净化间使用规范.docx

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净化间使用规范

集成中心净化间使用规范

制订日期：

2012年4月26日

总则：

半导体集成技术中心超净工艺线为保持超净度，维持安全运行，使所有人员都能在一个良好的环境中

工作，并保证工作环境持续有效，特制订本条例。

1、安全逃生和工艺安全

1.进入净化间以后首先注意观察逃生通道的线路以及通往外界的各个安全门的位置以及应该如何打开；

2.进入清洗间工作时应该注意自来水的位置，并注意水流是否流畅，便于及时冲洗和清洗；穿戴防护服和防护眼镜进行清洗操作；

3.仔细检查自己的手套是否有破损，如有破损，立即更换；

4.轻腐蚀间只能进行有机化学处理，重腐蚀间只能进行无机化学处理，严禁混淆；

5.操作时，一定要穿好防护服，戴好防护眼镜进行操作；

6.一旦无机试剂接触到皮肤，马上采用大量的水进行冲洗，同时告知工作人员，采取相应措施。

2、净化间人员进入净化间路线:

脱下外套等物品

换成拖鞋

3、进入集成中心净化实验室:

・刷卡

・禁止代他人刷卡，每次进出一定要刷卡，以保证系统留有记录

・禁止借用他人的卡进入实验室

・开门之后禁止采用任何措施使大门不能及时、顺利关闭

・禁止私自带人进入净化间；带人参观需提前请示中心领导

4、二楼一次换鞋处（室外鞋换成深色净化间用拖鞋）

・坐在绒凳上脱下室外鞋拿好

4跨过绒凳只穿袜子进入换鞋区

*在公用鞋柜里找公用拖鞋（有鞋柜的人员应该在自己的鞋柜中拿取自己的拖鞋）

*把室外鞋放入公用鞋柜的下层

*从公用鞋柜的上层取出拖鞋穿好，并随手关好鞋柜门

*在更衣间门口拿好口罩和压发帽戴好

*对着镜子把头发全部抿进压发帽，不要有发梢伸出压发帽外

*如需帮助，工作人员的电话在净化间二楼入口处。

*净化间入口处接待室电话：

82304349

注意事项：

1.因房间有限，鞋柜用完用钥匙关上柜门。

不常来实验室的人可以把钥匙留在柜子上，以防时间久了找不到钥匙。

禁止采用拔掉钥匙让鞋柜关不上的自私做法。

2.禁止户外鞋放置在绒凳边上不管，应放入鞋柜或管理人员指定位置；

3.工作区拖鞋不能在绒凳以外的区域穿着；

4.如果室外鞋无法放入鞋柜，应放置在鞋柜顶部，或请工作人员帮助解决；

5.室外鞋和工作间拖鞋在鞋柜里的放置位置不能混淆；

6.不得随意穿着他人的拖鞋，未经允许也不得将鞋放入他人的鞋柜；

7.夏天不得穿着凉鞋，拖鞋或穿着其他实验室的拖鞋来本净化间工作；

8.离开净化间穿回户外鞋时，应将脚直接穿入室外鞋中，不要将脚首先踩在绒凳以外的地上再穿鞋，以避免再次进入净化工作区时将尘土带入；

9.口罩是一次性的，压发帽可以重复使用一到两周。

5、净化服穿戴

*分别进入男，女更衣间

*把外衣，随身用品放入一次更衣室（简称一更）的衣柜里锁好，一更的衣柜里不得放置水果,饮料等食品

・进入二次更衣室（简称二更）开始穿净化服

・分体净化服，首先戴好帽子，穿上衣压住帽子，再穿裤子压住上衣，穿袜套压住裤子，穿上拖鞋

•用力压好尼龙扣，不要绷开

・如果净化服号小，请让工作人员换大一号的净化服

«连体净化服，拿住衣袖不要拖在地上，先穿下身，再穿上身，戴好帽子，袜套压住裤子，穿上拖鞋

«对着镜子检查好穿戴，头发是否露出，尼龙扣是否扣好，压发帽不应露在净化帽之外之后才能离开更衣室

*如需帮助，工作人员的电话在净化间的进门处

*离开更衣室之前用钥匙锁好衣柜门，因为空间有限，不要让柜门开着

-离开更衣室时注意随手关门

-连身净化服拉链，口罩，手套要全部穿戴好之后方可离开更衣室注意事项:

1.禁止把食物、饮料以及其他任何食物带入净化间，也不允许将这些物品放入更衣柜;

