蚀刻线岗位操作指引规范_精品文档Word下载.doc
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管理部
财务部
采购部
研发部
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发行管制章
蚀刻线岗位操作规范
制作单位:
版本号:
总页数:
第1页共6页
1.0目的:
规范员工操作,提高员工的操作技能。
2.0适用范围:
本规程只适用本公司蚀刻工序的D.E.S线。
3.0工艺流程
3.1显影段:
撕聚酯膜→入板显影1#/2#→高压水洗1#2#3#4#→市水洗1#→冷风干→热风干→收板→自检
3.2蚀刻段:
入板→蚀刻1#2#3#→高压水洗5#6#7#→市水洗2#→检查
3.3去膜段:
入板→去膜1#2#→高压水洗8#9#10#→市水洗3#→钝化1#2#3#→高压水洗11#12#→市水洗4#→冷风干→热风干→出板
4.0工艺参数
曝光能量与显影参数对照表
类别
曝光能量
显影温度
显影速度
药水浓度
备注
线路
5级
28℃
1.2-1.5m/min
PH值10.4-11
30℃
1.3-1.6m/min
CO32-8-15g/L
32℃
1.5-1.8m/min
6级
1.3-1.5m/min
PH值10.4-11
1.4-1.6m/min
CO32-8-15g/L
1.6-1.8m/min
7级
1.5-1.7m/min
油墨
**m/min
不准生产
0.9-1.1m/min
只限于BGA产品
1.0-1.2m/min
8级
0.8-1.0m/min
9级
0.7-0.9m/min
10级
11级
不准生产
0.6-0.8m/min
12级
带阻焊桥的产品
第2页共6页
缸名
项目
控制范围
最佳值
配槽量
更换标准
分析频率
显影
(800L)
碳酸钾
8-15g/l
10g/l
8kg
每班或PH≤10.4时更换
2次/班
PH值
10.4-11
10.8
上压力
0.8-1.6kg/cm2
1.2kg/cm2
下压力
1.0-1.8kg/cm2
1.5kg/cm2
温度
28-32℃
速度
干膜:
1.2-1.8m/min
[此参数仅供参考,具体的参数由首件来确定,超出此范围的为异常现象,必须得到工程师的确认方可生产。
感光线路油墨:
0.6-1.2m/min
阻焊油墨:
0..6-1..2m/min
1HZ等于0.036米每分钟此公式只限于显影速度调试
压力水洗
压力
0.8-1.2kg/cm2
1..0kg/cm2
1次/班
热风吹干
50-70℃
65℃
蚀刻
(1200L)
铜离子
120-150g/L
130g/L
盐酸
1.5-2.5N
2.0N
1.2-2.0kg/cm2
1..6kg/cm2
38.8HZ
频率显示
1.4-2.0kg/cm2
1.8kg/cm2
49-54℃
52℃
单面板:
0.5OZ
1.9-2.5m/min
2.2m/min
注:
此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产,批量生产时必须有专人检验板。
1.0OZ
1.1-1.4m/min
1..3m/min
双面板:
1.1-1.4m/min
1.0OZ
1.0-1.3m/min
1..2m/min
2.0OZ
0.2-0.5m/min
0.3m/min
蚀刻
1.0OZ(已加厚10-20um)
0.6-0.9m/min
0.8m/min
速度计算公式:
1hz等于0.036米每分钟此工式只限于蚀刻脱膜计算方法
0.5OZ(已加厚10-20um)
0.9-1.2m/min
1.0m/min
0.15mm厚的钢片
此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板OK后,再批量生产,量产时,每30pnl测试1次。
0.2mm厚的钢片
0.4-0.7m/min
0.5m/min
1.0kg/cm2
去膜(600+600)L
氢氧化钠
3-5%
4%
25kg
1次/4天
0.8-1.4kg/cm2
1.1kg/cm2
1.0-1.6kg/cm2
1.3kg/cm2
消泡剂
0.05-0.2%
0.1%
50-60℃
55℃
1.0-2.2m/min
1.6m/min
1.0-1.4kg/cm2
钝化
H2SO4
1-3%
2%
60L
1次/3天
热风干
温度
75-100℃
85℃
D.E.S全线
棉芯
20/5-10um
20”/10um
1次/周
第3页共6页
5.0操作内容
5.1蚀刻线开机前准备
5.1.1检查药水槽,水洗槽液位是否正常,并使之正常。
5.1.2检查各盖板是否盖好,没盖好必须盖好。
5.1.3检查各输送轮是否清洁,不清洁必须清洗干净。
5.1.4检查烘干段加热系统是否正常,不正常使之修复。
5.1.5检查设备有否在维修保养中,如在维修保养中必
需挂上标识牌,待维修OK后再开机。
5.1.6检查连接部位是否需加润滑油。
5.1.7检查急停开关是否复位。
5.2开机
5.2.1开启主电源,机器电源。
5.2.2轻触触摸屏,进入机器运行操作系统。
5.2.3查看各段的温度是否正常,不正常的使之正常(各段的温度都由工程师设定好,严禁随意更改,
若要更改,必须由工艺部专职工程师更改)。
5.2.4开喷淋前领班或储干检查输送轮、轴转动是否正常,如有跳动或不转等异常应做好记号,并通知设备组维修,待维修完毕后才能开机。
5.2.5显影开机:
(依次打开)显影1#2#、摆动1#2#、水洗1#2#3#4#、冷风1#、热风1#。
5.2.6蚀刻开机:
轻触“下一页”按扭(依次打开)蚀刻1#2#3#、摆动1#2#3#、水洗5#6#7#。
5.2.7脱膜开机:
(依次打开)脱膜1#2#、滚筒1#2#、吹膜1#2#、水洗8#9#10#、钝化1#2#3#、水洗11/12、冷风2、热风2、冷却风扇。
5.2.8三段喷淋开起后检查喷淋摇摆、喷淋喷嘴,无异常后再开传动。
5.2.9轻触“传动速度”按扭,进入速度设定界面,轻触设定栏,输入所需的速度值,轻触“确定”按扭,确认速度。
5.2.10轻触“控制”按扭,进入界面,轻触传动1#2#3#。
5.2.11手动打开显影、蚀刻、脱膜、钝化后面的市水洗1#2#3#4#,并调至适当的流量(400L/h)。
5.2.12打开控制柜的总电源开关。
(里面所有的设定参数,除了本工序的工程师外,其他人不准作任何修改设定)。
5.3放板
5.3.1将已曝光好的板撕掉聚酯膜后按操作示意图片平稳地放在转轮上,板与板之间的间隔为10cm以上,放板宽度不得超过530mm
5.3.2如果铜厚0.5OZ以下的单面板必须带回形框或载板过机。
5.3.3每放完一批板后面要放上一张绿板或引导板作标记。
5.3.4显影后产品必须有专人自检,自检合格后方可放入蚀刻机。
5.3.5蚀刻后必须抽检,控制欠蚀刻的板进入脱膜段。
5.3.6显影、蚀刻、首件前,必须先核对首件上的产品型号、版本号与流转单上的是否一致,梳对无误后再进行生产。
开始生产批量前,必须先核对产品型号、版本号与流转单是否一致,领代班或负责人每1小时抽查一次产品型号、版本号与流转单是否一致。
第4页共6页
5.4接板
5.4.1戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平
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