厂务系统概述.docx
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厂务系统概述
廠務系統槪述
莊士正
7
整廠系統
SystemIntegration
DATACOM..DATACo«nnH«llC<1lonTELECOM-
OM・
TMcornnuMcMIonC(Mnp UPW- LS-g.PCWM£P- WWT. 50- BG- PD- BC- GI8 CDA- sec- FMCS- PV・PCX. ULTRAPUMWATER LIFESAFETY CLEANROOM PROCESSCOOUNGWATER MECHANtCAtELECTRICALftPLUMBING WASreWATCfttrcatiacnt SFeCIALlTVOASeULKGASPnOCESSDRAINBULKCHEMCMGASINSULATEDSWITCHOCARCLEANDRYAIR SCCUfUTY FACTORYUONrrORINOANOCONTROLSYSTEM PROCESSVACUUM PftOCESSEXHAUST 1.廠務系統功能 7.1水系統在製程中的功能 製程機台冷卻 補水/清洗/稀釋 原水/一般用水 冷卻用冷源/空調用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用 1.2氣體系統在製程中的功能 搬運器/儀器之氣壓缸/…般沖吹 Purge/CDABackup/潔淨沖吹 Purge/空間塡充/超潔淨沖吹 製程需求/Purge/空間塡充/超潔淨沖吹 製程Chamber^充需求/乾蝕刻製程需求 1.3化學系統在製程中的功能 Chemical化學藥品 清潔清洗/濕式蝕刻製程需求 7.4真空系統在製程中的功能 PumpLine製程高真空 1.5排氣/排水系統在製程中的功能 Chambei•製程轉換之高真空建立 機台製程使用之廢Dl/Chemical排放 2.1水系統使用材質 SUS304禁油處理/高壓軟管 SUS304 SUS304 SUS304 CPVC/PVDF/PFATube 2.2氣體系統使用材質弋、锵氣夕巒台端部可能用Teflon軟管) SUS316LEP/PH2有時用雙套管(EP/AP) 23化學系統使用材質 2.4真空系統使用材質 2.5排氣系統使用材質 不銹鋼TeflonCoating風管(Tefpass) 2.6排水系統使用材質 3.廠務系統流程 3•2冰水系統簡略流程 冰水主機 ■■■— 冷媒循環 3.3純水系統簡略流程 CityWatera來水 DMFilter去除鈣鎂 0 Decarbonator 去除CO2 WATower去除碳無 0 SATowerir-K去除碳昭U? ROTankRO進水槽 MixedBed去除SiO2 a Permeate Pit逆潼透底槽 ROUnit逆潑诱腺 0 SafetyFilter過減器 uvsterilizer紫外練殺菌 0 HeatExchange熱文換& Membrane Degasifier去除02 ◊ UPWTank純水備槽 Cooler冷卻器 uvOxidizer破壊有機鏈 UFUnIt超限過測澳 回水 回水 3.4自來水/回收水系統簡略流程 自來水 回收水 I自來水外g| I空氣中水份I 收表倆離阀 [今盤/空調朵耳 供應管線 回收管線I 回收水槽 使用點 使用點I 3・5CDA/®2/PN2系統簡略流程 CDA 母壊韌漏務注臣草8•£ ouiqSuidinnj 磊螫魁剧務參蓉將章豊/£ 3.9化學系統簡略流程 Chemical 化學品供應槽車 化學品儲槽 傳送系統 ◎ 供應槽 分配系統 腫液就槽 0 回收管線 0 使用點 0 VMB/P 0 化學管路 3.10廢水收集系統簡略流程 DrainPipe 3・11廢水處理系統簡略流程 WasteWaterTreatment PH 調整槽 a 污泥收集槽 o W 0 運棄 曝氣槽 PH反應槽 沉澱槽 a 澄清槽 膠羽凝結槽 Polymer
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