2.使用衣柜以后一定要关好柜门；

3.更衣期间不要将净化服、净化袜子放置在地上；

4.如果在净化间内需要使用手机，更衣期间应将手机放在净化服口袋中；

5.在净化间内禁止拉开净化服拉链。

6、一楼二次换鞋处

*从二楼下楼到一楼

*有鞋柜的人员，把拖鞋放入自己鞋柜，之后关好柜门

*参观人员和没有鞋柜的人员从“已消毒净化鞋”桶里拿出白色净化鞋，

・走到换鞋绒凳前脱下拖鞋

*跨过换鞋绒凳穿着袜套进入“禁止穿鞋踩踏”区域，把拖鞋拿起，放入拖鞋鞋柜，参观人员和没有鞋柜的人员，应在陪同人员的指导下把拖鞋放在拖鞋鞋柜顶上

*拿好白色净化鞋，只穿袜套走过“禁止穿鞋踩踏”的水晶板区域，来到集成中心净化实验室的风淋门前

*有专用鞋柜的人员，从自己鞋柜里取出净化鞋，关好柜门

*把净化鞋放在水晶板区域以外，穿好

*刷卡打开风淋门，一次一人。

风淋时应转动身体

*参观可以一次两人

*进入风淋门面向实验室在风淋区的中心位置站好

*不要靠在风淋出风口上

*脚下多踩踏几下脚踏粘垫以清洁净化鞋的鞋底

*待风淋结束后方可推开通向实验室的风淋门出门；禁止在风淋结束之前打开风淋门进入实验

«进入实验室，关好风淋门注意事项：

1.禁止在跨过绒凳前将袜套踩在绒凳外地面；

2.禁止穿着拖鞋直接夸过绒凳，将拖鞋踩在绒凳内的地面;

