导通时间将会延长,并形成多个放电波形。
严重时,会使放电开关(闸流管)不能恢复到截止状态而导致连通,使其不能正常工作。
(2)
<
即负载阻抗小于人工线特性阻抗,称为负失配。
在负失配状态下,容易使人工线在放电结束时被反向充电,造成脉冲结束后电压波形的反冲。
对人工线的反向充电将导致人工线的电压升高,严重时,导致人工线击穿。
线性调制器的脉冲宽度取决于与人工线的放电时间,对于特定的调制器其脉冲宽度不能调节。
当速调管打火时,负载阻抗
很小,调制器处于严重的负失配状态,使人工线上产生很大的反向电压,会导致开关管反向击穿,通常采用反峰电路来限制开关上的反向电压。
在速调管热测系统中,速调管灯丝的供电可以通过脉冲变压器绕组提供,也可采用隔离变压器单独供电。
3.2.2钢管脉冲调制器
由于线性调制器不能适应速调管脉冲宽度和阻抗(电子注导流系数)的变化,不能成为比较通用的速调管测试设备,而采用钢管脉冲调制器可以克服该缺点。
钢管脉冲调制器由高压电源、充电隔离元件、贮能电容和放电开关等部分组成。
高压电源通过充电隔离元件和旁通电阻
向贮能电容充电,能量贮存在贮能电容中。
在理想情况下,贮能电容上的电压值与电源的电压值接近。
在放电开关的栅极上加激励脉冲,开关管导通,贮能电容通过速调管放电,在速调管阴极和管体间产生负高压脉冲,其脉冲宽度取决于激励脉冲的宽度。
脉冲的顶降与脉冲电流、脉冲宽度和贮能电容的大小有关。
钢管脉冲调制器的优点:
①可适应具有不同导流系数和电子注阻抗的速调管;②脉冲宽度可变。
主要缺点:
电路较复杂、体积和质量大。
为了降低电源电压,可采用脉冲变压器。
对于采用脉冲变压器的钢管调制器,由于受到脉冲变压器性能的影响,其脉冲宽度的变化范围变小。
3.2.3高压直流电源
无论是连续波速调管还是脉冲速调管都需要高压直流电源,对于速调管测试和老练用的高压电源,要求其电压数值由零调节到工作值。
高压电源由三相感应调压器、三相整流变压器、整流桥、滤波电感、电容、限流电阻和撬棒保护器组成。
该类造价较低,使用方便,但效率低(75%)、功耗大、体积和质量大,撬棒保护器研制困难。
PSM是一种电源开关,由于其工作频率高、滤波器参量小、储能小,负载打火时,其故障能量小于10J,而且负载打火后能在10us内切断电子注电压并使其回到零,可以省去快速保护装置。
与传统高压电源相比,其效率高(可达95%)、调节方便,同时可工作在长脉冲状态,适合连续波速调管的测试和老练。
3.3冷却系统
由于速调管的峰值功率和平均功率很高,其中相当一部分功率转换成热能由冷却系统带走,因此冷却系统对保证速调管的可靠工作非常重要。
对于液冷方式的速调管,由于冷却液的变质和电化学作用,会使散热表面的热交换效率降低,
导致速调管损坏。
下面从冷却液和冷却回路的材料两方面讨论速调管冷却系
统的设计需要注意的一些问题。
3.3.1冷却液和水净化系统
对于液冷速调管,通常采用水或防冻剂作为冷却液。
对于温度在0℃以上的工作环境,采用去离子水或蒸馏水;对于温度在0℃以下的工作环境采用防冻液。
参考文献3给出用于分布作用速调管冷却系统对去离子水或蒸馏水的水质要求:
(1)水的电阻率:
在25℃时应大于1M
.cm;
(2)氧在溶液中的含量不超过0.5×
;
(3)溶液中所含物质的大小不超过50um;
(4)溶液的pH值应在6~8范围内;
(5)水的入口温度不超过60℃±5℃。
由于冷却水路材料的电化学作用,水质会发生变化,对于冷却回路管道尺寸小,功率密度大的冷却系统,应在冷却回路中加水的净化系统。
速调管的冷却系统分为主冷却环路和纯化环路。
主环路由热交换器,充氮气的水储存箱,微粒过滤器,循环泵,连接管路,阀门,压力计,温度和流量计和联锁控制等部分组成。
纯化水系统由纯度计、氧气、离子和微粒去除筒组成。
从主环路中提取10%的溶液进行纯化。
由于冷却管道和冷却表面的腐蚀速率取决于溶液中的含氧量和温度,在没
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