3.禁止把更换下来的拖鞋遗留在绒凳外不管。

7、净化间工作其他注意事项：

•除非搬运设备、大型仪器、化学药品、气瓶或逃生，否则不能打开一层和大厅之间的大门、二层通道与接待休息室之间的大门

・不能使用未经批准使用的设备仪器

*在净化间不能使用铅笔。

净化间使用的记录本不允许带出

・在净化间穿着自带净化服须征得管理人员同意

*未经同意不能随意连接电源或改变原有电源线路

•未经物品主人同意不能动用净化间的任何非公用物品和器具

*在净化间里有任何不清楚的问题应及时询问工作人员

*非工作时间需要判断自己是否是最后离开人员，各房间查看一遍，最后离开的人员要关闭相关的照明电源

*净化间不得随意拉开净化服的拉链取出私人物品，如手机等。

如有需要请离开净化间到走廊里再拉开净化服的拉链

・为安全计，实验室同时至少有两个人工作

8、使用化学药品的注意事项：

*不能使用未经批准使用的设备仪器

*化学药品从药品库房里拿出之前，用库房里的湿抹布擦干净灰尘。

运送到腐蚀间的过程中要双手拿好，一只手托住瓶底，严防滑脱打碎药品

*化药进入腐蚀间后，使用之前用去离子水冲一下，再开塞子使用

*开药品瓶的塞子一定要用公用镊子撬，禁止用手指，就算带着手套也严格禁止

*使用化药的过程中，严禁用手指接触瓶口和瓶塞

*把药品瓶拿到通风柜里倾倒药品，禁止在药品盒子里倾倒药品

*有机溶剂的塞子开塞之后可以不再使用，但是无机溶剂的塞子要塞好之后再盖瓶盖

*开完瓶盖的废弃物，如塑料封膜，塞子等要放在药品盒子里的烧杯里，禁止乱丢弃在通风柜及水池里

9、腐蚀间使用注意事项

・通风柜是公共场所，禁止个人用品长期摆放无人认领

*清洗烧杯，芯片时，注意水流不要太猛，不要把水溅进水浴的烧杯

・轻腐蚀间只能用来做有机处理；重腐蚀间只能用来做无机处理，不得混淆

・腐蚀过程中时间较长，也应有专人定时间看守，以免出现问题

・片子处理完毕后，及时冲洗所用器皿以及工作台面

*腐蚀间工作结束后，无论是台面上还是地面上均不能有腐蚀液的残留

•个人用品如盒子，烧杯，培养皿等用完回归原处，不得随处摆放

・芯片的包装纸塑料袋，拆封之后放入垃圾箱内，不得随处摆放

・一次性手套用过之后仍到垃圾箱，不得随处乱扔

*无尘纸擦过烧杯培养皿之后扔到垃圾箱，不得顺手丢弃在桌子上或净化台里

*重腐蚀间人走关灯

10、有机溶剂清洗芯片的程序：

*电磁炉的锅里接好水

*锅里水位的控制：

水位的高低要和烧杯的有机溶剂的水位相匹配，在稍低或一半的位置，水位太高容易在水开时候溅进烧杯，水位太低容易烧干

*打开电磁炉开关烧水

*取出烧杯用去离子水冲洗干净

*用氮气枪吹干

*把有机溶剂拿到通风柜里，倒进烧杯

*有机溶剂液位的控制：

倒入的有机溶剂要保证没过芯片之后再超过芯片所占液位的30%

o如果是水平放置的芯片，有机溶剂的量要到达烧杯的1/3到1/2，视烧杯的大小而定

o把有机溶剂放回药品箱里

*把烧杯放在锅里

*观察芯片的状态，水平放置的芯片，烧杯里芯片下面垫张无尘纸以防烧开的过程中芯片翻个或震碎

*观察芯片的沸腾的程度和有机溶剂液位的下降调整电磁炉的温度

*关闭电磁炉电源，取出烧杯，倒掉电磁炉锅里的水

*烧杯里的有机溶剂要适当降降温度再做下一步操作，不要让过热的有机溶剂干在芯片上，这样产生的印记很难清洗干净

*回收废液，把废液瓶拿到通风柜里，废液放凉后灌入废液瓶

*把废液瓶放回废液箱里

注意事项：

1.开启有机溶剂瓶塞时，一定要将瓶口对着通风柜里面；

2.有机溶剂不得放在电炉上直接加热；

3.回收的有机溶剂应该分类分装在不同的瓶子里，不能混淆；

4.严禁有机溶剂和无机溶剂混倒在同一容器中；

5.废弃的化学试剂瓶应及时打叉或写上“废液”标示，或作出其他处理，易于清晰地与待用试剂区别

11、配腐蚀液的程序（以硫酸双氧水去离子水为例）：

*佩戴防酸手套、护目镜

*开启有机溶剂瓶塞时，一定要将瓶口对着通风柜里面；

*配强酸强碱腐蚀液必须在重腐蚀间进行

*取出烧杯和量筒用去离子水冲洗干净

*用氮气枪吹干

・从药品柜里拿出硫酸和双氧水

・拿药品之前把最外面的药品往里面推推，不要把最外面的药品带下来掉在地上

*首先用量筒量出所需的去离子水的容量倒人烧杯

*再量出所需的硫酸的容量倒入烧杯

・注意倒出硫酸时不要让硫酸瓶子的标签朝下，以防标签被腐蚀

・注意浓酸（硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、HF）和强碱（KOHNaOH遇水均会放热，配置溶液时

必须缓慢并且搅拌（张明亮）

*注意盛有硫酸和水的烧杯在进行水浴降温时，如果温度过高，烧杯有可能炸裂，建议小心从事，或用搅拌棒搅拌使烧杯内的溶液温度均匀下降

*硫酸瓶子盖好，去离子水调好水流，冲干净瓶子外面残留的硫酸

*把硫酸瓶子放回到药品柜里，要往里面放不要放在最外面

*用去离子水冲洗干净量筒待用

*待硫酸去离子水溶液冷却到室温时再用量筒量出所需的双氧水的容量倒入烧杯

*双氧水分解很快，热的溶液会让双氧水的比例很不稳定

・用搅拌棒把腐蚀液搅拌均匀，用培养皿盖好

*加入双氧水的溶液继续冷却在大的室温水浴容器里直到温度降到室温

*把双氧水的瓶子用黑塑料袋装好，放回药品柜里，往柜子里面放，不要放在最外面

*从水浴中取出烧杯静置10分钟之后方可使用

*使用的过程中，记录腐蚀液配好的时间，开始腐蚀的时间，以对比腐蚀速率的重复性和变化

*使用过程中，腐蚀液始终要用培养皿盖好

*腐蚀完成后应用去离子水冲洗台面，防止腐蚀液体残留在台面上或者其他地方

・HF和氟化铵是极其危险的，包括已经稀释的溶液，使用前必须确认手套完好，在通风良好的台面上或橱窗内使用，操作完成后及时更换手套

*任何含氟的溶液必须用塑料器皿，不可用玻璃或石英器皿，用完后需要用大量水充分清洗

12、回收废液（有机溶剂，腐蚀液废液或清洗后的废液）的程序:

12.1废液是回收还是倒掉的原则

«氢氟酸废液要求回收

«其余所有酸类碱类废液少于100ml的倒掉，大于100ml的回收

12.2有机溶剂回收的程序：

«找到相应的空瓶（乙醇找乙醇瓶，丙酮找丙酮瓶，以此类推）

・用记号笔打叉

・如果是热的有机溶剂废液，等待有机溶剂冷却

*在通风柜里装入废液瓶，拧好瓶盖，放回废液箱

1.100ml以下的无机溶剂废液回收程序：

*打开去离子水，调好水流，让水流平稳，不迸不溅，在水池里先续一部分水

4把腐蚀液轻轻倒入水池里

•用流动的水冲洗烧杯和量筒至少各一分钟

・收拾好使用过的烧杯和量筒

12.4100ml以上的无机溶剂废液回收程序：

*找到相应的空瓶，如硫酸双氧水溶液找硫酸空瓶

*在空瓶上用记号笔打叉

*如果是热的废液，等待溶剂冷却到室温

*在通风柜里装入废液，拧好瓶盖，放回废液箱

13、显微镜操作程序：

*显微镜容易出问题的部位：

调焦旋钮，承片台前后左右移动的旋钮，请轻轻转动，以免损坏

*打开显微镜电源开关（在左边调焦旋钮的后面）

*把显微镜的倍数调到最小（红色物镜）

*移动承片台时，先找到承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手的同时压住压簧把承片台轻轻地拉出，请勿直接推拉承片台，以免损坏

*在承片台上放好无尘纸

*芯片或光刻版放在承片台中心

*捏住承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地送回原位

*调节显微镜的灯光亮度直到能够在芯片上看到光斑

*用承片台手柄或承片台下面的调节旋钮调整光斑在芯片上的位置

*如果调焦不熟练，可以先把光斑打在芯片的边缘，一半在芯片上，一半在承片台上

*轻轻转动调焦旋钮调整焦距

*如果需要换大倍数物镜观察，顺时针手动转动物镜架，把更大倍数的物镜转到最下面

*如果需要继续换更大倍数的物镜，调清楚一个物镜下的焦距再换下一个倍数

*观察结束后，把物镜的倍数按从大到小的顺序逆时针转动到最小倍数50倍的位置上

*捏住承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地拉出

*也可以利用旋转承片台下控制承片台前后左右移动的旋钮把承片台移出来

*取下芯片

*捏住承片台右侧的把手后面的压簧，握住把手把承片台轻轻地推回去

・每次使用后都须随手把灯光亮度调至最小

«除非已到下午下班时间，否则不用关电源开关

14、净化间允许带入的物品的处理方法

«带入净化间的物品如有包装，应先拆掉包装，不得连包装一起带入净化间

・用来装带入物品的袋子等在进入净化间之前先丢弃掉，不得带入净化间

・带入净化间的物品如化学药品，应事先擦拭干净，不得有灰尘和污垢

15、离开实验室顺序

・净化间人员由风淋室旁出口离开净化区，出口处门随手关闭，沿二次更衣室进入路线逆行退出（请查看进入净化间的路线），连身洁净服拉链，口罩，手套至更衣室后方可拉开和脱除

16、工艺加工中的注意事项

*至少要提前半天预约设备，工作人员要有一个准备的时间

*网上预约之后要给相关的老师打个电话确认，问好注意的事项，如几点交片子等

*要加工的芯片上午要在8:

30分以前到达，下午要在1:

30分以前到达。

迟到太久可能会有其

他的芯片加工工作被安排进来，无法安排已经预约过的工艺；或者因为时间不够而影响下一个工艺的按时加工

*如果新手不能保证按时交片子，尽量约下午的时间

*如果有意外的事情发生，不能及时交片子，要及时打电话通知工作人员

集成技术中心岗位职责

1、集成技术中心生产服务项目负责人岗位职责

2、集成技术中心设备仪器管理人员岗位职责

3、集成技术中心设备仪器操作人员岗位职责

4、集成技术中心安全员岗位职责

5、集成技术中心采购员岗位职责

6、集成技术中心库管员岗位职责

7、集成技术中心文件管理员岗位职责

8、集成技术中心检验员岗位职责

9、集成技术中心更衣室管理员岗位职责

集成技术中心生产服务项目负责人岗位职责

a）负责策划生产和服务项目目标完成实现所需的过程；

b）负责生产和服务项目项实现过程的设计以及工艺流程的正常运行，包括顾客潜在需求对工艺技术的开发；

c）负责生产和服务项目工艺流程、技术文件的制定和控制；

d）负责对生产和服务过程进行监视和测量；

e）负责对生产和服务项目质量情况进行统计、分析并上报相关管理部门；

f）负责组织、调配相关资源，保证生产和服务过程的顺利实施并对资源进行有效的维户和保养；

g）负责工艺及工艺管理工作，确保工艺文件满足过程控制的要求；

h）负责特殊过程、关键过程的确定和控制；

i）负责本部门的过程控制记录、检验状态标识的维护以及质量记录、现场使用技术资料的管理；

j）向本科研部门负责人负责。

k）生产和服务项目负责人上岗条件

1）学本科及以上学历。

2）接受过质量管理体系知识培训。

3）有相关生产和服务项目1年以上工作经历，具有中级及以上专业技术职务任职资格。

集成技术中心设备仪器管理人员岗位职责

a）对生产服务中使用的各类设备进行分类管理；

b）严格执行国家有关计量法规，对生产和服务中使用的各类监视和测量装置制订保证测量（测试）精度、量值正确传递要求的计量检定周期；

c）按照规定的计量检定周期和有关检定规程，对各类监视和测量装置进行周期送检（校准），并做好记录；

d）对偏离产品说明书等技术文件规定的性能及功能指标监视和测量装置及时修复、校准、送检或经规定程序批准给予降级使用并予以明确标识；

e）向本部门负责人负责。

f）设备管理员上岗条件

1）应具有本科及以上学历；

2）接受过质量管理体系和计量知识培训；

3）有3个月以上工作经历；

4）有良好的协调和沟通能力，写作能力，熟练使用计算机。

集成技术中心设备仪器操作人员岗位职责

a）熟悉自己管辖设备仪器的性能；

b）严格按照设备的操作规范操作设备仪器，认真填写工艺记录；

c）按照设备仪器的维护保养要求对设备进行定期维护、保养和检查，并做好记录；

d）设备仪器出现故障后，及时报告有关人员。

e）设备仪器操作人员上岗条件

1）应具有高中及以上学历；

2）接受过设备仪器使用技术培训，考核合格，并取得上岗资格。

集成技术中心安全员岗位职责

a）熟悉管辖范围内设备仪器的基本情况，包括水、电、气等；

b）协助相关主管部门对本部门安全设施进行管理；

c）协助所相关部门对有毒有害气体进行保管；

d）负责安全设施的日常检查与维护，并做好记录。

e）定期协助所安全管理人员对本部门安全设施进行更换。

f）岗位要求：

1）经过所安全部门的基本安全常识培训；

2）本部门工艺线从事工艺操作工作一年以上。

3）具有高中以上学历。

集成技术中心采购员岗位职责

a）严格按照采购程序和采购单要求执行采购任务。

b）根据生产和服务需要收集市场上的供方信息，对供方按照评价准则进行评价。

c）编订和控制《合格供方名册》。

d）定期对合格供方按照评价准则进行再评价。

e）在采购时按照《采购计划单》对所采购物品进行现场验证和确认。

f）按照程序向库房管理员进行采购物品交付。

g）对供方的数据如验收合格率、供货及时率等进行统计。

h）岗位要求：

1）在本部门工艺线从事工作一年以上。

2）具有专科以上学历。

集成技术中心库管员岗位职责

a）确定库房物品的采购警戒数量，保证生产和服务过程不间断运行；

b）严格按照库房管理规定履行出入库手续；

c）《采购验收报告》、入库单、出库单要与库房实物相符，与库房记录相符，电子帐目一目了然。

d）维护物品存放区域的环境条件，标识清晰、醒目；

e）监督保存物品的有效期状况，防止因物品变质或过期而导致质量问题。

f）对库房管理工作进行数据统计，按照《库房管理制度》每个季度进行盘点

g）按照库房管理制度作出库房管理报告。

h）岗位要求：

1）本部门工艺线从事工艺操作一年以上。

2）具有专科以上学历。

集成技术中心文件管理员岗位职责

a）负责组织文件评审的工作。

b）按时收集各种记录，并检查编号，按照文件管理办法进行归档整理

c）对组织文件的确认、控制进行管理，对文件的发放进行管理。

d）给各种文件、资料进行编号和管理。

e）对组织文件的复印、分发、借阅进行管理登记。

f）岗位要求：

1）在本部门从事工艺操作一年以上。

2）具有高中以上学历。

集成技术中心检验员岗位职责

a）熟悉检验工作的法律法规；

b）严格按照检验程序对待检物品进行检验，并出具检验报告。

c）对于过程产品中的关键过程、特殊过程进行数据统计和质量分析，提出改进意见或建议。

d）对于检验未通过的物品，按照不合格产品控制程序进行管理控制。

e）制定《产品检验规程》，并监督规程的执行情况。

f）当生产过程中产品未能通过检验时，对该产品进行鉴定，并决定处理办法。

对于确定为不合格品的，按照不合格品控制程序进行管理。

g）岗位要求：

1）具有理工科专科以上学历。

2）在本部门工艺线从事工艺操作一年以上。

更衣室管理员岗位职责

基本描述：

全面负责超净间更衣室内办公家具、超净服装、鞋帽及人员的管理和室内外的卫

生清洁、保洁工作

二、具体描述：

1、负责更衣室办公家具及相关钥匙的管理；

2、根据“更衣室管理条例”的要求和步骤，指导来室人员更衣事宜；

3、对待前来参观的人员，管理员应热情、周到、认真地做好接待工作和更衣的指导工作；

4、外来参观人员实行签到制度；

5、每天定时打扫更衣室内部卫生以及室外责任区的卫生，并时时做好室内外的卫生保洁工作；

6、更衣室内卫生标准：

更衣柜、办公桌、衣架、排椅、鞋柜等办公家具无灰尘，地面、墙面无灰尘、毛发等，消防器材干净、整齐地摆在规定位置，超净服装等物品应摆放整洁；

7、参观人员的超净服装、帽子和袜套应保持干净、整洁，根据实际情况将已穿超净服装清洗、消毒（1~2周时间不等，最长不应超过2周）；

8、负责电话联系一层净化区内有的关事宜。

集成技术中心工艺线日常安全检查制度

为了避免日常工作后出现的疏漏和设备仪器长期使用产生的安全隐患，最大限度地堵塞安全漏洞，“中心”建立日常安全检察制度，在每一个工日的离岗之前，固定一名员工对整个中心的净化工艺线进行安全巡查。

一、目的：

是使全体员工树立安全意识和集体意识，及时发现和处理一些可能的安全隐患，保证设备和工作环境的安全。

二、检查范围：

1、与外界联通的所有门是否关好；

2、使用结束的设备仪器以及相关的水、电、气的阀门是否已经完全关闭；

3、有无特殊气味、声响；排风系统是否正常？

4、III-VICP温控器的温度指示是否正常？

气柜传感器指示是否正常？

5、公共设施是否存在问题或隐患。

三、检查员职责

1、认真履行自己的职责，检查工作到位；

2、对检查的结果进行完整记录；

3、如遇其他岗位仍在继续工作，交代好工作完成以后的检查内容，并记录在案；

4、发现问题及时反映给相关人员或报告领导。

四、其他

1、交接时若接替者出差在外，应交由下一位接替，时间上同本次应接替者交换。

2、如遇检查者外出，应提前交给其他同时代为检查。

工作环境监视制度

1.目的

保障净化工作间的温度、湿度和洁净度符合规定要求。

2.适用范围

集成技术中心的所有净化级别在1000级以上的区域

3.职责

3.1净化工艺室内工作的人员负责对净化工作区的温度、湿度进行记录

3.2综合办公室按规定的周期督促有关部门进行洁净度检测。

3.3运行保障部负责净化工艺室的温、湿度监测与控制

3.4监测室负责净化工艺室的洁净度检测。

4.程序

4.1净化工艺室内工作人员应当在每个工作日记录温度和湿度，包括记录时间。

4.2综合办公室每个季度通知监测室检测净化工作室的洁净度，并形成记录。

记录的原件交给“中心”综合办公室保存。

4.3净化工艺室的温度超过23士2C,湿度超过50士10%RH（电子束曝光50士5%RH），应及时通知

运行保障部进行调控。

4.4洁净度超过规定的指标时，综合办公室应及时通知有关领导。

4.5综合办公室应不定期对净化工作室的卫生情况进行检查并形成记录。